低壓和超低壓反滲透膜在半導(dǎo)體工業(yè)水處理中的應(yīng)用

摘要：本文介紹了ESPA超低壓膜主要特點(diǎn)。同時(shí)還列舉了超低壓ESPA膜和低壓CPA2或NTR-759膜與醋酸纖維CA膜在操作壓力、透過水量、脫鹽率方面的比較，研究了各種方法和各種反滲透膜對(duì)TOC和細(xì)菌內(nèi)毒素的去除效果比較，并成功的應(yīng)用在空間材料制備用水、高純化學(xué)試劑生產(chǎn)用水、機(jī)車電瓶用水及建材制板用水上，取得了很好的效果

關(guān)鍵字：低壓或超低壓反滲透復(fù)合膜TOC細(xì)菌內(nèi)毒素兆位電路前言半導(dǎo)體材料和器件的制備，需要高質(zhì)量的高純水，要求低TOC(＜5ppb)、低細(xì)菌內(nèi)毒素(＜0.03EU/ml)，目前電子行業(yè)已廣泛采用反滲透技術(shù)，下面就如何選用更合理的反滲透膜，簡述于下：眾所周知，反滲透（RO）是一種在壓力驅(qū)動(dòng)下，借助于半透膜的選擇截流作用將溶液中的溶質(zhì)與溶劑分開，無論低壓復(fù)合膜[1-2]或超低壓復(fù)合膜[3-5]，都是以水的透過速率大小、脫鹽率高低來衡量膜的好壞，而水的透過速率即水通量的大小與驅(qū)動(dòng)壓力成正比，如能達(dá)到一定的水通量時(shí)，所需的驅(qū)動(dòng)壓力越低，則不僅降低能耗，同時(shí)也降低泵、壓力容器及管材等設(shè)備投資。本文介紹了ESPA超低壓膜主要特點(diǎn)。同時(shí)還列舉了超低壓ESPA膜和低壓CPA2或NTR-759膜與醋酸纖維CA膜在操作壓力、透過水量、脫鹽率方面的比較，研究了各種方法和各種反滲透膜對(duì)TOC和細(xì)菌內(nèi)毒素的去除效果比較，并成功的應(yīng)用在空間材料制備用水、高純化學(xué)試劑生產(chǎn)用水、機(jī)車電瓶用水及建材制板用水上，取得了很好的效果。一、TOC、細(xì)菌、細(xì)菌內(nèi)毒素、顆粒對(duì)大規(guī)模集成電路的影響隨著電子工業(yè)的發(fā)展對(duì)高純水提出了越來越高的要求。例如[6]，制作16K位DRAM允許水中TOC（總有機(jī)碳）為500ppb、金屬離子為1ppb、≥0.2μm的顆粒為100個(gè)/毫升；而制作16M位DRAM時(shí)，則要求TOC＜5ppb、金屬離子＜0.2ppb、水中≥0.1μm顆粒數(shù)為0.6個(gè)/升。撇毀壺1拖.址1剪留T籮O搏C氏，裕細(xì)徑菌宏及萬細(xì)晌菌遺內(nèi)眉毒秤素漫對(duì)漸大極規(guī)具模孩集必成職電扒路慌的私影怎響英。衣告論1研.中2候D傳R參A瘦M剛對(duì)乳顆焰粒沉和迷T潑O晚C辭的村要醬求逝夫懸天熟然死水皆、壇自完來仇水備等桿各須種開水有源毛中內(nèi)都那存助在接著奶熱保原現(xiàn)。痕目萬前海比湊較撐一惡致煙的星認(rèn)謊識(shí)籮是祥熱零原攝是摸指刑多荒糖劇類慎物枕質(zhì)續(xù)[糾7鼠]林，申也藝就揭是蒙細(xì)肉菌恨內(nèi)吹毒脖素嘗。化細(xì)妹菌歇內(nèi)猾毒視素毯是侍革屋蘭鳳氏優(yōu)陰療性珠菌核的分細(xì)灘胞源壁興外痕壁秋層怕上桐的恨特添有鈴結(jié)糞構(gòu)左—室—揀脂壓多輛糖槳，少所適以財(cái)，蔑哪禍里慣有勁細(xì)江菌后，攏哪蠟里局就蓄有竿細(xì)血菌年內(nèi)蠶毒禾素蹦。塌其各結(jié)灶構(gòu)均為鴿單踩個(gè)問粒途子在，峰其贈(zèng)分基子哄量賢在叉1揉0貓0著0秧0鞭~騰2幣0縫0董0留0純之貸間穩(wěn)范求圍篇內(nèi)絹，亭體山積峰為斗1海~短5殼0鐮μ炸m深，旅細(xì)非菌用內(nèi)縮毒橫素杠在踐水惠中貓可芝以糞形史成樂比監(jiān)較纏大就的乎成趙團(tuán)做密骨集膊體肝，響造襲成磁顆疲粒瞇性剛污鋪染須。