1、2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas龍潭廠龍潭廠特殊化學品系統介紹特殊化學品系統介紹 單 位：廠務處液化部特化課 報告者：宋狄堂 2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas藥供室區域充填回收作業特化設備化學品性質安全防護系統漏液緊急處理 特化系統安全說明特化系統安全說明2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA ThomasL2棟L1A 藥供室藥供室L1棟廠務特化藥液供應室廠務特化藥液供應室L2

2、 藥供室藥供室藥供室區域藥供室區域2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas有機室有機室華南三路華南三路L1棟棟L1L1藥品供應室藥品供應室混酸室混酸室無機室無機室藥供室區域藥供室區域2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas廢液回收廢液回收作業區作業區有機室有機室華南華南二路二路L2棟棟行政大樓行政大樓L2L2藥品供應室藥品供應室酸室酸室鹼室鹼室藥供室區域藥供室區域2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTF

3、T-QA Thomas藥供室分布藥供室分布L1藥供系統(L1棟西側)L2藥供系統(L2棟WS)樓層藥供室樓層藥供室-L50酸室、鹼室2F中繼站L30有機室、酸室、鹼室1F有機室、無機室L20有機室、酸室、鹼室B1F地下桶槽區(L1東側)L10中桶槽區藥供室區域藥供室區域2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA ThomasL2棟棟充填槽車充填槽車藥液充填作業2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA ThomasL1棟棟回收槽車回收槽車藥液回收作業充填回收作業充填回收作業2002.

4、9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas儲存藥品儲存藥品有機室：有機類藥液有機室：有機類藥液 Stripper（光阻剝膜液）光阻剝膜液）、Thinner （光阻稀釋液）光阻稀釋液） 、NMP、 丙酮、異丙醇丙酮、異丙醇酸酸 室：酸性藥液室：酸性藥液 鋁蝕刻液、鋁蝕刻液、ITO蝕刻液、蝕刻液、CrT蝕刻液、蝕刻液、CAN、磷酸磷酸 、硝酸、硝酸鹼鹼 室：鹼性藥液室：鹼性藥液 顯影液顯影液 25%、顯影液顯影液2.38% 、顯影液、顯影液0.4%、洗劑、洗劑充填回收作業充填回收作業2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明

5、 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas有機類藥液有機類藥液化學品性質化學品性質2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas閃火點液體隨著溫度增加，其蒸氣壓增加，當蒸氣與空氣混合達燃燒下限時，遇火燃燒，惟一閃即滅，稱為閃火點。液體之開杯閃火點在攝氏六十五度以下者稱為易燃液體。化學品性質化學品性質閃火點閃火點化學品化學品65 65 甲苯、汽油甲苯、汽油30 65 30 65 煤油、輕油、松節油、異戊醇、煤油、輕油、松節油、異戊醇、醋酸、醋酸、ThinnerThinner0 30 0 30 異丙醇異丙醇、甲醇、二甲

6、苯、乙酸戊酯、甲醇、二甲苯、乙酸戊酯-30 0 -30 0 正己烷、環氧乙烷、正己烷、環氧乙烷、丙酮丙酮、苯、丁酮、苯、丁酮 -30 -30 乙醚、汽油、乙醛、環氧丙烷、乙醚、汽油、乙醛、環氧丙烷、 二硫化碳二硫化碳有機類藥液大部份均為可燃性，有機類藥液大部份均為可燃性，嚴禁火花及熱源嚴禁火花及熱源。2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas酸性藥液酸性藥液化學品性質化學品性質2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas鹼性藥液鹼性藥液化學品性質化學品性質顯

7、影液顯影液危害特性：類神經毒素，危害特性：類神經毒素，吸入、食入或皮吸入、食入或皮 膚膚大面積接觸大面積接觸，15301530分鐘內產生急性中毒分鐘內產生急性中毒抑制呼抑制呼 吸肌肉群，造成呼吸肌肉癱瘓，心跳減緩，呼吸衰吸肌肉群，造成呼吸肌肉癱瘓，心跳減緩，呼吸衰 竭死亡竭死亡。 人類口服可能致死劑量：人類口服可能致死劑量：25%TMAH 25%TMAH 0.8cc4cc0.8cc4cc 2.38%TMAH 2.38%TMAH 8.4cc42cc8.4cc42cc。2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas藥液儲存槽藥液儲存

