1ME技術報告書 文件編號:文件傳送和文件做成.審核.批準收件1PLAT，PMC，LAB，QA，QAE，維修部，貨倉，審計作成任鳳舉抄送相關經理/副經理/高生/鄧生/遠滕先生審核FAX批準文件核心內容描述技術項目4#外層蝕刻機工藝能力綜合評估目標指標順利投入生產各項指標達標報告摘要現況：1#舊蝕刻機老化，蝕刻均勻性差，不能生產細密線路，外層蝕刻產能瓶頸；技術點：按工藝要求對設備規格、工藝能力進行評估。QDC變化量：Q：舊蝕刻機嚴重老化，不能生產細密線路；3#ETCH2報廢率 0.063%； Q1：減少報廢，提高品質，可以生產細密線路。報廢率0.0098% D： D1：提高產能7000PNL/天。 C： C1：與原蝕刻機生產成本相同。 S： S1：自動化程度較高，操作方便。試驗方案及結果一. 工藝能力評估1 蝕刻均勻性評估：（要求：蝕刻均勻性COV90%）蝕刻條件：銅離子142.2g/L, 氯離子179.9g/L, PH 8.47，比重 1.201 ；試板尺寸：2420inch; 銅厚：2安士；評估方法：將2安士銅蝕刻到1安士，用銅厚儀測銅厚分布，每面測88個數據；計算公式：蝕刻均勻性COV(1-標準差/平均值)100%a.上噴銅厚分布行 點ABCDEFGHIJK13735.635.634.53433.134.934.23434.135.5238.336.536.736.536.237.137.636.235.335.836339.337.336.538.338.737.537.738.436.937.536.7439.636.83837.637.938.339.83837.63837.3539.438.137.839.439.138.439.340.338.738.537.16403738.33837.738.638.837.437.538.437.8738.436.936.637.537.237.438.936.936.636.336.983735.635.634.53433.134.934.23434.135.5 平均值=37.32UM；標準差=1.499UM; 上噴蝕刻均勻性COV(1-標準差/平均值)100%(1-1.499/37.32) 100%95.98% 上噴銅厚分布圖 b. 下噴銅厚分布行 點ABCDEFGHIJK137.336.43736.837.237.537.536.736.337.238.1236.336.838.437.838.138.737.736.635.936.738.8337.237.436.737.337.238.83736.935.83737.9436.737.53736.838.238.137.936.73737.139.2536.537.237.83737.938.237.136.836.537.737.563737.237.337.337.738.33736.937.236.837.373737.437.536.838.337.836.837.337.637.937.7837.935.936.335.636.637.236.837.436.635.936.8平均值=37.23UM；標準差=0.702UM; 下噴蝕刻均勻性COV(1-標準差/平均值)100%(1-0.702/37.23) 100%98.1%下噴銅厚分布圖試驗方案及結果2蝕刻因子評估（要求：蝕刻因子3）蝕刻條件：銅離子142.2g/L, 氯離子176.7g/L, PH 8.3，比重 1.201 ；蝕刻壓力：2.3-2.5/2（蝕刻缸內另補加防側蝕劑8mg/L）試板尺寸：2016inch; 銅厚：底銅1/2安士圖電銅厚到1安士；評估方法：蝕刻後做切片，用顯微鏡讀取數據；讀數位置圖： C V計算公式：蝕刻因子EV/C A上噴蝕刻因子數據3.03.43.23.23.43.23.43.43.23.23.093.23.63.43.43.43.43.4B下噴蝕刻因子數據3.63.03.63.03.63.43.23.43.23.63.43.63.43.33.63.63.63.6 蝕刻後線路圖片3 。脫膜能力評估脫膜條件：YH-206鹼度0.9-1.3N；溫度430C；壓力2.5/2 ；脫膜點控制：50-60%； A 非汽車板脫膜能力:(1).脫膜液新開缸到使用12小時：線距2.4-3.5mil(圖電銅錫厚度40um),脫膜速度2.8-3.1m/mim; 線距3.5mil(圖電銅錫厚度40um), 脫膜速度3.0-3.4m/mim;(2). 脫膜液使用1224小時：線距2.4-3.5mil(圖電銅錫厚度40um),脫膜速度2.5-2.9m/mim; 線距3.5mil(圖電銅錫厚度40um), 脫膜速度2.7-3.1m/mim;試驗方案及結果B汽車板退膜能力:(1).脫膜液新開缸到使用12小時：孔銅厚25UN,脫膜速度2.3-2.5m/mim; 孔銅厚35UN,脫膜速度2.0-2.1m/mim;(2). 脫膜液使用1224小時：孔銅厚25UN,脫膜速度2.0-2.3m/mim; 孔銅厚35UN,脫膜速度1.8-2.0m/mim;4。蝕刻能力評估（要求半安士底銅可以生產3mil/3mil線） A.