六西格瑪改進項目的測量系統分析(M階段)設計案例綜述 2 6作為DMAIC六西格瑪管理的第二個步驟，測量階段承上在定義階段的基礎上，圍繞項目指標Y,收集分類相關輸入因子x的數據，在輸因素，以便確定出對Y有影響的所有輸入因素變量x,并過濾掉那些不重要的因素。TFTArraySD(Source線，即S線)干蝕刻制程的基本流程工藝的基本過程性并識別可改進的機會，如圖1.6所示為形成的動線流程圖。SDSD成脫前清洗童業重SDSD成膜換軌基板投入基板搬出JJJJ燥J卻JJ1.2C/E矩陣分析根據流程圖，使用頭腦風暴法、魚骨圖和C/E矩陣深入分析與y目標相關的輸入因子，C/E矩陣將流程的每個步驟與客戶需求緊密聯系在一起，需要從主要原因開始向下展開次要原因，劃分需求的重要性級別以及流程的每個步驟與需求之間的相關程度。根據頭腦風暴提出問題并做出假設，然后設置分數比重以y3爬坡斷線的魚骨圖，如下圖1.7所示。單元水滴凝聚搬出CV機構磨損發塵清洗設備密封性不佳氣流紊亂水洗室流量/壓力不夠日可控難控不可控刮傷 洗凈mistGate膜下密著性不足UV單元異常 基板滯留可控難控不可控C&E矩陣分析方法包括分析所有過程輸入變量對輸出變量的影響程度，根據影響的重要性，輸入和輸出變量的權重按照1到10的重要程度進行打分，將表1.5C&EMetricsLi對客戶重要概權(1~10等級)155設備穩定性響易度耗影響估11234567水殘留PA殘留常AK單元Gap不均一氣流紊亂水洗室液刀角度不佳端部處理異常端部Bonding異常Rollercover氧化9333111393131911399311911139913939319333399933993111399313113113991199933931133333331193313099111199911333111193933913911333999909393331933131911393931133331199199333√√√對客戶重要概權(1~10等級)81744566設備穩定性響易度耗影響綜合評估Resist附著力FFU異常燒結物殘留O-ring磨損洗浄mist33391131119933313931199333139331933331393333331191399931131191399391193931911193109931333393939911330193391111099311393311911931139933919390993930119999391939111933133911333993313393193339√對客戶重要概權(1~10等級)81744566穩定性響改進難成本消環境綜合評易度耗影響估191基板滯留1SCR水殘3333131通過C/E矩陣找出重點x因子，即y1的HM-S水汽比例不佳、FRSW流量洗浄mist、A/K流量、PhotoRework、基板預處理與否4個變量。否合適，保證測量系統能夠正確的衡量y,來確定測量系統誤差的主要成分。相同的測量結果。再現性(Reproducibility)是在不同測量條件下測量時，考察人員的變異性，例如不同的操作員使用相同的儀器，由于y1、y2、y3中連續數值均由大型設備自帶儀表定期測量，無需進行分否具有相同標準、人員的判定一致性是否符合標準。S斷的判定涉及Array配線修正設備與MSL點燈裝置，所以主要針對上述兩個設備的MSA人員重復性和測量樣本：共25pcs,NG樣本11pcs,OK樣本14pcs測量人員：作業員6位測量設備：配線修正裝置測量方法：25pcs樣品隨機進行盲測，每人3次判定基準：整體有效性比率>90%a.操作者之間的一致性分析。在25次測量中，6位檢驗者完全一致的有24次，一致性比率為96%,下表1.6為Minitab軟件的分析結果。表1.6操作者之間一次性分析檢驗員之間百分比95%置信區間#相符數：所有檢驗員的評估一致。響應01ZP(與>0)00b.所有檢驗者與標準的整體對比。在25次測量中，有24次體一致性比率為96%,下表1.7為Minitab軟件的分析結果。百分比#相符數：所有檢驗員的評估與已知的標準一致。響應Kappa標準誤ZP(與>0)0010本次Array配線修正設備測量系統分析的判定標準為整體有效性比率大于等于90%,結合以上分析結果，可以得出檢查員之間及所有檢查員與標準之間的Kappa均大于90%,則一致性可以接受，判定為合格。(2)MSL點燈裝置測量樣本：共25pcs,NG樣本15pcs,OK樣本10pcs測量人員：作業員6位測量設備：MSL手動點燈機臺測量方法：25pcs樣品隨機進行盲測，每人3次a.操作者之間的一致性分析。在25次測量中，6位檢驗者完全一致的有21次，一致性比率為84%,下表1.8為Minitab軟件的分析結果。檢驗員之間#檢驗數#相符數百分比95%置信區間致。響應ZP(與>0)0010b.所有檢驗者與標準的整體對比。在25次測量中，有21次與標準一致，整體一致性比率為84%,下表1.9為Minitab軟件的分析結果。表1.9所有檢驗者與標準之間一次性分析#檢驗數#;相符數百分比95%置信區間#相符數：所有檢驗員的評估與已知的標準一致。響應