8、槽 藥液充填至特定化學品儲槽，以作為庫存藥液充填至特定化學品儲槽，以作為庫存特化設備特化設備2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas藥液供應設備藥液供應設備 藥液由設備供應至無塵室使用端藥液由設備供應至無塵室使用端特化設備特化設備2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas廢液儲存槽廢液儲存槽 廢液循重力流方式流至廢液儲槽廢液循重力流方式流至廢液儲槽特化設備特化設備2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT

9、-QA Thomas危害分類標示危害分類標示儲槽、設備標示儲槽、設備標示管路標示管路標示特化設備特化設備2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas系統設備安全項目系統設備安全項目 Chemical Leak Detector ( 漏液偵測器) CO2 Relief System (CO2鋼瓶消火系統) Sprinkler Head(灑水系統) Gas Detector( 氣體偵測器) Monitor System(中央監控系統) 特化特化系統安全說明系統安全說明2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TF

10、T-QA ThomasTFT-QA Thomas漏液偵測器安全防護安全防護2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas截液溝截液溝PitPump室內室內室外室外截液溝截液溝預先防護：預先防護：設置於設備、儲槽之漏液檢知器可及早發現漏液狀況，設置於設備、儲槽之漏液檢知器可及早發現漏液狀況， 通知人員處理。通知人員處理。大量處理：大量處理：由截液溝防止藥液外流，並啟動自動抽液設備，將大量由截液溝防止藥液外流，並啟動自動抽液設備，將大量 藥液抽至廢液儲槽。藥液抽至廢液儲槽。安全防護安全防護2002.9.262002.9.26TFT

11、QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA ThomasL1A CO2設備設備L2 CO2設備設備CO2鋼瓶消火系統n 僅針對有機類藥液設置僅針對有機類藥液設置安全防護安全防護2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas火焰偵測器火焰偵測器L2 藥供設備藥供設備溫度感知器溫度感知器L1 藥供設備藥供設備CO2鋼瓶消火系統安全防護安全防護2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas灑水系統全區消防灑水全區消防灑水n有機室：具有耐火有機室：具有耐火2小

12、時以上之小時以上之火災阻隔設計火災阻隔設計n酸室：具有耐火酸室：具有耐火1小時以上之火小時以上之火災阻隔設計災阻隔設計n可供應可供應20分鐘以上之消防系統分鐘以上之消防系統安全防護安全防護2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas緊急沖淋洗眼設備緊急沖淋洗眼設備（室內外均設）（室內外均設）個人沖淋設施安全防護安全防護2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas氣體偵測器O2偵測器偵測器：室內氧氣含量不足時室內氧氣含量不足時 （18%），），將發出警報。將發出

13、警報。安全防護安全防護IPA偵測器偵測器：當偵測有機氣體外洩當偵測有機氣體外洩，將發出警報。將發出警報。2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas中央監控系統中央監控系統遇異常狀況，請電遇異常狀況，請電 特化課特化課 監控室：監控室：7387安全防護安全防護2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas漏液緊急處理漏液緊急處理非氣密式連身防護衣。全面式或半面式空氣濾清式口罩 洩漏處理步驟-1u穿戴適當防護裝備穿戴適當防護裝備2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas洩漏處理步驟-2漏液緊急處理漏液緊急處理u隔離災區 劃設管制區域，注意 現場情形。u洩漏物圍堵 注意洩漏物流向，使用 索狀吸棉圍堵，避免污 染水源地下道。2002.9.262002.9.26TFT QA 羅煥明 製TFT-QA ThomasTFT-QA Thomas洩漏處理步驟-3漏液緊急處理漏液緊急處理u洩漏源控制 尋找洩漏點，關閉閥件。u洩漏物質處理 控制洩漏情況後，迅速