JJF（滬蘇浙皖）XXXX—XXXXJJF（蘇）XX-2010JJF(滬蘇浙皖)滬蘇浙皖地方計(jì)量技術(shù)規(guī)范JJF（滬蘇浙皖）40XX—2025在線激光測厚儀校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationforOnlineLaserThicknessGauge（報(bào)批稿）20XX-XX-XX發(fā)布20XX-XX-XX實(shí)施上海市市場監(jiān)督管理局江蘇省市場監(jiān)督管理局發(fā)布浙江省市場監(jiān)督管理局安徽省市場監(jiān)督管理局JJF（滬蘇浙皖）40××－2025在線激光測厚儀校準(zhǔn)規(guī)范在線激光測厚儀校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationforOnlineLaserThicknessGaugeJJF(JJF(滬蘇浙皖)40XX—2025歸口單位：上海市市場監(jiān)督管理局江蘇省市場監(jiān)督管理局浙江省市場監(jiān)督管理局安徽省市場監(jiān)督管理局主要起草單位：蚌埠市計(jì)量科學(xué)研究院安徽省計(jì)量科學(xué)研究院參與起草單位：蚌埠弗迪電池有限公司常州檢驗(yàn)檢測標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證研究院本規(guī)范委托安徽省幾何量計(jì)量技術(shù)委員會負(fù)責(zé)解釋JJF（滬蘇浙皖）40××－2025本規(guī)范主要起草人：楊陽（蚌埠市計(jì)量科學(xué)研究院）戚仁江（蚌埠市計(jì)量科學(xué)研究院）李濤（蚌埠弗迪電池有限公司）王美婷（安徽省計(jì)量科學(xué)研究院）曹磊（安徽省計(jì)量科學(xué)研究院）參加起草人：劉誠（蚌埠市計(jì)量科學(xué)研究院）王壘（蚌埠市計(jì)量科學(xué)研究院）何建新（常州檢驗(yàn)檢測標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證研究院）夏忻然（蚌埠市計(jì)量科學(xué)研究院）JJF（滬蘇浙皖）40××－2025PAGEII目錄引言…………..…………….(Ⅱ)1范圍…………………….（1）2引用文件………………（1）3概述……………………（1）4計(jì)量特性………………（2）4.1示值誤差……….……………….……（2）4.2重復(fù)性………….…………….………（2）5校準(zhǔn)條件………………（2）5.1環(huán)境條件………….…（2）5.2校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器及相應(yīng)設(shè)備……….…（2）6校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法…………….……（2）6.1示值誤差…….…………….…….……（2）6.2重復(fù)性………..………（3）7校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)…………………….……（3）8復(fù)校時(shí)間間隔…………（3）附錄A示值誤差校準(zhǔn)結(jié)果的測量不確定度評定示例………………..（4）附錄B校準(zhǔn)記錄參考格式……………….（7）附錄C校準(zhǔn)證書（內(nèi)頁）參考格式………（9）

引言JJF1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》和JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。本規(guī)范為首次發(fā)布。JJF（滬蘇浙皖）40××－2025PAGE10在線激光測厚儀校準(zhǔn)規(guī)范1范圍本規(guī)范適用于測量范圍（0～3）mm雙激光測微儀原理的在線激光測厚儀的校準(zhǔn)。2引用文件本規(guī)范引用了下列文件：JJF166－2017激光測微儀校準(zhǔn)規(guī)范JJF1965－2022錫膏厚度測量儀校準(zhǔn)規(guī)范凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本規(guī)范。3概述在線激光測厚儀是一種能實(shí)時(shí)顯示測量厚度及厚度變化的測量儀器。應(yīng)用于鋰電池極片涂布、輥壓工序厚度在線檢測應(yīng)用，同時(shí)也應(yīng)用于各類非透明膜材料涂覆的在線厚度測量。在線激光測厚儀基于激光三角測距原理，工作原理如圖1所示。激光測厚儀由上、下兩個(gè)對射的激光測微儀組成。