Centrotherm擴散爐三級維修保養作業指導書目錄第一章 設備的基礎知識.31.1.1、緊急停機、主電源開關.31.1.2 、附屬設施條件.31.1.3、設備結構特征及附圖.3第二章 設備全員生產維.（TPM）.6第一節 TPM介紹.62.1.1、TPM 名詞術語釋義.62.1.2、TPM 的內容和特點.62.1.3、TPM 的5S 活動.82.1.4、TPM設備保養.82.1.5、設備點檢.102.1.6、日常工具管理.10第二節 設備一級保養（日常維護項目）.112.2.1、設備衛生.112.2.2、設備運行情況12第三節 設備二級保養（定期維護和調整項目）.142.3.1、設備維護計劃.142.3.2、設備維護步驟.142.3.3、石英器件的維護.172.3.4、更換源瓶.19第四節 設備三級保養.202.4.1、安全事項.202.4.2、故障顯示及處理.21 （一）CESAR控制計算機上的故障顯示及排除.21 （二）設備部件的故障診斷.22 A、裝載區故障22 B、毒性氣體抽排裝置中的故障.23 C、水平式爐體故障.23 D、氣源柜中故障.24 E、爐體部件檢測.24 F、調節TGA空閑傳感器.262.4.3、CMI錯誤報警及排除.29第三章 POCL3性質和應急處理.343.1、三氯氧磷性質.343.2、三氯氧磷泄露應急處理預案.36附：設備縮寫詞含義.37 擴散爐二級保養檢查記錄單38第一章 設備的基礎知識 設備安全控件及輔助設施參數1.1.1、緊急停機主電源開關機身背部，停止所有動作，不受控制的工藝程序取消，使整個設備無電壓。緊急停機按鈕操作屏上方，停止所有動作，不受控制的工藝程序取消，使整個設備無電壓。停止動作按鈕停止所有機械動作，工藝程序不受影響。 1.1.2、冷卻水：入口17-21度，最少65升/分鐘，4-6bar，進出壓差4bar壓縮空氣：干燥，無油，5-7bar氧氣：1.2-2.5bar氮氣：1.2-2.5 bar電源：3/N380/220V 50HZ 160KW排風量：2000m3/h 1.1.3、結構特征：擴散系統A氣源柜：工藝氣體控制系統。外接氮氣、氧氣、壓縮空氣，內置磷源容器，為系統爐管提供工藝氣體，頂部設有排風。B爐體：由保溫材料巖棉爐腔，每個爐腔外圍是加熱絲，內部放置石英爐管。四個爐腔的下面是爐溫控制系統。頂部是冷卻系統。CENTROTHERM擴散系統的總電源從爐體背面中下部接入。C裝載/卸載：用于卸載、裝載硅片，各部分分別對應相應的爐管和爐腔。下側內部是電路及控制部分。下方是各部分控制按鈕。控制屏用于對整個系統的控制及監視。設備自帶有凈化系統。電阻率測試儀：由PC和四探針測試臺組成。 圖一： LOAD 裝載區 圖二： 主冷卻系統圖三：加熱爐體第二章 設備的維護第一節 TPM介紹1.1.1、TPM 名詞術語釋義TPM（Total productive maintenance 全面生產維護）：TPM是以設備綜合效率和完全有效生產率為目標，以全系統的預防維修體系為載體，以員工的行為規范化為推進過程，以全體人員參與為基礎的設備維護、保養、點檢和維修體制。設備壽命周期費用（Life cycle cost,縮寫為LCC)：是指設備在預期的壽命周期內，為其論證、研制、生產、使用、保障及報廢處置和改造所支付的一切費用的總和。它表明一臺設備一生要花多少錢，所以是設備的一個非常重要的經濟參數量值。設備壽命周期費用因而也成為現代質量觀念中的重要內涵與要素。設備的綜合效率化：綜合效率化就是使設備更有效地工作，使設備所產生的P、Q、C、D、S、M(即產量、質量、成本、交貨期、安全與勞動情緒）的最大輸出達到最大限度。