硅材料制備技術專業教學標準(高等職業教育專科)2025修訂_第1頁
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文檔簡介

1硅材料制備技術專業教學標準(高等職業教育專科)為適應科技發展、技術進步對行業生產、建設、管理、服務等領域帶來的新變化,順應硅材料行業高端化、智能化、綠色化發展的新趨勢,對接新產業、新業態、新模式下多晶硅制取、單晶硅生產、晶片加工、半導體芯片制造等崗位(群)的新要求,不斷滿足硅材料行業高質量發展對高素質技能人才的需求,推動職業教育專業升級和數字化改造,提高人才培養質量,遵循推進現代職業教育高質量發展的總體要求,參照國家相關標準編制要求,制訂專業教學直接決定高素質技能人才培養的質量,專業教學標準是開展專業教學的基本依據。本標準是全國高等職業教育專科硅材料制備技術專業教學的基本標準,學校應結合區域/行業實際和自身辦學定位,依據本標準制訂本校硅材料制備技術專業人才培養方案,鼓勵高于本標準辦出特色。2專業名稱(專業代碼)硅材料制備技術(430607)3入學基本要求中等職業學校畢業、普通高級中學畢業或具備同等學力4基本修業年限5職業面向所屬專業大類(代碼)能源動力與材料大類(43)所屬專業類(代碼)非金屬材料類(4306)對應行業(代碼)電子元件及電子專用材料制造(398)主要職業類別(代碼)多晶硅制取工(6-17-08-02)、晶片加工(6-25-02-04)主要崗位(群)或技術領域多晶硅、單晶硅、晶片、半導體芯片……職業類證書智能制造生產管理與控制、冶金機電設備點檢……6培養目標本專業培養能夠踐行社會主義核心價值觀,傳承技能文明,德智體美勞全面發展,具有一定的科學文化水平,良好的人文素養、科學素養、數字素養、職業道德、創新意識,愛崗2敬業的職業精神和精益求精的工匠精神,較強的就業創業能力和可持續發展的能力,掌握本專業知識和技術技能,具備職業綜合素質和行動能力,面向電子元件及電子專用材料制造行業的多晶硅、單晶硅、晶片、半導體芯片等技術領域,能夠從事多晶硅、單晶硅、晶片、半導體芯片的生產管理、智能制造等工作的高技能人才。7培養規格本專業學生應在系統學習本專業知識并完成有關實習實訓基礎上,全面提升知識、能力、素質,掌握并實際運用崗位(群)需要的專業核心技術技能,實現德智體美勞全面發展,總體上須達到以下要求:(1)堅定擁護中國共產黨領導和中國特色社會主義制度,以習近平新時代中國特色社會主義思想為指導,踐行社會主義核心價值觀,具有堅定的理想信念、深厚的愛國情感和中華民族自豪感;(2)掌握與本專業對應職業活動相關的國家法律、行業規定,掌握綠色生產、環境保護、安全防護、質量管理等相關知識與技能,了解相關行業文化,具有愛崗敬業的職業精神,遵守職業道德準則和行為規范,具備社會責任感和擔當精神;(3)掌握支撐本專業學習和可持續發展必備的語文、數學、外語(英語等)、信息技文化基礎知識,具有良好的人文素養與科學素養,具備職業生涯規劃能力;(4)具有良好的語言表達能力、文字表達能力、溝通合作能力,具有較強的集體意識和團隊合作意識,學習1門外語并結合本專業加以運用;(5)掌握半導體硅材料基礎、無機化學、電工電子、工程制圖與CAD、新能源技術、化工單元基礎等方面的專業基礎理論知識;(6)掌握多晶硅、單晶硅、晶片、半導體芯片產品的基礎知識、工藝原理,具備工藝控制與改進、工藝異常識別與處理的能力;(7)具有多晶硅、單晶硅