ICS35240

C50.

團體標準

T/SZCA2—2021

潔凈生產車間環境在線監測技術規程

Technicalspecificationforcleanroomenvironmenton-linemonitoring

2021-03-27發布2021-06-19實施

深圳市潔凈行業協會

聯合發布

深圳市計量質量檢測研究院

深圳市潔凈行業協會團體標準

潔凈生產車間環境在線監測技術規程

Technicalspecificationforcleanroomenvironmenton-linemonitoring

T/SZCA2—2021

主編單位深圳市中明科技股份有限公司

:

發布機構深圳市潔凈行業協會

:

深圳市計量質量檢測研究院

實施日期年月日

:20210619

中國標準出版社

2021年北京

深圳市潔凈行業協會

團體標準

潔凈生產車間環境在線監測技術規程

T/SZCA2—2021

*

中國標準出版社出版發行

北京市朝陽區和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區三里河北街號

16(100045)

網址

:

服務w熱w線

:400-168-0010

年月第一版

20213

*

書號

:155066·5-2990

版權專有侵權必究

關于聯合發布深圳市潔凈行業協會團體標準

《潔凈生產車間環境在線監測技術規程》的通知

深潔協〔〕號

202109

現批準由深圳市中明科技股份有限公司主編的潔凈生產車

《

間環境在線監測技術規程為深圳市潔凈行業協會團體標準編號

》,

為自年月日起實施

T/SZCA2—2021,20210619。

本規程在國家標準化管理委員會的全國團體標準信息平臺

深圳市標準信息平臺深圳

()、()、

市潔凈行業協會官方網站和深圳市計量質

()

量檢測研究院官方網站公

(/Web/index.aspx)

開由深圳市潔凈行業協會委托中國標準出版社出版發行

,。

深圳市潔凈行業協會

深圳市計量質量檢測研究院

年月日

20210327

前言

根據深圳市潔凈行業協會年月日關于潔凈生產車

202091《

間環境在線監測技術規程的批復的要求由深圳市中明科技股份

》,

有限公司主編并會同有關單位共同編制了本規程

,。

本規程整合了行業著名的科研機構知名的高校和領先的企

、

業等優勢資源參與規程的編制工作保證了規程的編制質量在

,。

編制過程中編委會進行了廣泛深入的調查研究認真總結實踐經

,,

驗吸收國內外相關標準和先進技術經驗并在廣泛征求意見的基

,,

礎上通過反復討論修改與完善形成了征求意見稿于年

,、,,2021

月公開上網征求意見于年月經審查專家委員會審查

1,20212

定稿

。

根據年月日科學技術部西南信息中心查新中心對

20200512

本規程出具的科技查新報告和年月日送審稿評審會議紀

202122

要給予本規程的評價本規程對打通潔凈室內質量全過程控制的

,

最后一公里填補行業空白具有很強的實用性規范潔凈生產

“”,,;

車間環境的監測與管理建造符合潔凈物品生產標準的空間環境

,,

實時掌握生產車間環境指標參數降低運行風險符合國家相關部

,,

門對潔凈生產車間環境監測總體原則也順應潔凈生產車間環境

,

在線監測市場總體需求

。

本規程的主要內容包括總則術語設計潔凈生產車間基本

:、、、

要求潔凈生產車間監測系統組成儀器設備及終端施工安裝基

、、、、

本要求系統調試竣工驗收維護與保養等

、、、。

本規程某些內容涉及知識產權的具體技術問題使用者可直

,

接與本規程有關知識產權的持有者協商處理本規程的發布機構

,

·Ⅰ·

不承擔識別這些專利的責任

。

本規程由深圳市潔凈行業協會深圳市計量質量檢測研究院

、

聯合發布并負責解釋執行過程中如有意見或建議請寄深圳市潔

,,

凈行業協會地址深圳市福田保稅區市花路號富林大廈座

(:21B

室郵編

411,:518000,E-mail:admin@)。

本規程主編單位參編單位審查專家單位主要審查人員主

、、、、

要起草人員如下排名不分先后

():

主編單位深圳市中明科技股份有限公司

:

參編單位中國電子系統工程第二建設有限公司

:

深圳市建筑設計研究總院有限公司

廣西安圣檢測技術有限公司

深圳市億天凈化技術有限公司

深圳市科斯萊環境科技實業有限公司

傲通環球環境控制深圳有限公司

()

東莞市華連凈化設備有限公司

深圳市億天源環境科技有限公司

略陽朗意醫療科技有限公司

審查專家單位上海海事大學靜電技術研究所

:

