硅單晶及其硅片單位產品能源消耗限額硅單晶及其硅片單位產品能源消耗限額本標準4.2和4.3是強制性的，其余為推薦性的。本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。本標準代替DB31/792—2014《硅單晶及其硅片單位產品能源消耗限額》,與DB31/792—2014相——修改了英文名稱；——修改了適用范圍，取消了太陽能級硅單晶及其硅片的要求(見第1章和2014年版的第1章);——調整了規范性引用文件，刪除了GB/T3484,增加了GB/T1GB/T14139(見第2章和2014年版的第2章);——修改了第3章，調整了術語和定義，增加了硅單晶、研磨片、拋光片、外延片等產品定義(見第3章和2014年版的第3章);——修改了第4章，刪除了太陽能級硅產品的能耗要求，細分了產品，重新規定了硅單晶及硅片單并對計算方法做了修改、精簡；——修改第6章為“節能降耗導向”(見第6章和2014年版的第6章);——增加了附錄A。本標準由上海市發展和改革委員會、上海市經濟和信息化委員會共同提出，由上海市經濟和信息化委員會組織實施。本標準由上海市能源標準化技術委員會歸口。本標準起草單位：上海有色金屬行業協會、上海市有色金屬標準化技術委員會、上海合晶硅材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司、上海新傲科技股本標準所代替標準的歷次版本發布情況為：——DB31/792—2014。工本標準4.2和4.3是強制性的，其余為推薦性的。本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。本標準代替DB31/792—2014《硅單晶及其硅片單位產品能源消耗限額》,與DB31/792—2014相——修改了英文名稱；——修改了適用范圍，取消了太陽能級硅單晶及其硅片的要求(見第1章和2014年版的第1章);——調整了規范性引用文件，刪除了GB/T3484,增加了GB/T1GB/T14139(見第2章和2014年版的第2章);——修改了第3章，調整了術語和定義，增加了硅單晶、研磨片、拋光片、外延片等產品定義(見第3章和2014年版的第3章);——修改了第4章，刪除了太陽能級硅產品的能耗要求，細分了產品，重新規定了硅單晶及硅片單并對計算方法做了修改、精簡；——修改第6章為“節能降耗導向”(見第6章和2014年版的第6章);——增加了附錄A。本標準由上海市發展和改革委員會、上海市經濟和信息化委員會共同提出，由上海市經濟和信息化委員會組織實施。本標準由上海市能源標準化技術委員會歸口。本標準起草單位：上海有色金屬行業協會、上海市有色金屬標準化技術委員會、上海合晶硅材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司、上海新傲科技股本標準所代替標準的歷次版本發布情況為：——DB31/792—2014。工1硅單晶及其硅片單位產品能源消耗限額下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引綜合能耗計算通則硅單晶硅單晶拋光片硅單晶切割片和研磨片硅外延片GB17167用能單位能源計量器具配備和管理通則硅單晶外延片monocrystal在硅單晶拋光片上生長一層或多層硅單晶薄膜(外延層)后制成硅單晶外延片，是制作半導體器件2和集成電路的重要基礎材料。4技術要求硅單晶、硅單晶研磨片、硅單晶拋光片、硅單晶外延片生產企業或新建項目的產品單位產品能耗限額應分別符合表1、表2、表3的要求。其生產工序流程分別如下：——硅單晶生產工序：從原料(多晶硅)放入石英坩堝內熔化開始到產出合格硅單晶(棒)止的生產——硅單晶研磨片生產工序：從硅單晶棒切割開始到產出合格研磨片為止的生產過程，包括切片、——硅單晶拋光片生產工序：從硅單晶棒切割開始到產出合格拋光片并進入成品庫為止的生產過——硅單晶外延片生產工序：從硅單晶片放入外延爐長晶開始到產出合格外延片并進人成品庫為4.2現有生產企業單位產品能源消耗限定值現有生產企業單位產品綜合能源消耗限定值應符合表1的要求。表1單位產品能源消耗限定值硅單晶硅單晶研磨片1硅單晶拋光片2-硅單晶外延片3一4.3新建生產企業(項目)單位產品能源消耗準入值新建生產企業(項目)單位產品能源消耗準入值應符合表2的要求。3表2單位產品能源消耗準入值硅單晶一一硅單晶研磨片1一硅單晶拋光片2一硅單晶外延片3一4.4生產企業單位產品能源消耗先進值企業單位產品能源消耗先進值應符合表3的要求。表3單位產品能源消耗準入值硅單晶一-硅單晶研磨片直徑150mn1一硅單晶拋光片2-硅單晶外延片35統計范圍及計算方法5.1統計范圍5.1.1企業的生產系統、輔助生產系統和附屬生產系統實際消耗的各種能源，應全部計入產品能源消耗，不得重計、漏計(基建項目用能除外)。統計報告期為一個自然年。5.1.2各類產品生產工序能耗統計范圍：硅單晶生產工序、硅單晶研磨片生產工序、硅單晶拋光片生產工序、硅單晶外延片生產工序。5.1.3作為輔助材料使用的耗能工質不計人產品能耗，如用來生長化合物晶體的氮氣、氧氣、氫氣、氬5.1.4對確屬無法分開計量的共用能耗，應按GB/T2589的規定按產量與能耗量的比例進行分攤計算。45.1.5能源的計量應符合GB17167的要求；常用能源品種折算標準煤系數參見附錄A。5.2計算方法5.2.1產品綜合能耗產品綜合能耗等于生產該產品所消耗的各能源實物量與該能源折標準煤系數的乘積之和，按式(1)計算：式中：E,——產品綜合能耗，單位為千克標準煤(kgce);n——企業消耗的能源種類；M:——生產活動中消耗的第i種能源實物量，單位為千克(kg)、千瓦時(kW·h)、立方米每噸P?——第i種能源的折標準煤系數。5.2.2硅單晶綜合能源單耗硅單晶產品單位產量綜合能耗按式(2)計算：式中：e——硅單晶產品單位產量綜合能耗，單位為千克標準煤每噸(kgce/t);E——硅單晶產品綜合能耗，單位為千克標準煤每噸(kgce/t);P——合格硅單晶產品產量，單位為噸(t5.2.3可比硅片產量可比硅片產量按式(3)計算：Pi=∑G,·K,……式中：Pb——合格的i硅片產品總量的可比產量，單位為千片(k);K,--硅片表面積折算系數(見表4),n取K?,K?,K?,K?;表4硅片表面積折算系數折算系數K。注：不同直徑硅片均按表面積折算，以直徑150mm的硅片為基數1.0。5