設備綜合效率計算公式： 設備綜合效率=時間開動率性能開動率合格品率100% 時間開動率= 開動時間/負荷時間 100% 負荷時間=理論負荷時間（理論節拍計劃產量）+全部停機時間（停工記錄單） 計劃停機時間（僅限于設備保養時間+用餐時間） 開動時間=設備最后一次停機開始時間設備開始記錄時間各種停機時間 性能開動率=理論節拍（CT） 生產數量/開動時間 100% 合格率=合格品數量/生產數量 100% 2.1.2、TPM 的內容和特點1、TPM 的內容1）TPM 以最大限度的發揮設備功能，以零故障、零缺陷為總目標；2）TPM 是以重疊式的小組活動方式，在等級制度的組織之下加以推動的，力爭從上至下的政策和自下而上的意見得到貫徹和溝通；3）TPM 以5S（SEIRI 整理、SEITON 整頓、SEISO 清掃、SEIKETSU 清潔、SHITSUKE素養）為基礎，開展自主維修活動；4）TPM 以降低六大損失（設備故障、安裝調整、空轉短暫停機、速度降低、加工廢品、初期未達產）來提高設備綜合效率；5）TPM 的推動不僅局限于生產部門和維修部門，設計開發等其它業務、行政部門都要納入其中。2、TPM 的特點日本的全員生產維修與原來的生產維修體制相比，主要突出一個“全”字，這個“全”字有三方面的含義，即全系統、全效率和全員參加。所謂的全系統是指生產維修的各個側面均包括在內，如預防維修、維修預防、必要的事后維修和改善維修。全效率是指設備壽命周期費用評價和設備綜合效率；全員參加是指這一維修體制的群眾性特征，從公司經理到相關科室，直到全體操作工人都要參加，尤其是操作工人的自主小組活動。三個“全”之間的關系為：全員為基礎，全系統為載體，全效率為目標。TPM 的主要目標就落在“全效率”上，“全效率”在于限制和降低六大損失：1）設備停機時間損失；2）設置與調整停機損失；3）閑置、空轉與短暫停機損失；4）速度降低損失；5）殘、次、廢品損失，邊角料損失（缺陷損失）；6）產量損失（由啟動到穩定生產間隔）。有了這三個“全”字，使生產維修更加得到徹底地貫徹執行，使生產維修的目標得到更有力的保障。這也是日本全員生產維修的獨特之處。2.1.3、TPM 的5S 活動5S 活動也是全員生產維修的特征之一。所謂的5S 是5 個日語詞匯的拼音字頭。這5 個詞是：整理、整頓、清潔、清掃和素養。這些看起來有些重復繁瑣的單詞，恰恰是TPM 的基礎和精華。整理：把要與不要的事、物分開，再將不需要的事、物處理掉。讓生產現場或工作場所透明化，增大作業空間，減少碰撞事故、提高工作效率。整理的難點在于物品的分類以及處理物品的決策。沒有果斷、有效的處理，就使下一步的整頓難以進行。整頓：把留下來的有用物品加以定置、定位，按照使用頻率和可視化準則，合理布置、擺放、做到規范化、色彩標記化和定置化，便于快速找到和取用物品。整頓的要點在于事先的設計，先有設計方案，再付諸行動，可以事半功倍，避免整頓之中的返工。清掃：清除工作場所的灰塵、鐵屑、垃圾、油污，創造整潔、明快的工作環境。把清掃和設備的點檢、保養結合起來。因為清掃即是點檢的過程，我們主張由操作員工自己清掃。清掃工作也要有一工作流程的管理，如劃分清掃區域，明確設備、清掃責任人，確定清掃周期、清掃方法和清掃標準，并設計清掃的考核評估體系。只有這樣，清掃才不至變成一次大掃除，而成為一項持久的工作。清潔：前3 個S 的堅持、深化和制度化，也是更高層次的清掃，即清除廢水、粉塵和空氣污染，創造一個環保、健康的工作場所。素養：素養即為精神上“清潔”。一開始要以制度為推動力，最后達到“習慣”的目標，是形式化制度化習慣化性格化的過程。2.1.4、TPM設備保養1 設備的保養分為：一級保養，二級保養，三級保養。由于其具有三個等級的保養責任和內容，故稱為三級保養。三級保養一般連續按周期完成。它是設備專業管理與群眾管理相結合的有效保養制度之一。一級保養 又稱日常保養，是操作者對所操作設備每日（班）必須進行的保養。其內容為班前加油、擦拭、調整、班中的檢查、調節、班后的清掃、歸位等工作。日常保養可以防止故障、推遲劣化，延長設備壽命，減少事故的發生。 二級保養 以跟班維修技術員為主，由操作工人輔助，按計劃對設備進行的定期維護。其內容為：對設備進行局部拆卸、檢查、清洗；疏通油路，更換不合格的氈墊、油線；調整各配合間隙；緊固各部位。電氣部分由維修電工負責。根據不同設備及運行條件定期進行。 三級保養 以常白班設備維修技術員為主、結合設備部技術員以及設備供應商技術人員參加的定期（半年檢、年檢）維修，其內容為：擦洗設備，調整精度，拆檢、更換和修復少量易損件，并進行調整、緊固，刮研輕微磨損的部件。保持設備完好及正常運行。