1、PVD泵知識(shí)11 8, 2012Copyright 2012,ULVAC,Inc.All rights reservedPage 1抽氣時(shí)間計(jì)算公式V （L）P1容器容積真空室t= S 真空泵排氣速度 2.303logP2（L/MIN）t=t1+t2+t3初期壓力（pa）最終壓力（pa） 主閥 例：50升容積的容量，5分鐘內(nèi)從大氣壓 減壓至1000pa,應(yīng)選哪種真空泵？S=V50 2.303log P11.01 105t5P21000S 23 L/min真空泵考慮到管道的連接與漏氣等問題，實(shí)際 選型時(shí)，要考慮到安全率Copyright 2012,ULVAC,Inc.All rights res

2、ervedPage 2PVD系列概要1.PVD-N180/PVD-N360PVD-N180PVD系列真空泵為雙級(jí)真空泵，泵體小而堅(jiān)固，極限壓力低，運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的振動(dòng)、噪音小。另外，由于裝有氣鎮(zhèn)閥，對(duì)水蒸氣等冷凝性氣體進(jìn)行排氣 過程中發(fā)揮作用。2.PVD-N180-1/PVD-N360-1該型號(hào)真空泵采用大油箱，能降低泵的油溫，減少油的氧化和劣化，延長(zhǎng)油的使用壽命。PVD-N360-1Copyright 2012,ULVAC,Inc.All rights reservedPage 3PVD系列概要3.性能參數(shù)型號(hào)PVD-N180PVD-N180-1PVD-N360PVD-N360-1幾何抽速50Hz9

3、（155）19（310）m3/h （L/min）60Hz11（186）22（372）極限壓力GP 關(guān)6.710-1PaGP開13.3所需功率 kW （極數(shù)）0.4/（4）0.75/（4）轉(zhuǎn)速 r/min50Hz50060Hz600所需油量 （L）0.31.50.51.7最大處理水量 （g/h）100重量 （kg）44.550.55462.5油霧過濾器（選購件）TMN151注：1.GP關(guān)：氣鎮(zhèn)口關(guān)閉狀態(tài)；GP開：氣鎮(zhèn)口全開狀態(tài)。 2.最大處理水量：當(dāng)油中混入（水氣）時(shí)，氣鎮(zhèn)功能所能處理的最大水量。Copyright 2012,ULVAC,Inc.All rights reservedPage 4

4、泵的性能1.極限壓力樣本及本文中所說的極限壓力是指在泵的吸氣口未吸入氣體的狀態(tài)下（無負(fù)荷狀態(tài)），使用本公司指定的真空泵油，并與裝置完全隔離后，在泵的吸氣口用皮拉尼真空計(jì)進(jìn)行測(cè)定，泵所能達(dá)到的最低壓力。2.抽氣速率油回轉(zhuǎn)真空泵的抽氣速率隨吸入氣體的種類和壓力不同而變化。在高壓力領(lǐng)域中，抽氣速率最大，隨著壓力的降低，抽氣速率逐步降低。本泵的抽氣速率是指吸入干燥空氣時(shí)的最大值。下圖表示壓力和抽氣速率的關(guān)系。3.動(dòng)力驅(qū)動(dòng)真空泵的動(dòng)力是克服機(jī)械部件旋轉(zhuǎn)摩擦的功（機(jī)械功）與壓縮空氣的功的總和。吸入壓力在4104 2.7104 Pa之間功最大。壓力在13.3Pa以下時(shí)壓縮功很小，動(dòng)力幾乎都耗費(fèi)在機(jī)械功上。泵的一般使用方法中，吸入壓力在5.3104 1.3104 Pa之間的負(fù)荷很大，但氣體很快就被泵排出，這期間雖然有些