、晶片、半導體芯片生產的關鍵設備操控和維護保養的能力;(8)掌握多晶硅、單晶硅、晶片、半導體芯片生產環節?;钒踩芾砼c生產故障排查的技術能力,具有應急處理的能力;(9)掌握多晶硅、單晶硅、晶片、半導體芯片生產原料、制品和產品檢測與分析的能力,具有編制質量分析報告的能力;(10)掌握信息技術基礎知識,具有適應本行業數字化和智能化發展需求的數字技能;(11)具有探究學習、終身學習和可持續發展的能力,具有整合知識和綜合運用知識分析問題和解決問題的能力;(12)掌握身體運動的基本知識和至少1項體育運動技能,達到國家大學生體質健康測試合格標準,養成良好的運動習慣、衛生習慣和行為習慣;具備一定的心理調適能力;38課程設置及學時安排8.1課程設置主要包括公共基礎課程和專業課程。8.1.1公共基礎課程按照國家有關規定開齊開足公共基礎課程。應將思想政治理論、體育、軍事理論與軍訓、心理健康教育、勞動教育等列為公共基礎必修課程。將馬克思主義理論類課程、黨史國史、中華優秀傳統文化、語文、數學、物理、化學、外語、國家安全教育、信息技術、藝術、職業發展與就業指導、創新創業教育、職業素養教育、社會實踐課程等列為必修課程或限定選修課程。學校根據實際情況可開設具有地方特色的校本課程。8.1.2專業課程一般包括專業基礎課程、專業核心課程和專業拓展課程。專業基礎課程是需要前置學習的基礎性理論知識和技能構成的課程,是為專業核心課程提供理論和技能支撐的基礎課程;專業核心課程是根據崗位工作內容、典型工作任務設置的課程,是培養核心職業能力的主干課程;專業拓展課程是根據學生發展需求橫向拓展和縱向深化的課程,是提升綜合職業能力的延展課程。學校應結合區域/行業實際、辦學定位和人才培養需要自主確定課程,進行模塊化課程設計,依托體現新方法、新技術、新工藝、新標準的真實生產項目和典型工作任務等,開展項目式、情境式教學,結合人工智能等技術實施課程教學的數字化轉型。有條件的專業,可結合教學實際,探索創新課程體系。(1)專業基礎課程主要包括:工程制圖與CAD、半導體硅材料基礎、無機化學、電工電子技術、電氣控制與PLC、新能源技術、化工單元基礎、數據統計分析等領域的內容。(2)專業核心課程主要包括:多晶硅生產與工藝設計、單晶硅生產與工藝設計、高純硅材料工藝技術、硅片專業核心課程主要教學內容與要求課程涉及的主要領域典型工作任務描述主要教學內容與要求1多晶硅生產與工藝設計①典型工作任務:改良西門子法、硅烷流化床法生產多晶硅。①掌握多晶硅生產工藝類型。②掌握多晶硅改良西門子法、硅烷流化床法基本原理、工藝流程、生產關鍵設備的結構與工作原理,具備多晶硅生產工藝控制的能力。4課程涉及的主要領域典型工作任務描述主要教學內容與要求1多晶硅生產與工藝設計②工作內容:氣體的制備與凈化、三氯氫硅的合成等八個工藝的安全生產操作、工藝調控、設備使用與維護、質量控制及應急處理。③使用設備與軟硬件資源:多晶硅生產虛擬仿真軟件、企業視頻等③掌握硅芯拉制工藝,具備硅芯拉制④掌握多晶硅安全生產知識,具備多晶硅生產故障分析與應急處理的能力。⑤具備低碳環保生產的意識2單晶硅生產與工藝設計①典型工作任務:直拉單晶硅棒②工作內容:直拉法制備單晶硅棒③使用設備與軟硬件資源:直拉單晶爐、單晶硅生產虛擬仿真軟件、企業視頻等①掌握單晶硅的直拉工藝原理、工藝要點,具備工藝分析、工藝調控的能力。③掌握單晶爐的熱場原理,具備熱場④掌握單晶硅拉制的摻雜計算的方法,具備摻雜計算的能力。