2 保養“十字”作業法根據設備保養內容及要求可簡述為保養“十字”法。清潔，指設備外觀及配電柜無灰垢、油泥；潤滑，指設備各潤滑部位的油質、油量滿足要求；緊固，指各連接部位緊固；調整，指有關間隙、油壓、安全裝置調整合理；防腐，指各導軌面、金屬結構件及機體清除掉腐蝕介質的侵蝕及銹跡。 日常潤滑檢查 主要內容是：操作工人在班前檢查加油試車時，察看潤滑裝置及潤滑系統是否完善、暢通，發現缺陷應立即排除；維修工或潤滑日常巡回檢查時，有重點地查看主要潤滑部位是否缺油，協助操作工排除潤滑缺陷和故障。 潤滑“五定” 五定：定人（定人加油）；定時（定時換油）；定點（定點給油）；定質（定質選油）；定量（定量用油）。2.1.5、設備點檢為了維持設備所規定的性能，按照設備的規定部位，通過人的五官和監測儀器，判別有無異狀或性能是否良好的檢查，根據規定標準使設備異狀和劣化能早期發現、早期預防、早期治療。 點檢分日常點檢和定期點檢兩種。日常點檢是以人的五官為主進行檢查，而定期點檢則除了以人的五官檢查外還要用儀器測定。此外，兩者的檢查標準和檢查周期以及執行人員也不同。 日常點檢由設備操作工人按規定標準，以五官感覺為主，對設備各部位進行技術狀態檢查，以便及時發現隱患，采取對策，盡量減少故障停機損失。 檢查一般采用主觀檢查法： 聽：設備運轉過程中是否有異常聲音 摸：軸承部位及其他部位的溫度是否異常 查：設備及管路有無“跑、冒、滴、漏”和其他缺陷隱患 看：設備運行參數是否符合規定要求 聞：設備運行部位是否有異常氣味 定期點檢 為進行預防保全，在一定的時間間隔內所進行的設備點檢。這種點檢根據設備點檢保全規程進行，一般由設備保全部門承擔。2.1.6、 日常工具管理 要點： 1、交接班的工具交接 2、工具的正常使用 3、工具的日常保養 4、以舊換新制度 5、工具臺帳的管理設備使用部門及設備操作人員負有對所使用的設備維護和保養的責任，按照三級保養的一級進行日常工作中的維護，采取多種方式，提高操作人員的設備維護意識和水平。操作人員要認真學習設備各項操作技能，熟練掌握操作技術，掌握設備工作原理，了解設備基本性能、工作方式，熟知設備運轉情況，操作人員平時要注意設備的保養及時登記設備操作記錄表，有問題及時解決或反映給設備維護人員。按照誰使用、誰負責的管理原則，把設備的用和管緊密結合起來，共同做好設備維護、保養、搶修，使設備能更好的服務于生產。第二節 設備一級保養（日常維護項目）設備日常的點檢重點項：設備使用記錄；設備衛生和設備的運行狀況。2.2.1設備衛生1當生產結束后，日常對設備衛生的維護保養，用酒精和無塵布對設備主體進行擦拭。 2 用酒精和無塵布對石墨槳進行清洗，保證槳上無有害雜質，進而保障了生產的質量。 3用夾子或者是手將設備里的碎片都清理出來。2.2.2設備的運行情況一、設備外部設施的檢查（特氣、冷卻水、三氯氧磷）1 檢查氧氣壓力、氮氣壓力和壓縮空氣壓力是否正常。如果不正常，用調壓閥進行調節（順時針擰動調壓閥加大壓力，逆時針擰動調壓閥減小壓力）壓縮空氣：干燥，無油，5-7bar氧氣：1.2-2.5bar氮氣：1.2-2.5 bar2檢查冷卻水壓力（進水壓力在0.4Mpa，出水壓力在0.1Mpa左右 ）3 檢查裝有三氯氧磷的源瓶進氣口和出氣口的閥門是否打開，通氣是否順暢二、設備硬件設施的檢查1檢查源溫控制器顯示源瓶的溫度和源溫控制器的狀態，如果狀態不正常，請點擊RUN ACKN RESET SET 等按鍵進行設置或復位。2手動運行工藝檢查爐門開啟、關閉是否正常，紅箭頭指的方向為爐門開啟的方向。如果不正常請檢查爐門在操作界面上的狀態以及其他控制電路。3檢查控制石墨槳的電機是否能夠帶動槳前后、上下的運動。如果不正常請檢查PADDLE在操作界面上的狀態，用SERVICE里的HANDING進行復位。4檢查SLIDER的傳輸是否正常。如果不正常而導致報警請檢查限位開關、位置傳感器。5檢查設備升降機能否上下運動，機械手爪子能否開或關。第三節 設備二級保養（維護和調整項目）2.3.1、設備維護周期、方法 擴散爐的維護周期為兩周，具體維護日期根據PECVD或制絨機維護日期定制，或是影響到工藝的正常運行后也應及時做好維護工作。