激光測微儀1和激光測微儀2以固定距離裝夾，同時(shí)確保上、下兩個(gè)激光測微儀的測量軸線同軸。工作時(shí)激光測微儀1發(fā)射激光照射被測物的上表面，上表面光斑的反射光由激光測微儀1內(nèi)的光學(xué)陣列接收裝置接收，通過對光斑的位置分析和計(jì)算，可以得到激光測微儀1到被測物上表面的距離B2；同理可以得到激光測微儀2到被測物下表面的距離B1。用兩個(gè)激光測微儀之間的距離A減去兩個(gè)激光測微儀到被測物上下表面的距離B1、B2即可得到被測物的厚度H。1—激光測微儀1；2—激光測微儀2；3—被測物圖1在線激光測厚儀的工作原理圖4計(jì)量特性4.1示值誤差4.2重復(fù)性5校準(zhǔn)條件5.1環(huán)境條件校準(zhǔn)時(shí)，環(huán)境溫度為（20±2）℃，相對濕度不超過75%，校準(zhǔn)環(huán)境應(yīng)無影響測量結(jié)果的灰塵和振動，無強(qiáng)電磁干擾。5.2校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器及相應(yīng)設(shè)備校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器見表1表1校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器及其計(jì)量特性序號校準(zhǔn)項(xiàng)目校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器及其計(jì)量特性1重復(fù)性標(biāo)準(zhǔn)厚度塊U=0.2μm，k=2。2示值誤差注：允許采用滿足測量不確定度要求的其它測量標(biāo)準(zhǔn)器。6校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法校準(zhǔn)前，需確保儀器處于正常的工作狀態(tài)及沒有影響校準(zhǔn)計(jì)量性能的因素后方可進(jìn)行校準(zhǔn)。標(biāo)準(zhǔn)器和被校準(zhǔn)儀器的等溫時(shí)間應(yīng)符合儀器說明書的要求(無要求時(shí)等溫時(shí)間應(yīng)不少于30min)，按說明書要求進(jìn)行自校后再進(jìn)行校準(zhǔn)。6.1示值誤差在激光測厚儀移動范圍選擇不少于5個(gè)均勻分布的測量位置。每個(gè)位置在被校儀器有效測量范圍內(nèi)選擇不少于5個(gè)均勻分布的校準(zhǔn)點(diǎn)。選取相應(yīng)厚度塊固定在專用夾具上，對每個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度塊在中心測量區(qū)域內(nèi)重復(fù)測量10次并記錄儀器示值。計(jì)算平均值h作為每個(gè)校準(zhǔn)點(diǎn)的測量結(jié)果，根據(jù)公式（1）計(jì)算儀器示值誤差：δ=h-H式中：δ—儀器的示值誤差，μm；h—儀器示值平均值，μm；H—標(biāo)準(zhǔn)厚度塊的實(shí)際值，μm。6.2重復(fù)性根據(jù)6.1的數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算，按公式（2）計(jì)算實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差s，作為厚度測量的重復(fù)性。（2）式中：—第i次的儀器示值，μm；—10次測量的儀器示值的算術(shù)平均值，μm；7校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)經(jīng)校準(zhǔn)的測厚儀出具校準(zhǔn)證書。校準(zhǔn)證書應(yīng)符合JJF1071－2010中5.12的要求。8復(fù)校時(shí)間間隔由于復(fù)校時(shí)間間隔的長短是由測厚儀的使用狀況、使用者、設(shè)備本身質(zhì)量等諸因素所決定的，因此，送校單位可根據(jù)儀器實(shí)際使用情況自主決定復(fù)校時(shí)間間隔。建議不超過1年。附錄A示值誤差校準(zhǔn)結(jié)果的測量不確定度評定示例A.1測量方法在線激光測厚儀的示值誤差使用標(biāo)準(zhǔn)厚度塊進(jìn)行校準(zhǔn)，根據(jù)實(shí)際測量應(yīng)用范圍和條件的不同，設(shè)定好相關(guān)的測量程序，按6.1的方法進(jìn)行校準(zhǔn)。本次評定以分辨力0.01μm的在線激光測厚儀測量200μm的標(biāo)準(zhǔn)厚度塊為例。