中國建筑科學研究院

中國科學院深圳先進技術研究院

中國醫學救援協會救援物資保障分會

同濟大學

世源科技工程有限公司

深圳市建筑設計研究總院有限公司

深圳市潔凈行業協會潔凈行業標準專業委員會

深圳市潔凈行業協會靜電防護技術專業委員會

深圳市潔凈行業協會智慧綠色節能技術專業委員會

深圳市潔凈行業協會潔凈工程技術專業委員會

深圳市潔凈行業協會潔凈設備與材料專業委員會

·Ⅱ·

廣西制冷學會凈化專業委員會

主要審查人員張利群孫可平沈晉明秦學禮肖紅梅

:

劉燕敏蔡杰劉俊杰陳霖新劉鐵東

林正剛馬俊杰王惠芳梁靜君賴心田

孫娟萍張鵬趙海濤胡小海石勇剛

主要起草人員韓玲玲劉建軍楊楊申華東夏群艷

:

劉曉清吳水田張聯盟楊旭代希林

魯建政王石傳梁敏兆唐智劉明生

郭非楊洋管毅梁靜升蔡懷宏

·Ⅲ·

目次

總則

1………(1)

術語

2………(2)

設計

3………(3)

一般規定

3.1………………(3)

布點原則

3.2………………(3)

潔凈生產車間基本要求

4…………………(5)

一般規定

4.1………………(5)

環境靜電監測及防護接地

4.2、………………(5)

潛在環境破壞因素及分析

4.3………………(5)

潔凈生產車間環境監測指標

4.4……………(6)

潔凈生產車間監測系統組成

5……………(7)

管理及監控系統

5.1………(7)

數據同步服務系統

5.2………(8)

數據處理系統

5.3…………(8)

數據采集及遠程控制系統

5.4………………(8)

通信系統

5.5………………(8)

系統擴展說明

5.6…………(8)

儀器設備及終端

6、………(9)

儀器設備監控終端組成

6.1、、………………(9)

網關及監控終端設備要求

6.2………………(10)

潔凈生產車間環境監控終端設備基本要求

6.3………………(10)

施工安裝基本要求

7………(11)

系統調試

8…………………(12)

竣工驗收

9…………………(13)

維護與保養

10……………(14)

監測數據備份規程

10.1……(14)

·Ⅴ·

在線監測設備定期保養及校準制度

10.2……(14)

健全維護保養記錄

10.3……(14)

本規程用詞說明

……………(15)

引用文件名錄

………………(16)

附錄潔凈等級劃分參考表

A……………(17)

附錄在線監測數理統計與分析表

B………(19)

·Ⅵ·

Contents

1General…………………(1)

2Terms……………………(2)

3Design……………………(3)

3.1Generalprovisions………(3)

3.2Stationingprinciple……(3)

4Basicrequirementsforcleanproductionworkshop…(5)

4.1Generalprovisions………(5)

4.2Environmentalelectrostaticmonitoringandprotection、electrical

grounding………(5)

4.3Potentialenvironmentfailurefactorandanalyzing………(5)

4.4Cleanproductionworkshopenvironmentmonitoringindex………

……………(6)

5Formationofcleanproductionworkshopenvironmentalmoni-

toringsystems………………(7)

5.1Supervisingandmonitoringsystems……(7)

5.2Datasyncservicesystems………………(8)

5.3Dataprocessingsystems………………(8)

5.4Dataacquisitionandremotecontrolsystems……………(8)

5.5Communicationsystems…………………(8)

5.6Instructionofsystemextension…………(8)

6Instrument、equipmentandterminal…(9)

6.1Instrument、equipmentandmonitoringterminalcomposed………

……………(9)

6.2Gatewayandmonitoringterminalrequirements…………(10)

6.3Cleanproductionworkshopenvironmentalmonitoringterminalbasic

requirements……………………(10)

7Basicrequirementsforconstructionandinstallation………

……………(11)

·Ⅶ·

8Systemdebugging………(12)

9Projectacceptance………(13)

10Operationandmaintenance…………(14)

10.1Monitoringdatabackupregulations……(14)

10.2On-linemonitoringequipmentperiodicmaintenanceandcalibration

regulations……………………(14)

10.3Perfectoperationandmaintenancerecords………………(14)

Explanationofwordinginthiscode………(15)

Listofquoteddocuments…………………(16)

AnnexAReferencetableforcleaninggrade……………