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1、 維普資訊 §期 櫥緒華等 薄膜應力待住的研究 五 ， 結 論 文 中討 論 了 ！ 的淀積 過程 ，測 量 了 膜 的應 力與膜厚 、折射率 的關 系 ， ： 獲 得 了應 力 與 測 試 溫 度 和 退 火 溫 度 的 依 賴 關 系 。 膜 絢應 力 為 壓 應 力 ，本 征 應 力也 是 壓 應 。 力 。 簡 單 分 析 了 應 力 的產 生 機 制 ， 指 出了 妁 本 征 應 力 在 ： 較 薄 時 ，以 界面 應 力 為 ： 膜 主， 膜較厚 時 ，則以生 長應 力為主 。 參 考 文 獻 ， ， ， （ ） ， 。 ， ， 。， ， ） ， （ 程 開 富 ， 半

2、導 體光 電 ， ） ， （ ， ， （ ） ， ， ， 。 ， ， 。 ， ， ， （ ） ！， 。 ； ， ， ， ， （ ） ， ！ ， ） ， ， （ 何 宇亮 ，上 海 半導 體 ，（ ）， ￥ ， ， （ ， ） 曲喜 新 ， 薄 膜 物 理 ， 上 海 科 學技 術 出 版社 ， 年 月 頁 （ 。 ， ） ， 蓍叫嘲叫 喜 呻 耋 制 ；封面 介紹 章 嘲 ÷ 帳 婚 西 波單 片低噪 聲放大器 微 南京 電子 器件研 究所 年 月研 制成 微波單 片集 成兩級 低噪 聲 放 大 器 ，封 面 插 圖為其 芯片的 照片。在 率范 圍 內，該 放 大 器 的 噪 聲 系 數 為 頻 相 關 增 益 為 采 用 該 所 自編 的 計 算 機 程 序 行 電 路優 化 設 計 ，在 ， 。 進 × 芯 片 上 集

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