A.2測量模型(A.1)式中：—儀器的示值誤差，μm；—儀器示值平均值，μm；H—標(biāo)準(zhǔn)厚度塊的實(shí)際值，μm。A.3合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度計(jì)算公式由式A.1，得靈敏系數(shù)靈敏系數(shù)、分別表示和引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度，因和互不相關(guān)，則合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度：(A.2)A.4標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量A.4.1儀器示值引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量A.4.1.1測量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u測厚儀的測量重復(fù)性引入的不確定度分量可以通過10次重復(fù)連續(xù)測量得到，測量結(jié)果為199.97μm、199.97μm、199.97μm、199.97μm、199.97μm、199.96μm、199.97μm、199.97μm、199.95μm、199.97μm，計(jì)算單次測量實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差為：(A.3)實(shí)際校準(zhǔn)時(shí)，測量次數(shù)為10次，則：=0.0021μmA.4.1.2在線激光測厚儀分辨力引入的不確定度分量u在線激光測厚儀分辨力為0.01μm,設(shè)為均勻分布，則由測厚儀分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度：=0.003μm則由在線激光測厚儀引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量：=0.0037μmA.4.2環(huán)境溫度偏離20℃引入的不確定度分量校準(zhǔn)時(shí)，環(huán)境溫度可控制在（20±2）℃，溫度區(qū)間半寬2℃，設(shè)為均勻分布，即k=3，裝夾激光測厚儀的C型架通常使用大理石制作，大理石的熱膨脹系數(shù)為6×10-6℃-1，該設(shè)備上下激光測微儀的固定距離L為30mm。u2=L·a·Δt=30000×6×10-6×2/A.4.3標(biāo)準(zhǔn)厚度塊受溫度偏差引入的測量不確定度u3鋼制標(biāo)準(zhǔn)厚度塊的熱膨脹系數(shù)為11.5×10-6℃-1，標(biāo)準(zhǔn)厚度塊中心長度為200μm。u3=L·a·Δt=200×11.5×10-6×2/3=0.0027μmA.4.4標(biāo)準(zhǔn)厚度塊中心長度引入的不確定度分量u標(biāo)準(zhǔn)厚度塊中心長度引入的不確定度主要來源于標(biāo)準(zhǔn)厚度塊的厚度校準(zhǔn)結(jié)果不確定度，依據(jù)校準(zhǔn)證書U=0.2μm，k=2。uA.5標(biāo)準(zhǔn)不確定度一覽表表A.1標(biāo)準(zhǔn)不確定度一覽表標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量標(biāo)準(zhǔn)不確定度/μmu0.0037u0.208u0.0027u0.1A.6合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度uc=uA.7擴(kuò)展不確定度取包含因子k=2，則擴(kuò)展不確定度為：U=k×uc=2×0.231μm=0.5μm附錄B校準(zhǔn)記錄參考格式委托方名稱委托方地址儀器名稱制造廠型號規(guī)格儀器編號環(huán)境溫度℃相對濕度%RH校準(zhǔn)依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)器示值誤差與示值重復(fù)性校準(zhǔn)位置標(biāo)準(zhǔn)值/μm儀器示值/μm平均值/μm示值誤差/μm重復(fù)性/μm123

45示值誤差校準(zhǔn)結(jié)果的擴(kuò)展不確定度（k=2）備注校準(zhǔn)員核驗(yàn)員校準(zhǔn)日期證書編號附錄C校準(zhǔn)證書（內(nèi)頁）參考格式示值誤差校準(zhǔn)結(jié)果：位置標(biāo)準(zhǔn)值/μm平均值/μm示值誤差/μm重復(fù)性/μmU/μm，（k=2）.JJF（滬蘇浙皖）40JJF（滬蘇浙皖）40XX—2025 滬蘇浙皖地方校準(zhǔn)規(guī)