（1）、維護時間：早班對設備進行維護，維護時間3小時。（2）、維護的主要內容：尾氣部分清理、設備內外衛生清潔、關鍵部件的檢查、清潔和運動部件的潤滑。 （3）維護所需的主要工具和物品：隔熱手套、隔熱面罩、PVC手套、無塵布、橡膠手套、泡沫墊、清理用的專用工具等。 （4）每兩月對尾氣管進行更換和清洗。 2.3.2、設備維護步驟1. 打開爐管狀態欄，觀察需要維護的爐管是否在運行著工藝。如果正在運行著工藝，請工藝結束后再進行維護。如果沒有運行著工藝，請返回到JOB界面,將爐管狀態改變成封鎖狀態。封鎖狀態工藝結束2. 打開氣源柜，先將三個夾子同時拿下，而后將殘液罐、冷卻罐和尾氣管輕輕分開。3. 將分開的冷卻罐上的廢氣管擰開，注意不要丟失里面的黑色O圈。注意O圈4. 將殘液罐、冷卻罐和尾氣管輕輕取下，注意一手扶住罐子，一手托底。將其放在早已準備好的泡沫墊上，把尾氣管稍微向外抽出點。抽出一點5. 清洗殘液罐。戴上防酸手套，把殘液倒盡后，將殘液罐用清水反復沖洗干凈，包括罐口和皮墊也沖洗干凈。沖洗當中要拿穩，不要讓殘液罐與其他物體發生碰撞。沖洗完畢后，將水倒干，然后將其放回泡沫墊上，擦拭干凈。（注意：白色皮墊不要丟失）6. 清洗冷卻罐。打開水管時，先不要開太大，當水進入冷卻罐后會產生大量濃煙，這時應先遠離濃煙。等煙霧消失后，將罐中水倒掉，注意輕拿輕放。如果戴防酸手套不方便，可以摘掉，再戴一副PVC手套。如果瓶內還有白色物質，再繼續沖洗，直到干凈為止。注意：瓶口和皮墊也要沖洗。在水槽中沖洗時一定要小心，避免石英器件與水槽發生碰撞。清洗時一手托底，一手半捂住罐口，慢慢將水倒出。將水開小點濃烈白煙 7、清洗尾氣管。在清洗過程當中，有的尾氣管可能已經堵死，在沖洗過程當中，將水開小點。沖洗完畢后，注意廢氣管里面的O圈是否還在。 8、用無塵布擦拭尾氣管；擦拭各個部件，用干凈的無塵布，輕輕擦拭。一手撫著尾氣管，輕輕擦拭。 9、 安裝時各管上的部件不可混裝。 10、在安裝時首先將廢氣管安好，再將尾氣管、殘液罐和冷卻罐連接在同一條直線上，以免緊固時損壞石英器件，而后將其用夾子夾緊（夾子的松緊程度掌握好，當頂絲頂到夾子后再擰半圈即可）。保持接口在同一條直線上 11、 尾氣管安裝完成后確保其密封性完好。 12、清理裝載區時在打開窗戶時必須小心謹慎，防止碰到舟和石英器件。13、在身體進入裝載區清理碎片時禁止碰觸石英件和槳等易碎品。2.3.3、石英器件的維護石英件的維護方法： 石英器件清洗規范：禁止用酒精擦拭石英舟。一、操作過程參照安全操作規程，佩戴防護用品，注意安全。 二、主要是針對擴散工序石英制品的清洗： 1、清洗周期：所有的石英舟每3個月清洗一次，所有尾氣管每2個月清洗一次，爐管 每1年清洗一次，熱電偶套管每半年清洗一次。 2、石英爐管、尾氣管、熱電偶套管：使用10%濃度的HF溶液浸泡清洗，根據被清洗物的清潔程度浸泡4-6小時，內外壁附著物清洗干凈為基準，然后至少用純水沖洗2-3遍。爐管清洗完成后初次使用首先做飽和2小時。 3、石英舟：使用15%-20%濃度的HF溶液浸泡清洗，時間為2小時，再用純水沖洗完成后用氮氣吹干，在爐管中空載運行3個正常工藝循環，或運行一次飽和工藝（prepocl工藝，通源時間120分鐘）后，再投入生產使用。 三、尾氣管的清理過程： 1圖為給沖洗爐管清洗機的過程。2圖為取出舊的尾氣管準備清洗3圖為將舊的尾氣管準備放入爐管清洗機里進行清洗4圖為將尾氣管放入清洗槽按照10%的HF配比溶液將尾氣管浸泡并沖洗干凈后5圖為將清洗好的尾氣管放到桌子上的海綿墊上。（防止尾氣管發生斷裂）6圖為將洗好的尾氣管用氮氣吹掃干凈2.3.4、CENTROTHERM更換源瓶 注意事項： 1、三氯氧磷是高危險化學藥品，在操作過程中，要將操作區域內的雜物清理干凈，防止更換時滑倒，或對源瓶有所損傷。 2、更換后的空瓶請注明：更換時間，設備號，班組，空瓶，并退庫。 并詳細記錄在源 瓶更換記錄中 。 3、當設備CMI界面上出現源瓶液位報警后就應更換磷源瓶，在源溫控制器報警后各班組生產時一定要多觀察相應源瓶的液位和硅片方塊電阻情況，當液位低于0.5CM時或方塊電阻出現偏差時也要及時更換。 4、各種項目都要完整詳細記錄。 