Planartechnologief-平面工藝Pneumatikf.空氣力學。氣體力學。Hydraulikf.unz.水力學;液壓系統Schaltplanm.接線圖,電路圖Kondensatorm...oren冷凝器；[電]電容器Induktivit?tf-unz.感應率,介電常數Ohmschadj-.歐姆的Bipolartransistor-m雙極晶體管Kennlinienf-特性曲線characteristiccurvesAnschlussbereichm/n接線范圍Gattern-(場效應晶體管的)門,門電路Speicherm..倉庫;貨棧;存儲;內存.Leuchtdiodenf.發光二極管Laserdiodef.-n激光二極管。bruttoadv.毛重（包括包裝）Halbleiterm半導體einheradv.進來。(前綴)沿著。Skalierungf.刻度。尺度Sukzessiveadv逐漸地,漸漸地Versorgungsspannung電源電壓Parameterm.①[數]參數②[物]參變量Verz?gerungf.-en延遲減速度。Verlustleistungf.功率損耗,功耗Leistungsdichtef.功率密度Reibungf.-en摩擦;摩擦力Diffusionf.-en擴散。漫射。滲濾。滲出。Diffusionskonstantef擴散常數Oberfl?chenspannungf表面張力,表面應力Thermischadj.熱的,由熱造成的Piezoelektrizit?tf.壓電(現象)Ma?en.大小。Drehimpulsm.-e角動量。動量矩。Magnetischadj.1.有磁性的2.有吸引力的Entwerferm.-設計人,制圖者Quarz-Oszillatorm.石英-振蕩器Querschnittsfl?chef橫斷面積Fermi-niveaun.費米能級。Bandabstandm.帶隙。帶間隙。頻帶隙Leitwertm.電導;電納;導納Steilheitf①陡度,斜度②[電]互導,跨導Drainm.-s[電]漏極；引流管；排水管S?ttigungsstromdichtef.飽和電流密度Kollektorm...oren[電]集電極集電器,集流器Emitterm..-[物]發射極②[無]發射體,發射層Kanalm.-eMOS溝道；溝道,海峽Bezugstemperaturf.起始,標準,基準溫度Durchbruchspannungf擊穿電壓Driftgeschwindigkeitf.漂移速度。Schwellspannungf臨界電壓，閾電壓Raumladungszonef.空間電荷區，空間電荷層2011.05.03Einkristalln.單晶體。Vakuumn...kua/...kün[物]真空;unz.真空地帶,空白ein?tzenvt浸蝕,蝕刻s?genvt鋸,鋸開Vorschubm..-e[技](向前)送刀,走刀,進刀Diamantm.-en,-en金剛石,金剛鉆Diamantbelagm.金剛石切刀L?ppenvt研磨,磨光Aufteilungf-en分,分配,分成；分割schleifen磨光,打磨,把...打磨成Eckeverrundungf邊角打圓2011.05.05Ebenheitf.unz.平整度Gettern.吸氣劑,收氣劑;除氣劑Epitaxief.-n外延工藝Politurf.-en拋光;拋光劑Pr?zipitatn.-e沉淀物Verwerfungf.撓度;彎曲;扭曲;撓曲Keiligkeitf錐度;斜度Oxidationf.氧化。Zufuhrf.unz.供給,供應,補給,輸送Siliziumn.unz.硅Teilchen.-粒子,質點,微粒absoluteTemperaturf.絕對溫度Diffusionf.-en擴散;漫射;滲濾;滲出Plausibilisierungf可信度測試abtastenvt①摸,觸;試探,探索②探測,掃描Minorit?tf.-en少數載流子Thermodynamikf.熱力學Polungf.截然相反;極化;Eigenleitungf本征導電,固有導電Serienwiderstandm串聯電阻Rekombinationf–en重新結合,復合Auslenkungf.-en偏差,偏轉;偏向Lithographieprozessf.-n光刻工藝Potolackm.–e光刻膠ausheizen烘干Haftvermittlerm.增附劑.Maskef.-n模板Justagef.調節;校正;調整;Begutachtungf.-en鑒定,評定,檢查Frontansichtf.正視圖，前視圖Quecksilbern.汞;水銀Ausrichtungf.對齊。調整ausrichtenMassstabm比例尺;尺寸;尺度Linsef.–n透鏡;晶狀體Abbildungslinsef.聚焦透鏡Thermischadj.熱的,由熱造成的Kathodenzerst?ubungf陰極濺射Gasphasenabscheidungf.-en氣相沉積Quarzrohrn石英管Sputternn.濺射;濺鍍;噴涂;Ionn.-en[化,物]離子Sekund?relektronenPl.二次電子Atmosph?rendruckm大氣壓,表壓Horizontalofenm臥式爐Selektivit?tf.unz.選擇性Isotropief.各向同性Kristallanisotropief晶體各向異性Senkrechtef.垂直Anisotropief.unz.