晶圓生產車間設備管理制度一、總則（一）目的為加強晶圓生產車間設備管理，確保設備正常運行，提高生產效率，保證產品質量，降低生產成本，特制定本制度。（二）適用范圍本制度適用于晶圓生產車間內所有生產設備、檢測設備、輔助設備等的管理。（三）管理原則1.預防為主，確保設備安全、穩定、高效運行。2.全員參與，明確各部門和人員在設備管理中的職責。3.科學管理，運用先進的管理方法和技術手段，提高設備管理水平。二、設備管理職責（一）設備管理部門1.負責制定和完善設備管理制度、操作規程等文件。2.統籌規劃設備的選型、采購、安裝、調試等工作。3.建立設備檔案，記錄設備的基本信息、運行狀況、維修保養等情況。4.組織設備的定期巡檢、預防性維護和故障維修工作。5.負責設備備件的管理，制定備件庫存計劃，確保備件及時供應。6.對設備操作人員進行培訓和考核，監督設備操作規范的執行。（二）生產部門1.負責本部門設備的日常使用和維護，確保設備正常運行。2.配合設備管理部門進行設備的安裝、調試、驗收等工作。3.及時向設備管理部門反饋設備運行中出現的問題，協助維修人員進行故障排除。4.組織本部門員工學習設備操作規程，提高員工的操作技能。（三）質量部門1.負責對設備運行過程中的產品質量進行監控，確保產品質量符合要求。2.參與設備的驗收工作，對設備的質量性能進行評估。3.對因設備問題導致的質量事故進行調查和分析，提出改進措施。（四）采購部門1.根據設備管理部門的需求，負責設備及備件的采購工作。2.選擇合格的供應商，簽訂采購合同，確保采購設備及備件的質量和交貨期。3.負責采購設備及備件的到貨驗收工作，及時辦理入庫手續。（五）財務部門1.負責設備管理費用的預算編制和控制。2.審核設備采購、維修、保養等費用的報銷憑證，確保費用支出合理合規。（六）設備操作人員1.嚴格按照設備操作規程操作設備，確保設備安全運行。2.做好設備的日常清潔、潤滑、緊固等維護工作，及時發現并報告設備故障。3.配合維修人員進行設備維修和保養工作，提供必要的協助。4.參加設備管理部門組織的培訓和考核，不斷提高操作技能。三、設備選型與采購（一）選型原則1.滿足生產工藝要求，保證產品質量和生產效率。2.技術先進、可靠性高、易于操作和維護。3.具有良好的性價比，符合企業的經濟承受能力。4.考慮設備的兼容性和擴展性，便于與現有設備集成和升級。（二）采購流程1.設備管理部門根據生產需求和設備現狀，提出設備選型建議，編制設備采購申請。2.采購申請經相關部門審核后，報主管領導批準。3.采購部門根據批準的采購申請，進行供應商選擇和采購談判，簽訂采購合同。4.設備到貨前，采購部門通知設備管理部門、生產部門等相關人員做好驗收準備。5.設備到貨后，由設備管理部門組織采購部門、生產部門、質量部門等相關人員進行驗收，驗收合格后辦理入庫手續。四、設備安裝與調試（一）安裝準備1.設備管理部門根據設備安裝說明書和現場實際情況，制定設備安裝方案。2.準備好設備安裝所需的工具、材料、場地等條件。3.組織安裝人員進行技術培訓，熟悉設備安裝要求和操作規程。（二）安裝調試1.按照設備安裝方案進行設備的安裝，確保設備安裝牢固、水平度和垂直度符合要求。2.連接設備的電氣、管道、通風等系統，進行電氣布線、管道連接和通風調試。3.設備安裝完成后，進行單機調試和聯動調試，檢查設備的運行狀況和性能指標，確保設備正常運行。4.設備調試合格后，由設備管理部門組織相關部門進行驗收，驗收合格后填寫設備安裝調試驗收報告。五、設備檔案管理（一）檔案建立1.設備管理部門負責為每臺設備建立獨立的檔案，檔案內容包括設備基本信息、技術資料、運行記錄、維修保養記錄、故障記錄等。2.設備基本信息包括設備名稱、型號、規格、生產廠家、購置日期、購置價格等。3.技術資料包括設備說明書、操作手冊、電路圖、裝配圖、易損件清單等。4.運行記錄包括設備每日運行時間、產量、能耗等數據。5.維修保養記錄包括維修保養日期、維修保養內容、維修保養人員等信息。6.故障記錄包括故障發生日期、故障現象、故障原因、維修措施等內容。（二）檔案更新1.設備管理部門應及時更新設備檔案，確保檔案內容的準確性和完整性。2.設備發生變更（如改造、升級、報廢等）時，應及時在檔案中記錄相關信息。3.定期對設備檔案進行整理和歸檔，便于查閱和管理。（三）檔案查閱1.