1、主題各引擎共焦調整文件編號版本a01發文日期頁碼cover文件類型作業指導書修訂狀態描述各引擎共焦的調試方法頁碼修訂次數本次發布首次發布1-8首次發布原因程序項目程序內容頁碼1各引擎焦距測屋1-52調各引擎共焦6-7版木修訂原因修訂目的修訂ii期版本變更 記錄相關部門總裁辦總經辦財務部資材部人事行政部品保部系統生產部光源牛:產部工程部研發中心銷售部項it部采購部電控生產部全公司編寫：潘廣勝審核：核準：form no: ato1-20401-02 (al)covera4vmil>i 1.0? (ai»c<nt terhaoloc>««# inc.)

2、1.1進入主控機，桌面打開軟 件 “advanldi”，usename： control password： test 單擊stages按鈕初始化，初 始化完成后stage方塊變成綠 色。iscent technologlesjnc.c«>m4tpomvtentwtae” f.8 |»f «txd 0xi ractuucf3 e&kn«3nvmaswigc4 7m»37ftm |15 bow<,主控機bc8rb ttltltltltltltib<cur 吟 0awnl ooohfadvanldl 界面擎測 引距 各焦量

3、1.2在“advanldi”工具欄單 擊“審”或菜單欄單擊 “tools” 然后選擇 “stage control ,彈出"stage control v平臺控制界面。調 整x、y、z軸坐標,使引擎和 機臺的位置適中。stage control 界面引擎和機臺主控機編號 工序內容描述名稱及牌號用量datasvr 界而服務器1.3進入1號服務器，桌面打 開軟件 “datasvr”,發 “ + ” 字圖，步驟如下： 中輸入46, 9985,按"write” 按鈕;中輸入46,按“read” 按鈕;單擊“ 16kbmp.”, 找到d盤wordspeice文件夾的“pattern-

4、3”文件雙擊。各引擎 焦距測 .曰.主控機laser driver control 界面1.4切換到主控機，在 "adanvanldi”工具欄單擊 “k”或菜單欄單擊“tools” 然后選擇 alaser control”， 彈出"laser driver control" 激光控制界面，參數設置： 選擇1號激光id, 1、2、3、 4、5號引擎對應的激光11）是 0、 1、 2、 3、 4o 設置1號激光的電流值,值 一般設為26左右。 打開1號激光，switch on/off是打開或關閉激光的 按鈕（方塊綠色時代表打開）擎測 引距 各焦量1.5把ccd和顯示器

5、接好線通 電，把ccd放在1號引擎下方: 移動ccd使得顯示器顯示 “ + ”字，然后輕微移動ccd使得“ + ”字中心在顯示器的 中心附近。 用stage control界面微調 x、y軸坐標，使得“ + ”字中 心和顯示器的中心重合。 用stage control界面調整 z軸坐標，使得“ + ”字最淸晰, 記錄1號引擎此時的z軸坐 標。1.6同理，測得其他引擎“ + ” 最清晰時的z軸坐標。ccd顯示器ccd放在引禁下方調節z軸使得“ + ”字最淸晰主控機ccd,顯示器“+”字移到屮心備注1：調節塊中豎直螺釘的調節方法：下方螺釘順時針旋轉是使引繁向上 移動，上方螺釘螺仞順時針旋轉是使引擎

6、向下移動。若想使引擎向上移，首 先逆時針旋轉上方螺釘使之稍微松開，再順時針旋轉下方螺釘使引擎向上 移，調好后也要把上方螺釘順時針鎖緊。若使引擎向下移，同理。2.1比較各引華7軸坐標值， 選取z軸值為中間的引擎（有 時可能選繪小值或繪大值，視 情況而定）為基準調各引華共 焦。這里選2號引擎為基準舉 例說明。各引擎共焦定義:在相同的z 軸位直，各引擎成像質量達到 最好。2.2首先把作為基準的2號引 擎的小基板上16規格螺釘（共 有六個螺釘孔）用內六角扳手 鎖死。然厲用內六角扳手鎖死 調各引 小基板的上下方調節塊中豎 擎共焦肓的h6規格螺釘。2. 3再按工序1的方法測得2 號引擎成像質量故好時的z軸

7、 坐標。2. 4移動ccd看圖像的四個角 的成像是否也是故好，否則稍 微松開小基板上的m6螺釘， 再調節上下調節塊的螺釗使 得圖像四個角和中心的成像 質量都達到最好。鎖緊上下調 節塊螺釘,鎖緊小基板的螺釘 （鎖緊螺釘過程也要觀看圖 像，以防出現變化），記錄z 軸坐標。平臺備注2: z軸坐標原點在最高點，z軸坐標值越大代表引擎越靠近機臺平面。2.5調1號引擎與2號引擎共 焦： 若1號引華的z軸坐標值比 2號的大，則1號引華需往下 移動，小則向上移動。 平臺的z軸設定為2號引擎 測得的7軸坐標值，打開1號 引擎光源，把ccd放在1號引 孥f方找到”字，移到中調各引心。象共焦 稍微松開1號引象的小基板 上的螺釘，旋轉上