試板DV-7462內層L2/L3面原裝線寬2.953mil,完成線寬要求2.07mil,底銅厚1/2 OZ; 蝕刻後實測線寬如下：3.15mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil ,2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil; 線寬合格率100%。 B. 試板DV-6441內層L2/L3面原裝線寬2.95mil,完成線寬要求2.07mil-3.5mil,線距2.4mil; 底銅厚1/2 OZ; 線寬合格率100%。 蝕刻後實測線寬如下：3.15，3.15，3.15，3.15， 2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil，2.76 mil；3.15，3.15，3.15，2.76，2.76，2.76；2.76，2.76。 C汽車板試板： DH-6006（孔銅25UM）完成線寬要求0.14mm-0.18mm,蝕刻後線寬：0.16，0.17，0.17，0.15，0.16，0.16，0.17，0.17，0.17，0.17，0.17，0.17，0.16。線寬合格率100%。 DH-7171（孔銅35UM）完成線寬要求0.14mm-0.18mm,蝕刻後線寬：0.14，0.15，0.14，0.16，0.15，0.15，0.17，0.16，0.15，0.15，0.15，0.15。線寬合格率100%。 蝕刻速度： 半安士底銅一般3.54.5M/MIN。 蝕刻後線路圖片：5。退錫能力評估 試板板厚2MM，孔徑0.2MM，縱橫比10：1；板面錫厚5-8UM； 退錫速度3M/MIN，溫度30，比重1.25，噴淋壓力2.3Kg/CM2 ; 試板結果：板面和小孔內的錫層可以一次退除幹凈。6。薄板輸送能力評估： 板厚0.10MM不含銅，電鍍銅錫後過退膜蝕刻退錫全線，高壓水洗壓力調到2-3KG/CM2，試板數量10PNL；試板結果：輸送順暢，無卡板問題。三. 生產板品質狀況（7月1日-9月13日,FA除外）1. 電金板共生產12646塊板，品質正常，無蝕刻過度和金面氧化等問題；其中有設備損壞板8PNLS。2. 外層電銅錫板共生產123626塊板，品質正常，無蝕刻線幼和蝕刻短路等問題；3. 內層電銅錫板共生產258225塊板，線寬線距正常，無蝕刻線幼和蝕刻短路等問題；其中蝕刻不足14PNL，蝕刻過度9PNL，設備損壞板8PNLS。4. 汽車板共生產1920PNL，線寬線距正常，無蝕刻線幼和蝕刻短路等問題；5. 薄板生產狀況：DC-7385內層板厚0.17MM，生產7057PNLS輸送順暢，無卡板問題。6. 總報廢率：39/3964170.0098%;(原2#ETCH2報廢率0.168%；3#ETCH2報廢率 0.063%)。注：以上數據來自DM ERP-（WIP MIS）系統。四產能評估： 1. 普通板產能:1.普通板平均生產速度：約3M/MIN；2.板寬度平均約41CM，放板間距3CM；3.每小時產能：300(41+3)60409PNL/H; 4.每天生產時間： （1） 每天非生產時間：更換藥水及維護1.5H；型號轉換FA每次12MIN*10次共120MIN（2H）；吃飯1+0.5+1+0.53H; 共計6.5H。（2） 每天生產時間：24-6.517.5H. 5.普通板每天產能:40917.57157PNL/天。2. 汽車板產能評估： 1.汽車板退膜平均生產速度：約2.2M/MIN； 2.每小時產能：220(41+3)60300PNL/H; 3.汽車板每天產能:30017.55250PNL/天。考察1. 通過對蝕刻均勻性和蝕刻因子的評估可以看出：其蝕刻均勻性和蝕刻因子可以達到要求，其蝕刻較均勻，有利於細線生產；2. 通過對蝕刻能力評估可以看出：該蝕刻線可以生產半安士底銅3mil/3mil線；蝕刻速度： 半安士底銅一般45M/MIN，可以滿足生產需求。3. 通過對脫膜能力評估可以看出：經過前期的改善，目前該機平均退膜速度可以達到3m/mim; 可以滿足生產需求。4. 通過對退錫能力評估可以看出：該機可以將縱橫比10：1小孔內的錫層可以一次退除幹凈。可以滿足工藝要求；5. 通過薄板輸送能力評估可以看出，其可以生產板厚0.10MM不含銅的電鍍銅錫板，（高壓水洗壓力調到2-3KG/CM2）。6. 通過生產板品質狀況可以看出：該機目前可以生產電金板、普通外層電銅錫板、內層電銅錫板，汽車板外層線路。結論1. .通過相關試驗及批量試產，4#蝕刻機工藝能力合乎要求，可以滿足現有型號生產品質要求。2. 4#外層蝕刻線可以投入生產，目前可以生產的板的種類有：電金板、普通外層電銅錫板、內層電銅錫板；外層汽車板。結論3. 設備工藝能力項目單位正常工藝能力要求判斷備注最大寬度mm610610PASS最小寬度mm200200PASS最大長度mm610610PASS最小長度mm200200PASS最大厚度mm3.23.2PASS最小厚度mm0.100.10PASS高壓水洗壓力調到2-3KG/CM2金屬線寬生產下限mil33PASS半安士底銅，原裝3/3mil線沉銅平板層銅厚在510um以內，且銅厚偏差在5um以