各向異性Linienbreitef線條寬Wellenl?ngef.pl.Wellenlaengen波長;軸長Aperturf.–en孔,孔徑,口徑Topologief.unz.[數]拓撲學Dotierungf-en摻雜Ionisiertadj.離子化了的；電離了的Wannef.-n;N-Wannen井2011.05.16Aufschleudernn.甩膠；離心Projektionf.-en投影,投射Projektionsbelichtung投影曝光Unebenheitenf.不平坦;不均;Halteringm.止動環，固定環Abtragm.unz.補償量Donatorm.施主Akzeptorm...oren受主Vorbelegungf.初始化überzugm..-e涂層，覆蓋層Ionenimplantationf.離子注射Nitridn.–e氮化物Ammoniakm/nunz.氨Diodef.-n二極管Zenerdiodef.-,-n齊納管Wedgem.楔子;楔形物kompaktadj.緊密的,堅實的,堅固的Partikelf.–n微粒,微小`分;粒子Rückstandm.剩余物;殘渣;廢料;下腳料;余料;Temperaturprofiln溫度曲線berührungslosadj.沒有接觸的;近的compressvt.壓縮compressivVaristorm...oren壓敏電阻;可調電阻,可變電阻Genauigkeitf.-,-en準確性;精確懷;精密度Laugef.-n堿Durchbiegungf.彎曲;撓曲;撓度S?urenn酸洗Compressibilityf.可壓縮性;壓縮率;Protonn...onen[原]質子Photonn.光子。=Foton[das]-en[物]光子Absorptionf.-en吸收;吸附2011.05.25gravierendadj.雕刻的adv嚴肅地;極端地resistvi.涂層;保護性涂料;光刻膠涂層Haftvermittelerm增附劑Harzn.–e樹脂;松香,松脂polymeradj.聚合的@Polymern.-e聚合物,聚合體,多聚物Isoprenn.unz.異戊二烯Carboxylgruppef.羧基-COOHNatriumn.鈉Hydrogenn.unz.氫Tetramethyln.unz.四甲基（(CH3)4）tetra-四Autokatalytischenadj自動催化Katalytischadj.adv.接觸反應的;加速的;催化的Hydrophiln/m親水;吸水Amine胺類Hydrophobadj.恐水的;不容解于水的,憎水的Ansaugungf吸氣;進氣;吸入;吸收;吸取;抽吸Zentrifugalkraftf.離心力Viskosit?tf.粘性;黏度Z?higkeitf.unz.=Z?heit韌性;剛性Chromn.unz.鉻überbelichtungf.曝光過度Leiterbahnen印制導線Fokussierungf.pl.Fokussierungen調焦;對焦Kurzschlussm.短路isotropadj.等方性的;各向同性的,均質的UV-Lichtn.紫外光Interferenzeffektm干涉效應Interferenzf.-en干涉,干擾Welligkeitf.波;波紋Kontrastm.–e襯度,對比度;反差Spinm.自轉;自旋;旋轉Uniformit?tf.-en統一;一致;劃一Lackdickenuniformit?t光刻膠厚度一致性Aufl?sungsverm?genn.溶解能力;分辨率;清晰度Beugungf.–en繞射,衍射FokalEbenef.-en聚焦平面Gangunterschied光程差（干涉現象）Stehwellef駐波Kondensorm.冷凝器;聚光器;聚光透鏡;電容器。verkratzt刮痕Schattenbildn.陰影圖像Folief.-n箔;壓箔Farbfehlerm.色差Ausdehnungenf.擴充;擴張;膨脹Zeilenweiseadv按行(計算)的Filamentn.–e燈絲Objektivlinsef.物鏡Berylliumn.unz.鈹Sensibilisatorm....oren敏化劑,感光劑;致敏物質Verdünnerm稀釋劑Feststoffgehalt固體含量;2011.0526Metallionen金屬離子Entwicklerm.–n顯影劑;顯色劑Natronn.unz.碳酸氫鈉NaHCO3Acetonn.丙酮Gasentladungf.氣體放電Intensit?tf.unz.強度Maskef.–n光刻板Impedanzf.-en阻抗Projektbelichtungf.步進曝光光刻Phenolharze酚醛樹脂Transparenzf.unz.透明性;透明度;透射Ausdehnungf.-en范圍,大小;維;膨脹Chemikalief.化學物質;化學試劑Blaséf.–n泡,水泡,氣泡Waagerechtadj.adv.臥式的;水平的@horizontal,Trommelf.–n轉筒,筒狀容器,圓筒;卷筒,線軸Phosphors?uref.磷酸Salpeters?urem.硝酸Ammoniakwassern.氨水Wasserstoffperoxidn.過氧化氫Hydrogenperoxiden.過氧化氫H2O2laminaradj.片狀的,層狀的Verwirbelungf.渦流;漩渦;回旋;旋風Luftverwirbelungf空氣漩渦Kohlenwasserstoffm.-e烴;碳氫化合物hydrocarbonresultierenvi.由......而產生（或引