線訂裝鄭州輕工業學院 / 學年第 學期 薄膜材料與薄膜技術B 試卷專業年級及班級姓名學號薄膜技術與薄膜材料課程期末試卷（B）題號一二三四總分得分 選擇題號12345678910得分評卷人答案一選擇題（每題 2 分，共 20 分）（請把答案填在上方題卡中）1. 下面哪種真空泵不屬于氣體輸運泵：（ ） (A) 旋片式機械泵 (B) 復合分子泵 (C) 羅茨泵 (D) 吸附泵2. 普通三極型電離真空計的工作范圍是：( ) (A) 102 10-1Pa (B) 105 10-2Pa (C) 103 10-1Pa (D) 10-6 10-1Pa3、 下面關于電鍍的描述哪一項不正確：（ ） (A) 只適用于在導電的基片上沉積金屬和合金 (B) 被鍍基體金屬為陽極 (C) 薄膜材料在電解液中是以正離子的形式存在 (D) 沉積物的質量遵從法拉第定律4. 目前制備單分子膜沉積技術的是：（ ） (A) 電鍍 (B) 陽極氧化 (C) 化學鍍 (D) LB技術5. 完成化學鍍的過程有三種方式，其中下面哪種不是：（ ） (A) 置換沉積 (B) 接觸沉積 (C) 還原沉積 (D) 氧化沉積 6.下面哪種選項不屬于電阻加熱蒸發法的缺點:( ) (A) 支撐坩堝及材料與蒸發物反應 (B) 蒸發率高 (C) 加熱時合金或化合物會分解 (D) 難以獲得足夠高的溫度，可蒸發材料受到限制7. 外延沉積技術對襯底的要求不合理的是：（ ） (A) 在沉積溫度下容易發生熱分解 (B) 不受外延材料及蒸氣的侵蝕 (C) 和外延材料有相近的熱膨脹系數 (D) 晶格類型和晶格常數與外延材料匹配8. 直流輝光放電伏安特性曲線中，濺射所選擇的工作區域是：（ ） (A) 湯森放電區 (B) 正常輝光放電區 (C) 異常輝光放電區 (D) 弧光放電區9. 各種濺射的基礎條件是氣氛和（ ） (A) 高壓 (B) 真空度 (C) 低壓 (D) 濺射率10. 微量天平法實際上測量的是：（ ） (A) 質量膜厚 (B) 形狀膜厚 (C) 物性膜厚 (D) 表面膜厚得分評卷人二、填空題（每空1分，共20分）1. 典型的真空系統應包括：_ ， _和_及一些必要的管道閥門等。2. X射線衍射法中隨分析樣品的不同可分為適合單晶的_，適合粉末材料和薄膜的_及適合粉體材料的粉末法。3. 薄膜應力是薄膜重要的力學性質，它對薄膜的實際應用影響很大，它可以分為_和_。4. 電子衍射圖案對于單晶衍射為_ ，精細多晶為_，大晶粒多晶且包含織構為 _。5. 島狀薄膜的形成過程可分為四個主要階段，分別為_，_，_，_。6. 溶膠是具有液體特征的膠體體系，分散的粒子是固體或者大分子，分散的粒子大小在 之間。7. 在離子鍍膜成膜過程中，同時存在_ 和 _，只有當前者超過后者時，才能發生薄膜的沉積。8. 納米薄膜按結構可以分為：_ ， _和_。得分評卷人三、簡答題（每小題5分，共40分）1. 什么是化學氣相沉積？有哪些常見類型？ 2. 要得到質量較好的沉積膜，基體應滿足什么條件？ 線訂裝3. 什么是離子鍍？離子鍍膜可以分為哪些類別？4. 簡述掃描電鏡的工作原理。5. 簡述薄膜形成與生長的物理過程。線訂裝鄭州輕工業學院 / 學年第 學期 薄膜材料與薄膜技術B 試卷專業年級及班級姓名學號6.簡述等離子體化學氣相沉積中等離子體的作用是什么？ 7. 何為有機金屬化學氣相沉積？對原料的要求是什么？8. 紅外吸收和拉曼散射的原因是什么？為什么某些分子振動隊紅外吸收敏感，而另一些分子振動對拉曼散射敏感？得分評卷人四、綜合題（每小題10分，共20分）1、試推導二次離子質譜儀的工作原理。線訂裝2.