5、源瓶的更換必須由兩人協同完成，一人操作，一人監督輔助。在操作前必須先戴好口罩和手套，然后再進行更換。 操作過程： 1、將新源瓶開箱，取出頂部的海綿墊和一個海綿圈疊放在一起。 2、移出空瓶：先關進氣口閥門，再關出氣口閥門，關閉同時要一手扶著進氣或出氣口底部，將進出氣口氣管螺絲擰松，把氣管拔下。將源溫控制器蓋子取下；最后將熱電偶取出；雙手緊抱源瓶兩側將源瓶取出，放置到以預備好的海綿圈中。 3、安裝新瓶：拆開密封袋，雙手緊抱源瓶兩側，兩人配合將其取出輕輕放于源溫控制器里面；將熱偶油滴入熱電偶槽中三分之一處，使熱偶油浸沒于熱電偶的金屬探頭，插入熱電偶；將源溫控制器蓋子蓋上； 4、將換下的空瓶裝箱封好； 5、把新瓶進出氣口氣管螺絲擰松后再將進（出）氣口塞子拔掉，然后一手扶著出氣口，一手將出氣管插到底，將螺絲緊固；一手扶著進氣口底部，一手將進氣管插到底，將螺絲緊固；然后一手扶著出氣口底部，一手完全打開出氣閥，再回旋半圈；之后一手扶著進氣口底部，一手完全打開進氣閥，再回旋半圈。 6、做安裝完成后的檢查確認。第四節 設備三級保養2.4.1安全事項：危險！所有設備上的維護工作均只能由經培訓的員工執行。經培訓后的員工必須具備處理以下方面的工作能力：電壓、高電壓、真空技術、氣動系統和自動控制科學與技術。重新啟動系統前請確認遵守了所有公司和車間的安全要求，并且所有安全組件和功能監控系統均功能完好。警告高壓！設備上的所有電氣工作均只能由經培訓后的員工執行。經培訓的員工必須具備處理以下方面的工作能力：電壓、高電壓、真空技術、氣動系統和自動控制科學與技術。確認遵守了所有公司和車間的安全要求。 警告毒性物質！源瓶中含有毒物質在源瓶第三層及更高層上工作時請使用一架帶扶手的梯子。在源瓶上工作時，請始終佩戴供氣式呼吸器、保護服和合適的安全手套。請在打開前和預防性維護工作后用足夠的惰性氣體清洗管道。在打開和清潔介質氣體管道時，請戴上合適的安全手套和安全眼鏡以及一個帶多范圍過濾器的防毒面罩。 小心高溫表面！ 如果工藝爐管是燙的，那么爐管密封門、槳和熱電偶一定也很燙，因此在移去這些部件時應小心。 請戴上防燙手套以免燙傷。 請將熱電偶放到一個無顆粒、不可燃的表面上。小心激光輻射! TGA空閑傳感器是按照激光級2的要求制造的。請在進行預防性維護工作和維護工作期間不要直視激光光束。 預防性維護工作和維護工作期間的激光光束和可能的反射可能會造成視網膜損傷。 請在TGA空閑傳感器上工作時始終佩戴防治激光輻射的眼鏡。2.4.2 故障顯示及處理（一）CESAR控制計算機上的故障顯示及排除加熱區功率顯示加熱區溫度顯示一、 加熱區顯示0 水平爐的溫度控制器壞了。更換溫度控制器。二、 加熱區顯示3000 CAN總線地址未輸入。1、 設定CAN總線地址2、 檢查測量放大器上熱電偶插頭的位置是否正確。3、 檢查測量放大器中的熔斷器。三、 加熱區顯示3003 沒有來自熱電偶的信號1、 檢查熱電偶插頭，如果壞了請更換。2、 檢查熱電偶，如果壞了請更換。四、 多個區域的顯示值與設定值有區別1、 檢查輸入的上升值是否太高。檢查水平爐為度控制器中的校準值。2、 檢查加熱箱中熱電偶位置。3、 檢查加熱區的功率控制器。4、 檢查加熱區的功率、電流和電壓。5、 檢查加熱箱端面的絕緣。五、 內和/或外參考點溫度顯示為0.0 檢查熱電偶插頭中的PT100。如果壞了請更換。六、 工藝舟位置顯示欄有？ 工藝舟不在預設置的位置上。1、 檢查當前的工藝舟位置是否超出了正常的移動距離，如果是請重新調節位置。2、 檢查絕對值編碼器在工藝舟移動過程中是否無間隙同步旋轉，如果是，請重新調整絕對值編碼器的零位置。3、 檢查設備配置中的校準值是否改變了，如果是，請糾正。七、 SLS顯示保持未定義 EFM不執行裝卸動作。1、 用CESAR控制計算機檢查記錄項。2、 檢查是否有人按了停止動作按鈕，如果是，請排除停止動作的原因。3、 檢查裝卸機是否碰到了限位開關，如果是，請重新調整限位開關位置。八、 不正確的氣體流速，實際值不足1、 檢查壓縮空氣。2、 檢查氣體壓力。3、 檢查主關斷閥和層關斷閥位置。4、 檢查從氣體面板到工藝爐管的氣體輸出是否碰到太多阻力。