⑤具備低碳環保生產的意識3高純硅材料工藝技術①典型工作任務:電子級多晶硅生產、區熔單晶硅生產。②工作內容:電子級多晶硅、區熔單晶硅安全生產操作、工藝調控、異常情況分析、設備操作與維護、質量管理與分析等。③使用設備與軟硬件資源:基礎化學實驗室設備、企業視頻等②掌握高純硅材料的物理提純工藝③掌握高純硅材料的化學提純工藝④掌握高純硅材料的清洗工藝技術。⑤掌握高純硅材料成分分析的方法,具備高純硅材料生產工藝設計的能力4硅片加工與工藝設計①典型工作任務:單晶硅片生產。②工作內容:參與工作崗位硅片生③使用設備與軟硬件資源:硅片加工模擬軟件、企業視頻等①掌握硅片加工工藝基本原理、工藝流程,具備硅片加工工藝調控的能力。②掌握硅片加工設備結構與工作原理,具備硅片加工生產故障分析與應急處理的能力5課程涉及的主要領域典型工作任務描述主要教學內容與要求5硅材料檢測與分析技術①典型工作任務:多晶硅的檢測,單晶硅、硅片不同生產工序產品檢測。②工作內容:負責對多晶硅、單晶硅、硅片生產過程中的不同工序各類不同狀態產品進行檢驗,并做好檢驗原始記錄;對檢測數據進行判斷與分析、異常分析及處理;檢測設備的使③使用設備與軟硬件資源:液相色①掌握多晶硅中施受主雜質的檢測方法,具備多晶硅雜質檢測的能力。②掌握三氯氫硅中痕量雜質的檢測方法,具備三氯氫硅中痕量雜質的檢測與分析的能力。③掌握單晶硅棒檢測的方法,具備單晶硅生產來料、制程、產品檢驗的能力。④掌握硅片質量檢測的方法和原理,具備硅片來料、制程、產品檢測的能力。6半導體芯片生產技術①典型工作任務:芯片的生產。②工作內容:光刻、等離子體、反應離子的刻蝕工藝的安全生產操作、工藝調控、設備使用與維護,半導體芯片的質量檢測與質量控制等。③使用設備與軟硬件資源:芯片生產虛擬仿真軟件、企業視頻等氣相外延生長、濺射和化學氣相淀積的基本工藝原理。③掌握芯片生產設備類型、設備結構,半導體芯片生產過程中的工藝設計和操控,半導體芯片的質量檢測,半導體芯片生產工藝設計7工業企業生產現場管理①典型工作任務:班組現場生產管理、班組建設。②工作內容:生產記錄、報表、員工績效考核,確認工單數量、材料、工藝要求等指標信息;負責帶領本組高員工的安全及遵章守紀意識,制止違章行為,避免安全事件的發生;負責按工藝標準進行標準化作業、降低③使用設備與軟硬件資源:數據分析軟件、辦公軟件等①掌握班組管理基礎知識、安全與6S管理,具備班組現場生產管理、制訂班組建設行動計劃的能力。②掌握班組長角色認知與應用文寫作的能力,具有班組管理技能、統計分析員工培訓的技術技能。③掌握生產常見異常情況,具備生產一線的組織協調與現場管理能力6課程涉及的主要領域典型工作任務描述主要教學內容與要求8企業安全生產與職業健康①典型工作任務:硅材料企業安全②工作內容:制訂安全生產規章制度、安全技術操作規程和作業規程;排查事故隱患,制訂整改方案和安全措施;制訂從業人員安全培訓計劃;選用和發放勞動防護用品;進行生產安全事故調查;制訂重大危險源檢測、評估、監控措施和應急救援預案;其他安全生產工作事項①掌握硅材料企業常見安全生產規章制度、安全作業規程。②具備硅材料企業基礎安全事故的③掌握企業安全常見異常情況。④具備生產一線現場安全管理的能⑤具備簡單危險源檢測、評估、監控和應急救援的能力(3)專業拓展課程開發、硅材料專業英語、晶硅電池生產技術、智能制造技術、新能源創新應用技術、情報檢索等領域的內容。8.1.3實踐性教學環節實踐性教學應貫穿于人才培養全過程。