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文檔簡介
集成電路測試簡介集成電路測試在產業鏈中的地位2集成電路整體產業鏈
集成電路整體產業鏈首先從設計開始,然后是集成電路晶圓制造;制造完成的晶圓要經過集成電路晶圓測試環節后才能進行封裝;封裝完成的電路需要再次經過測試,并判斷合格后才能進入終端客戶應用市場??梢钥吹皆谡麄€集成電路產業鏈中有集成電路晶圓測試、集成電路成品測試兩個測試環節,它們在整個產業鏈中起著非常重要的作用。測試原理3集成電路測試原理集成電路測試原理如圖,圖中,待測電路DUT(DeviceUnderTest)可以是集成電路晶圓,也可以是封裝完成的集成電路成品電路;針對每一種DUT都要制定相應的測試規范,從而形成一組測試輸入,測試輸入也稱為測試碼或者測試生成(TestGeneration);測試系統根據測試輸入生成輸入定時波形,并施加到待測電路的輸入引腳上,然后從待測電路的輸出引腳上采樣得到相應的輸出波形,形成一組測試輸出(或者稱為測試響應),并分析該測試響應是否完整、正確地顯示了待測電路的實際輸出。測試輸入(測試碼)待測電路(DUT)測試輸出(測試響應)測試系統測試原理4集成電路測試主要考慮DUT的技術規范,如電路最高時鐘頻率、指標精度、輸入/輸出引腳的數目等。另外,還要考慮測試費用、電路可靠性、測試服務能力、軟件編程難易程度等。測試原理測試輸入(測試碼)待測電路(DUT)測試輸出(測試響應)測試系統集成電路測試原理圖中的測試系統大致包括以下幾部分:(1)測試儀:主要用來給待測電路施加輸入,并采樣輸出。(2)測試界面:主要根據DUT的封裝形式、最高時鐘頻率及測試儀的資源配置和界面板卡形式等合理地選擇測試插座,并設計制作測試負載板。(3)測試程序:主要包括控制測試儀的指令序列,其中需要考慮待測電路的類型、物理特征、工藝、功能參數、環境特性、可靠性等。測試目的集成電路測試的目的,是保證芯片在惡劣環境下,能夠完全實現設計規格書所規定的功能及性能指標。集成電路測試通常是由一系列測試項目組成的,從各個方面對芯片進行充分測試。每一個測試項目都會產生一系列的測試數據,不僅可以判斷芯片性能是否符合標準、是否可以進入市場,而且還能從測試結果的詳細數據中,充分、定量的反映出每個芯片從結構、功能到電氣特性的各種指標。集成電路測試的分類根據在產業鏈中所處的位置,集成電路測試分為集成電路晶圓測試和集成電路成品測試兩大類。本書主要介紹集成電路晶圓測試技術。根據目的和應用,集成電路測試分為抽樣測試、可靠性測試和產品定型測試等。根據測試的側重內容,集成電路測試分為功能測試、性能參數測試等。根據待測電路的類型,集成電路測試分為數字集成電路測試、模擬集成電路測試、混合信號集成電路測試以及超大規模片上系統電路(SOC)測試等。集成電路測試的應用集成電路測試是驗證設計、控制工藝、管理生產、保證質量、分析失效以及指導應用等的重要手段;集成電路測試應用在集成電路開發、生產和使用的全過程。1.晶圓測試根據晶圓測試結果,集成電路設計人員可以進行設計評估;集成電路工藝人員可以進行工藝的調整;集成電路生產運行管理人員可以制訂生產計劃等等。集成電路測試的應用92.成品測試根據成品測試結果可以挑選出合格的產品;也可以根據實際測試得到的性能參數指標對產品進行分級并統計各級電路數量。一般質量管理人員監控產品的質量;生產運行管理人員控制產品的生產計劃。3.其他階段集成電路測試除了以上兩大類集成電路測試類型及相關應用外,在集成電路開發和生產過程中還會進行以下幾種類型的測試,它們同樣很重要。集成電路測試的應用(1)抽檢測試。為了確保集成電路產品的質量,通常會對準備入庫的合格電路進行抽檢,以檢驗其是否確實達到了規定的質量要求。另外,在向客戶提供批量產品前,也會根據需要進行抽檢。集成電路測試的應用(2)可靠性測試??煽啃允侵讣呻娐烽L期使用的可靠度指標,是電路在規定時間和額定條件下工作時出現故障的概率。為評估電路的可靠性,需要進行可靠性測試。通常是在高電壓、大功率等外加應力情況下,測試電路的電性能參數,進而評估這些參數的變化量。集成電路測試的應用(3)產品定型測試。在集成電路產品設計定型、生產定型時,為全面鑒定產品的電性能所做的測試即為產品定型測試。這種測試有別于其他測試類型,主要表現在除了要測試規定環境和額定工
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