九、 不正確的氣體流速，實際值為0 1、檢查壓縮空氣 2、檢查氣體壓力。 3、檢查主關斷閥和層關斷閥位置。 4、檢查從氣體面板到工藝爐管的氣體輸出是否碰到太多阻力。 5、檢查電磁閥，如果壞了請更換。 6、檢查氣動閥，如果壞了請更換。 7、檢查MFC，如果壞了請更換。 十、實際氣體流量值顯示不帶設定值 檢查MFC。如果壞了請更換。（二）設備部件的故障診斷：A、裝載區的故障 一、無法打開照明 1、檢查燈是否壞了。 2、檢查配電柜中的熔斷器。 二、冷卻箱關機了 1、檢查CMI系統計算機的CMS顯示器中是否顯示了故障，如果是請排除。 2、檢查熔斷器。 三、裝卸載（EFM）不工作 1、用CESAR控制計算機檢查工藝舟位置和速度輸入項。 2、檢查LIFT是否準備好，如果沒有，請排除原因。 3、檢查氣柜中的爐層PLC是否已發出了打開爐門的允許信號。如果沒有，請排除聯鎖原 因。 4、檢查是否有人按了停止動作按鈕，如果是，排除停止動作原因，然后啟動按鈕。 5、檢查裝卸機上的限位開關是否調節不當或壞了。 6、檢查離合器。 7、檢查EFM是否動作緩慢。 四、裝卸機運行速度不正常 1、用CESAR控制計算機檢查工藝舟速度的設定值項。 2、檢查裝卸機是否動作緩慢。 3、檢查設備配置是否改變了。 五、不正確的裝卸機定位 1、檢查是否存在機械阻力。 2、檢查齒輪帶是否松了，齒輪是否正確嚙合。張緊齒輪帶。 3、檢查裝卸機是否碰到了一個限位開關，如果是，請重新調整限位開關或工藝舟路徑。 六、裝卸機上限位開關不工作 1、檢查通往限位開關的電纜是否已連接。 2、檢查裝卸機上電機終端的電纜是否已正確連接。 3、檢查限位開關，如果壞了請更換。 七、裝卸機只朝一個方向運行 檢查裝卸機上的限位開關，如果壞了請更換。 八、軟著陸系統（SLS）的抬升電機不工作 1、用CESAR控制計算機檢查記錄項。 2、檢查是否有人按了停止動作按鈕。 3、檢查裝卸機是否碰到了限位開關，如果是請重新調整限位開關或工藝舟路徑。 4、檢查限位開關和限位開關連接。 5、檢查裝卸機的電機終端是否已接通電源。 6、工藝舟之前在另一個地方被下降，將工藝舟移到最大位置。工藝舟自動在正確位置停止，在此位置重復抬升。 B 毒性氣體抽排裝置中的故障 工藝爐管門打不開/不關閉 1、檢查限位開關和限位開關連接。 2、檢查壓縮空氣。 3、檢查是否有人按了停止動作按鈕。 4、檢查工藝爐管門是否機械阻塞了。 5、用CESAR控制計算機的狀態屏幕檢查工藝舟實際位置和設定位置。 6、檢查工藝舟是否確實在末端位置移出了，裝卸機上的限位開關必須被遮住。C水平式爐體故障 一、加熱箱外罩過熱 1、檢查主風扇功能。 2、檢查冷卻水壓力。 3、檢查冷卻水溫度。 4、使用外部溫度計來檢查水入口的冷卻水溫度。 5、檢查冷卻水主關斷閥和層關斷閥是否已完全打開。 二、加熱箱區域不工作 檢查熱電偶。如果壞了請更換。 三、整個加熱箱不工作 1、檢查CMI系統計算機的CMS顯示器中是否顯示了故障，如果是，請排除故障。 2、檢查變壓器熔斷器。 3、檢查加熱電路中的熔斷器。 4、通過配電柜中監視繼電器的信號燈檢查CMS與CMI的通訊。信號燈閃爍表示CMS與CMI之間通訊處于活動狀態。 5、檢查加熱繼電器是否已響應。 6、檢查CMS中的超溫保護是否已激活。 D氣柜中的故障 一、氣體管線中無氣流 1、用CESAR控制計算機檢查氣體管線是否已設定。 2、檢查外部氣體監視系統是否已觸發。 3、檢查主關斷閥是否已打開。如果否，請查找關閉原因，是否應重新打開。 4、檢查層關斷閥是否已打開。如果否，請查找關閉原因，是否應重新打開。 5、檢查壓力計上是否顯示了正確的氣體壓力，如果否，則表示壓力計壞了，必須更換。 6、檢查CESAR控制計算機上是否顯示了此氣體管線質量流量控制器的氣體流速設定值。如果沒有顯示設定值： 檢查24V電壓供應是否工作 檢查是否所有Y層分配器都正確與MFC連接了 檢查是否所有連接插頭都與CESAR正確連接了 在操作面板上檢查CMI用戶界面是否顯示任何其它信息。 二、MFC不工作 1、檢查此氣體管線的氣體流速設定值是否在CESAR控制計算機上顯示。 2、檢查是否可設定和顯示不同的氣體流速。