實踐性教學主要包括實驗、實習實訓、畢業設計、社會實踐活動等形式,公共基礎課程和專業課程等都要加強實踐性教學。(1)實訓在校內外進行電工技能、機械加工技能、多晶硅虛擬仿真、單晶硅虛擬仿真、硅材料檢測等實訓,包括單項技能實訓、綜合能力實訓、生產性實訓等。在電子元件及電子專用材料制造行業的光伏硅材料和半導體硅材料的生產制造企業、科研院所等單位進行實習,包括認識實習和崗位實習。學校應建立穩定、夠用的實習基地,選派專門的實習指導教師和人員,組織開展專業對口實習,加強對學生實習的指導、管理和考核。實習實訓既是實踐性教學,也是專業課教學的重要內容,應注重理論與實踐一體化教學。學校可根據技能人才培養規律,結合企業生產周期,優化學期安排,靈活開展實踐性教學。應嚴格執行《職業學校學生實習管理規定》和相關專業崗位實習標準要求。8.1.4相關要求學校應充分發揮思政課程和各類課程的育人功能。發揮思政課程政治引領和價值引領作用,在思政課程中有機融入黨史、新中國史、改革開放史、社會主義發展史等相關內容;結合實際落實課程思政,推進全員、全過程、全方位育人,實現思想政治教育與技術技能培養的有機統一。應開設安全教育(含典型案例事故分析)、社會責任、綠色環保、新一代信息7技術、數字經濟、現代管理、創新創業教育等方面的拓展課程或專題講座(活動),并將有關內容融入課程教學中;自主開設其他特色課程;組織開展德育活動、志愿服務活動和其他總學時一般為2600學時,每16~18學時折算1學分,其中,公共基礎課總學時一般不少于總學時的25%。實踐性教學學時原則上不少于總學時的50%,其中,實習時間累計一般為6個月,可根據實際情況集中或分階段安排實習時間。各類選修課程的學時累計不少于總學時的10%。軍訓、社會實踐、入學教育、畢業教育等活動按1周為1學分。9師資隊伍作為教師隊伍建設的第一標準。不低于60%,高級職稱專任教師的比例不低于20%,專任教師隊伍要考慮職稱、年齡、工作經驗,形成合理的梯隊結構。能夠整合校內外優質人才資源,選聘企業高級技術人員擔任行業導師,組建校企合作、專兼結合的教師團隊,建立定期開展專業(學科)教研機制。9.2專業帶頭人原則上應具有本專業及相關專業副高及以上職稱和較強的實踐能力,能夠較好地把握國內外電子元件及電子專用材料制造行業、專業發展,能廣泛聯系行業企業,了解行業企業對本專業人才的需求實際,主持專業建設、開展教育教學改革、教科研工作和社會服務能力強,在本專業改革發展中起引領作用。9.3專任教師具有高校教師資格;原則上具有材料化學、材料物理與化學、新能源材料與器件等相關專業本科及以上學歷;具有一定年限的相應工作經歷或者實踐經驗,達到相應的技術技能水平;具有本專業理論和實踐能力;能夠落實課程思政要求,挖掘專業課程中的思政教育元素和資源;能夠運用信息技術開展混合式教學等教法改革;能夠跟蹤新經濟、新技術發展前沿,開展技術研發與社會服務;專業教師每年至少1個月在企業或生產性實訓基地鍛煉,每5年累計不少于6個月的企業實踐經歷。9.4兼職教師主要從本專業相關行業企業的高技能人才中聘任,應具有扎實的專業知識和豐富的實際工作經驗,一般應具有中級及以上專業技術職務(職稱)或高級工及以上職業技能等級,了解教育教學規律,能承擔專業課程教學、實習實訓指導和學生職業發展規劃指導等專業教學任務。根據需要聘請技能大師、勞動模范、能工巧匠等高技能人才,根據國家有關要求制定針對兼職教師聘任與管理的具體實施辦法。