設備管理部門負責設備檔案的查閱管理，其他部門和人員因工作需要查閱設備檔案時，應填寫設備檔案查閱申請表，經設備管理部門負責人批準后，方可查閱。2.查閱人員應愛護設備檔案，不得在檔案上涂改、標記、損壞，查閱完畢后應及時歸還。六、設備操作與維護（一）操作規程制定1.設備管理部門根據設備的特點和使用要求，制定設備操作規程，明確設備的操作步驟、操作要點、安全注意事項等內容。2.操作規程應經設備管理部門負責人審核，主管領導批準后發布實施。3.設備操作規程應發放到設備操作人員手中，操作人員應嚴格按照操作規程進行操作。（二）操作培訓1.設備管理部門負責組織設備操作人員的培訓工作，確保操作人員熟悉設備的性能、結構、操作規程等內容。2.新設備投入使用前，應進行專門的操作培訓，培訓合格后方可上崗操作。3.定期對設備操作人員進行復訓，提高操作人員的操作技能和安全意識。（三）日常維護1.設備操作人員負責設備的日常維護工作，包括設備的清潔、潤滑、緊固、檢查等。2.每日開機前，操作人員應檢查設備的運行狀況，確認設備正常后方可開機運行。3.設備運行過程中，操作人員應密切關注設備的運行狀態，及時發現并處理設備故障和異常情況。4.每日停機后，操作人員應按照設備操作規程進行設備的關機操作，并做好設備的清潔和保養工作。（四）定期維護1.設備管理部門制定設備定期維護計劃，明確設備定期維護的內容、時間間隔、責任人等。2.定期維護工作由設備維修人員負責實施，操作人員應配合維修人員進行維護工作。3.定期維護工作完成后，維修人員應填寫設備定期維護記錄，記錄維護內容、維護結果等信息。（五）故障維修1.設備發生故障時，操作人員應立即停機，并及時報告設備管理部門。2.設備管理部門接到故障報告后，應及時組織維修人員進行故障診斷和維修。3.維修人員應根據故障現象和設備運行狀況，分析故障原因，制定維修方案，進行故障排除。4.故障維修完成后，維修人員應填寫設備故障維修記錄，記錄故障發生時間、故障現象、故障原因、維修措施、維修結果等信息。5.對于重大設備故障，設備管理部門應組織相關人員進行故障分析和總結，采取改進措施，防止類似故障再次發生。七、設備備件管理（一）備件計劃制定1.設備管理部門根據設備的運行狀況、維修歷史和備件消耗情況，制定設備備件計劃。2.備件計劃應包括備件名稱、規格、型號、數量、采購時間等信息。3.定期對備件計劃進行評估和調整，確保備件計劃的合理性和準確性。（二）備件采購1.采購部門根據設備管理部門制定的備件計劃，進行備件的采購工作。2.選擇合格的備件供應商，簽訂采購合同，確保備件的質量和交貨期。3.備件到貨后，采購部門應及時通知設備管理部門進行驗收，驗收合格后辦理入庫手續。（三）備件庫存管理1.設備管理部門負責備件的庫存管理，建立備件庫存臺賬，記錄備件的出入庫情況。2.定期對備件庫存進行盤點，確保備件賬實相符。3.合理控制備件庫存水平，避免備件積壓或缺貨。（四）備件領用1.設備維修人員因工作需要領用備件時，應填寫備件領用申請表，經設備管理部門負責人批準后，到備件倉庫領取備件。2.備件倉庫管理人員應按照申請表發放備件，并做好備件發放記錄。3.領用備件應遵循以舊換新的原則，舊備件應及時交回備件倉庫。八、設備報廢管理（一）報廢鑒定1.設備管理部門定期對設備進行檢查和評估，對于技術性能落后、損壞嚴重、維修成本過高且無修復價值的設備，提出報廢申請。2.組織相關部門和專業技術人員對報廢設備進行鑒定，確定設備是否符合報廢條件。（二）報廢審批1.報廢申請經設備管理部門負責人審核后，報主管領導批準。2.主管領導批準后，設備管理部門負責辦理設備報廢手續。（三）報廢處理1.設備報廢后，由設備管理部門組織相關人員對設備進行拆除和清理，拆除的可利用零部件交備件倉庫保管，其余部分按照公司相關規定進行處理。2.設備報廢處理完成后，設備管理部門應及時更新設備檔案，注銷報廢設備信息。九、設備事故管理（一）事故報告1.設備發生事故時，操作人員應立即停機，并及時報告設備管理部門。2.設備管理部門接到事故報告后，應立即組織人員趕赴事故現場，了解事故情況，采取必要的措施，防止事故擴大。3.事故發生后，設備管理部門應在規定時間內填寫設備事故報告，報告事故發生的時間、地點、設備名稱、事故經過、事故原因、損失情況等信息。（二）事故調查1.成立設備事故調查組，對事故進行調查分析，查明事故原因，確定事故責任。2.事故調查組應通過現場勘查、查閱資料、詢問當事