如果否，說明MFC壞了，必須更換。 三、氣動閥不工作 1、檢查是否所有連接頭均在CESAR控制計算機上正確插入了。 2、檢查電磁閥與氣動閥之間的壓縮空氣及氮軟管。 3、在氣柜上檢查PLC輸入是否工作。 四、氣體流速比不正確 檢查顯示的當前氣體流速是否與CESAR控制計算機上設定的氣體流速不同，如果是，檢查關斷閥是否完全打開，氣動閥是否已流通。 五、氣柜內部過熱 檢查是否所有的風扇都在運行，如果否，檢查配電柜中的熔斷器。如果必要請更換壞了的風扇。在配電 柜端子上測量供應電壓。E爐體部件檢測 一、檢查加熱區超溫的安全關閉裝置 在檢查過程中，請確認需檢查的加熱區與CMI上錯誤信息所指示的加熱區相符。 1、檢查一個加熱區外部熱電偶的安全關閉裝置。 去除氣體區外部熱電偶上的電源線。 以下警報信息必須顯示在CMI用戶界面上：超溫 加熱區G層n。 去除配電柜中的加熱繼電器開關蓋。 相應層的加熱繼電器開關必須關閉，進行目檢。 檢測完后請重新連接外部熱電偶的電源線。 2、按第一條中所述檢查所有其它加熱區的安全關閉裝置。 二、檢查加熱箱超溫的安全關閉裝置 1、在溫度測量模塊TMM6上拔出超溫監視器的一根電纜。 2、以下警報信息必須顯示在CMI用戶界面上：超溫 加熱區G層n。 3、去除配電柜中的加熱繼電器開關蓋。 4、相應層的加熱繼電器開關必須關閉，進行目檢。 5、檢測完后，重新連接溫度測量模塊TMM6上超溫監視器的電源線。 6、用力拉動超溫監視器的電源線，以確認其已牢固連接。 三、檢查溫度模塊TMM6的有效性1 LED Vcc OK， 綠色 2 LED Meas，黃色 1、拉出溫度測量模塊TMM6上的24V直流電壓供應插頭。 2、CESAR控制計算機的狀態屏幕上顯示一個故障，如實際溫度顯示為根本不可能發生的3000度。 3、檢測完后，重新連接溫度控制模塊TMM6上的電源線。 4、檢查TMM6是否重新正常工作。發光二極管“Vcc OK”必須發綠光，“Meas”必須閃黃光。 5、上緊相應層的活動蓋。F 調節TGA空閑傳感器 1、松開TGA空閑傳感器背面上的螺釘； 2、將工藝舟移到舟起始位置； 3、將TGA空閑傳感器定位成使得激光光束穿過預防性維護蓋中穿透點的正中，如需要，可在預防性維護蓋的孔上方持一張紙。 4、去除預防性維護蓋上的緊固螺絲和預防性維護蓋。 5、從外面透過孔看入TGA。激光光束必須擊中工藝舟凸輪，必要時重新調整TGA空閑傳感器。 6、將工藝舟移出TGA約10CM，使得舟凸輪不再被TGA空閑傳感器探測到。激光光束必須擊中反射板。 7、緊固預防性維護蓋。 8、檢查激光光束必須穿過預防性維護蓋中穿透點的正中。 9、在TGA空閑傳感器上進行了保養和預防性維護工作后，請重新緊固螺釘。 10、檢查激光光束是否已調準。 11、用工藝程序來確定工藝舟的邊緣。 12、如必要，請糾正TGA空閑傳感器的調節。 2.4.3 CMI錯誤報警信息及排除ID號錯誤信息文本原因故障排除1351PLC in “Running”status.PLC控制系統停止了.結束CMI應用程序，啟動PLC，啟動CMI.1353EWH: The external wafer handler is on longer active. No update of the life guarding information!外部硅片機械手沒有反應.檢查外部硅片機械手狀態.1360STANDBY: recipe recipe name on Cesar stack 1 not definedCesar層 1上不存在為待機定義的工藝程序見錯誤信息1400-1999PLC CAN Node Nodename unknown status:CAN 節點不處于運行狀態檢查CAN網絡連接.2100-2199PLC CAN Node Nodename battery voltage too low, or battery not installedCAN 節點電池太弱, 或沒有。更換或裝入電池.3100Alarm-external exhaust system failed外部抽排系統失靈.檢查外部傳感器.檢查內部傳感器.