810教學條件主要包括能夠滿足正常的課程教學、實習實訓所需的專業教室、實驗室、實訓室和實習10.1.1專業教室基本要求具備利用信息化手段開展混合式教學的條件。一般配備黑(白)板、多媒體計算機、投影設備、音響設備,具有互聯網接入或無線網絡環境及網絡安全防護措施。安裝應急照明裝置并保持良好狀態,符合緊急疏散要求,安防標志明顯,保持逃生通道暢通無阻。10.1.2校內外實驗、實訓場所基本要求實驗、實訓場所面積、設備設施、安全、環境、管理等符合教育部有關標準(規定、辦法實驗、實訓環境與設備設施對接真實職業場景或工作情境,實訓項目注重工學結合、理實一體化,實驗、實訓指導教師配備合理,實驗、實訓管理及實施規章制度齊全,確保能夠順利開展電工技能、機械加工技能、多晶硅生產、單晶硅生產、硅材料檢測等實驗、實訓活動。鼓勵在實訓中運用大數據、云計算、人工智能、虛擬仿真等前沿信息技術。(1)多晶硅生產實訓室配備機房、多媒體教學系統、多晶硅虛擬仿真系統等設備設施,用于多晶硅生產與工藝設計等實訓教學。(2)單晶硅生產實訓室配備機房、多媒體教學系統、石英坩堝、單晶爐等設備設施(或虛擬仿真軟件),用于單晶硅生產與工藝設計、硅片加工與工藝設計等實訓教學。(3)基礎化學實訓室配備實驗臺、常規玻璃儀器、天平、酸度計、分光光度計等設備設施,用于無機化學、硅片加工與工藝設計等實訓教學。(4)硅材料檢測實訓室配備用于測試多晶硅料、單晶硅棒、硅片、半導體芯片產品檢測的四探針測試儀、導電類型測試儀、少子壽命測試儀、硅片厚度檢測儀、傅里葉紅外檢測儀、氣相色譜儀、液相色譜儀、高倍顯微鏡、硅晶體定向儀等設備設施,用于硅材料檢測與分析技術、半導體芯片生產技術等實訓教學??山Y合實際建設綜合性實訓場所。10.1.3實習場所基本要求符合《職業學校學生實習管理規定》《職業學校校企合作促進辦法》等對實習單位的有關要求,經實地考察后,確定合法經營、管理規范,實習條件完備且符合產業發展實際、符合安全生產法律法規要求,與學校建立穩定合作關系的單位成為實習基地,并簽署學校、學生、實習單位三方協議。根據本專業人才培養的需要和未來就業需求,實習基地應能提供多晶硅制取、晶片加工、半導體芯片制造、半導體輔料制備等與專業對口的相關實習崗位,能涵蓋當前相關產業發展9的主流技術,可接納一定規模的學生實習;學校和實習單位雙方共同制訂實習計劃,能夠配備相應數量的指導教師對學生實習進行指導和管理,實習單位安排有經驗的技術或管理人員擔任實習指導教師,開展專業教學和職業技能訓練,完成實習質量評價,做好學生實習服務和管理工作,有保證實習學生日常工作、學習、生活的規章制度,有安全、保險保障,依法依規保障學生的基本權益。主要包括能夠滿足學生專業學習、教師專業教學研究和教學實施需要的教材、圖書及數字化資源等。10.2.1教材選用基本要求按照國家規定,經過規范程序選用教材,優先選用國家規劃教材和國家優秀教材。專業課程教材應體現本行業新技術、新規范、新標準、新形態,并通過數字教材、活頁式教材等多種方式進行動態更新。10.2.2圖書文獻配備基本要求圖書文獻配備能滿足人才培養、專業建設、教科研等工作的需要。專業類圖書文獻主要包括:硅材料行業政策法規,硅材料領域行業/國家/國際標準、職業標準,行業調研報告、前沿技術、企業文化等圖書文獻。及時配置新經濟、新技術、新工藝、新材料、新管

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