1、主要內容：概述概述概述概述紙紙 品品木材烘干木材烘干濕度傳感器濕度傳感器芯片生產要求最高的濕度穩定性芯片生產要求最高的濕度穩定性概述概述氣敏傳感器濕敏傳感器N N型半導體與氣體接觸型半導體與氣體接觸時的氧化還原反映時的氧化還原反映由于空氣中的含氧量大體上是恒定的，由于空氣中的含氧量大體上是恒定的， 因此氧的吸附因此氧的吸附量也是恒定的，氣敏器件阻值也相對固定。若氣體濃量也是恒定的，氣敏器件阻值也相對固定。若氣體濃度發生變化，器件表面將產生吸附作用，其阻值也將度發生變化，器件表面將產生吸附作用，其阻值也將隨氣體濃度變化而變化。根據這一特性，可以從阻值隨氣體濃度變化而變化。根據這一特性，可以從阻值

2、的變化得知吸附氣體的種類和濃度。的變化得知吸附氣體的種類和濃度。SnO2系列氣敏元件有系列氣敏元件有燒結型、薄膜型和厚膜型燒結型、薄膜型和厚膜型三種。三種。(a) 燒結型氣敏器件燒結型氣敏器件 燒結型氣敏器件的制作是將一定比例的敏感材料（SnO2、ZnO等）和一些摻雜劑（Pt、Pb等）用水或粘合劑調合，經研磨后使其均勻混合，然后將混合好的膏狀物倒入模具，埋入加熱絲和測量電極，經傳統的制陶方法燒結。最后將加熱絲和電極焊在管座上，加上特制外殼就構成器件。 該類器件分為兩種結構：直熱式和旁熱式。 直熱式器件管芯體積很小，將加熱絲、測量絲直接埋在金屬氧化物半導體粉末材料內燒結而成。加熱絲兼做一個測量電

3、極，工作時加熱絲通電加熱，測量絲用于測量器件的阻值。 缺點： 熱容量小，易受環境氣流的影響； 測量電路與加熱電路之間沒有隔離而相互干擾，影響其測量參數； 加熱絲在加熱與不加熱兩種情況下產生的膨脹與冷縮，容易造成器件接觸不良。國產國產QM-N5型和日本費加羅型和日本費加羅TGS812、813型等氣敏傳感型等氣敏傳感器都采用這種結構。器都采用這種結構。厚膜型氣敏器件厚膜型氣敏器件 將將SnO2和和ZnO等材料與等材料與315重量的硅凝膠混合重量的硅凝膠混合制成能印刷的厚膜膠，把厚制成能印刷的厚膜膠，把厚膜膠用絲網印制到裝有鉑電膜膠用絲網印制到裝有鉑電極的氧化鋁基片上，在極的氧化鋁基片上，在4008

4、00高溫下燒結高溫下燒結12小時制成。小時制成。優點：一致性好，機械強度高，適于批量生產。優點：一致性好，機械強度高，適于批量生產。 氣體濃度檢測氣體濃度檢測n酒精測試儀防酒后駕車汽車點火電路防酒后駕車汽車點火電路 紅外紅外多種氣體檢測系統多種氣體檢測系統動畫演示動畫演示 煙氣分析儀煙氣分析儀v 濕度是指空氣中的水蒸氣含量，通常用絕對濕濕度是指空氣中的水蒸氣含量，通常用絕對濕度和相對濕度表示：度和相對濕度表示： 絕對濕度，單位空間所含水蒸汽的絕對含量或絕對濕度，單位空間所含水蒸汽的絕對含量或濃度，用符號濃度，用符號AHAH表示，單位（表示，單位（g/m3g/m3）。）。 相對濕度，被測氣體中的

5、水蒸汽壓和該氣體在相對濕度，被測氣體中的水蒸汽壓和該氣體在相同溫度下飽和水蒸氣壓的百分比，一般用相同溫度下飽和水蒸氣壓的百分比，一般用%RH%RH表示，無量綱。一般使用濕度，量程表示，無量綱。一般使用濕度，量程0 0100%RH100%RH。 不同環境所需濕度不同，測量方法很多，但精不同環境所需濕度不同，測量方法很多，但精度不高。目前世界上最高水平濕度測量精度在度不高。目前世界上最高水平濕度測量精度在0.01%0.01%左右，理想測濕量程應是左右，理想測濕量程應是0 0100%RH100%RH，量程越大實用價值越大。量程越大實用價值越大。為什么要測量濕度為什么要測量濕度? ?溫溫濕度變送器濕度

6、變送器h, Tx室室 內內 空空 氣氣 質質 量量 100% rH貯貯 存存 / / 催催 熟熟生生 產產 空空 氣氣 質質 量量烘烘 干干 過過 程程- 耗費最低的能量耗費最低的能量- 達到達到 / 保持成品的最佳品質保持成品的最佳品質- 讓設備高效率地進行生產讓設備高效率地進行生產- 更舒適更舒適 - 更高的工作效率更高的工作效率- 使產品或原材料達到最佳品質使產品或原材料達到最佳品質 氯化鋰濕敏電阻即電解質濕敏電阻，利用物質吸氯化鋰濕敏電阻即電解質濕敏電阻，利用物質吸收水分子而導電率發生變化檢測濕度。收水分子而導電率發生變化檢測濕度。 氯化鋰濕敏電阻是利用吸濕性鹽類潮解，離子導氯化鋰濕敏

7、電阻是利用吸濕性鹽類潮解，離子導電率發生變化而制成的測濕元件。它由引線、基電率發生變化而制成的測濕元件。它由引線、基片、感濕層與電極組成。片、感濕層與電極組成。12341 引 線 ； 2 基 片 ；3 感 濕 層 ； 4 金 電 極氯化鋰通常與聚乙烯醇組成氯化鋰通常與聚乙烯醇組成混合體，在氯化鋰（混合體，在氯化鋰（LiCl）溶液中，溶液中，Li和和Cl均以正負離均以正負離子的形式存在，而子的形式存在，而Li對水對水分子的吸引力強，離子水合分子的吸引力強，離子水合程度高，其溶液中的離子導程度高，其溶液中的離子導電能力與濃度成正比。電能力與濃度成正比。 當溶當溶液置于一定溫濕場中，若環液置于一定溫濕場中，若環境相對濕度高，溶液將吸收境相對濕度高，溶液將吸收水分，使濃度降低