檢查輸入模塊連接.3320Alarm Gas sensor ext.毒性氣體管線和氫管線關閉了.檢查系統的工藝氣體管道是否滲漏.檢查輸入模塊連接.檢查由客戶與centrotherm提供的觸點連接的單元.4030Alarm Bus coupler loading box上料箱總線耦合器上故障檢查總線耦合器和連接.必要時更換總線耦合器.4200Warning Water flow at coolbox 冷卻箱水流量太低檢查冷卻箱冷卻水進出口的關斷網是否完全打開.檢查水流量.檢查傳感器的開關點.檢查冷卻水流量控制裝置的接觸.檢查流量控制裝置.檢查輸入模塊連接.4400 Warning Handing stop停止動作按鈕被啟動排除啟動停止動作按鈕的原因, 然后拉出按鈕.5010Alarm Exhaust air monitoring TGA外部抽排系統太低或失靈.檢查外部抽排系統.檢查設定的極限值.5050Alarm Differential press TGAPmax外部抽排系統太強.檢查外部抽排系統.檢查設定的極限值.6050Alarm Water overpress. heat. cassettes壓力高于7.5巴檢查冷卻水壓力.檢查設備冷卻水入口和出口的關斷閥是否完全開打.檢查工廠內部供應管線的水壓是否太高.檢查傳感器的開關點.檢查過壓開關的接觸.檢查輸入模塊連接.6080Warning Water leakage水發生滲漏檢查水平爐滲漏水盆中有無水.如果有,找出并修補滲漏處.如果沒有，檢查浮子的電接觸檢查輸入模塊連接62716272627362746275Alarm Overtemp. Heat. Cass. Stack層加熱箱溫度太高檢查主風扇功能.檢查冷卻水壓力.打開法蘭上冷卻水入口及出口并檢查流量.檢查冷卻水入口溫度.檢查超溫開關.檢查輸入模塊連接.6700Alarm Main line failure設備電壓供應中發生故障檢查電源連接的所有三個相位: 相線、中性線和安全接地線.檢查所有熔斷器.檢查輸入模塊連接.6750Alarm Main fan主風扇關機了檢查熔斷器.檢查風扇繼電器.檢查輸入模塊連接.7040Alarm Air stream gas cabinet外部抽排系統太低或失靈檢查外部抽排系統.檢查設定的極限值.71117112711371147115Alarm Bubbler temp. stack層中源瓶上溫度出錯請在CESAR控制計算機和氣柜中的源瓶上檢查和比較設定值.出現偏差時檢查源瓶.如果在設定值和實際值之間沒有偏差,則檢查輸入模塊連接.7630Alarm Compressed air supply壓縮空氣壓力不足檢查壓縮控制供應.檢查輸入模塊連接.檢查傳感器的開關點.CMI LIFT 的錯誤信息Error message text原因故障排除Handing arm in undefined position. Move to defined position!試圖用未定義的LIFT執行一次升降機移動.將LIFT移到起始位置.Tube ready is undefined. Make sure that the loading machine is in position 0 and softlander is up!裝卸機不在零位置, 軟著陸裝置不再上位置.使裝卸機位于初始位置.使軟著陸裝置位于頂端位置.Grip is in undefined position. Move to defined position.試圖在一個不正確的位置或者當一個舟在機械爪中時打開或關閉夾子.移動有效的位置或將舟從機械爪中取出.Grip clamp in undefined position. Move grip clamp to defined position!傳感器沒有檢測到夾子狀態,或者兩個夾子之一沒有正確打開或關閉.檢查傳感器、繼電器和電機.Function cannot be executed in the current. Lift position!Lift 不在此命令所要求的正確位置.夾子位置未定義.將Lift移到正確位置.檢查機械爪