勤細(xì)載菌桶內(nèi)生毒拜素櫻含盜磷睛多軋?zhí)侵w避7攜5很%指，迫磷玻脂益1綱2巡~柱1玩5申%絕及芽有滑機(jī)百磷局酸尊鹽傅6五~兵7棋%資，更造捉成形T疤O淋C嫁污孕染汽，油由閥于冷含鏟很琴高炊的椒磷剃，盜在讀硅篇中遮是擠N粗型練雜葬質(zhì)折，道貢劑獻(xiàn)正導(dǎo)天電療電緊子努，梯形俱成縫不嚴(yán)可疊控旨制紡的猶污劃染福，斗嚴(yán)獄重畫的括影襪響潔器垂件填的樂性徒能耗和蝦成作品光率喘[圣8菠]訂。昏保稱由棒于襪細(xì)露菌稠及盾細(xì)預(yù)菌磨內(nèi)籌毒蒼素脹都苗會(huì)農(nóng)產(chǎn)鞏生掌顆只粒絲性泡污為染既及朽T域O若C釀的漆污以染撓，友由粘圖戚1廁、疊圖劣2腦明百顯漢看剖出攔顆搞粒進(jìn)性射污躍染蛇及嗚T繳O太C堅(jiān)的殲污滾染舊對(duì)夠大駁規(guī)嬸模測集過成婆電毀路驅(qū)的攔影粗響崇，層因探此顧在蟻兆委位固電駐路巖用梅水份中隔對(duì)償T篩O由C估、姓細(xì)折菌花及位細(xì)喝菌年內(nèi)其毒妹素災(zāi)的禽含庫量侵要末嚴(yán)段格蛛控黑制危。壘麥挖二先、右超莫低犬壓需卷擊式代復(fù)衣合景膜睡的構(gòu)主匹要熟特魂點(diǎn)勉仗千耐2券.企1睛與逐C睛A晉膜載和厘低帥壓蟲復(fù)嚇合率膜哥相情比巖，影E銳S奸P載A限、教E周S稅1式0丈、櫻E摔S蔬2黎0侍膜稅達(dá)肉到大同蓄樣瘋產(chǎn)熱水攻量編時(shí)若所恥需隊(duì)的啊操省作禮壓輝力玻大非為喚降放低蒜，勁換頂句呈話丸說拉在裳相液同禾的擋操觀作伐壓胸力撲下墾其帳產(chǎn)漆水壯量漆高虜出續(xù)其筑它對(duì)膜親，稀見持圖勺3紛。揪走伯圖仆3西川部留分酸卷申式補(bǔ)反陶滲織透凈膜黃性某能煎比精較倚看陷由扯圖夕1枯看室出滴在斃壓西力渾一屑定盜時(shí)僻E暫S任P糖A監(jiān)，艦E指S態(tài)2太0誤膜森的必產(chǎn)酷水海量瀉是爸C靈P斤A盤2謠或慎N階T父R弟-雹7雪5屢9寬H克R粥，劑B預(yù)W太3暢0掘膜高產(chǎn)蓬水述量頸的括一霉倍訴，傲而染C墨P只A圈2局或媽N兆T赴R煉-扯7聾5瓜9涉H降R王，坦B易W扔3放0競膜裙的田產(chǎn)獸水農(nóng)量膠是題C乘A眉膜粗的埋5熄倍客，躁換騙句嘗話妨說守若巴同摘樣孔的睬產(chǎn)著水雖量話，拋則穗所部需郵的潑操旦作范壓所力順要良求袍低巾很徹多角。坑表嗓敲2注.敞2棉扎低洪壓憤和易超止低松壓黑膜活，熔如劫C乳P豆A退2拉，縫N束T招R為-惹7棄5部9宿膜詞和膊E艷S堆P寨A鑼膜塞，柜脫飄除注水心中訊二廉氧嫌化陽硅碌能拴力堂，截均污在雜9全8李%告以掃上躲，半標(biāo)墳準(zhǔn)走條稠件傍下編二痰氧釀化封硅中的劫脫界除仁率笛見您圖記4飽。領(lǐng)木艇圖結(jié)4捕魔不箱同室壓周力穩(wěn)時(shí)臟兩穿種話膜霧的阻脫勒硅政效增果薪報(bào)藥[濁測照試傲條畜件波]負(fù)翼進(jìn)跡水昌溶旦液祖：訓(xùn)S依i控O酸2揮濃老度垂4卸1鵲p象p塔m仔，弄溫燭度喚：業(yè)1和8凈℃忍就財(cái)碎2刊.表3屯突化融學(xué)毅穩(wěn)榜定繳性亮，皺以角E李S赤P狐A萬膜論，慎C往P罩A和2趣或飯N繭T農(nóng)R紙-仍7乎5希9柔膜貞的授耐萌氯半性擾為響例悲，奮如當(dāng)圖趣5品所紀(jì)示乳。盞鴨渡圖型5梳摟兩位種抗膜港的得耐的氯搏性互能療泊亂[泳通貪水鑒條薄件剃]蜂張進(jìn)淺水知壓叮力祖：循1幕.勺0廣M念P冤a翁；杰供齡給左液文游臺(tái)離旦氯壞濃匠度任：提1節(jié)0共0非p損p徒m烏；誠供霧給爆液儀p惠H年=堅(jiān)6作既例[示測敲試璃條儲(chǔ)件巖]湯析進(jìn)坑水疊溶驕液健：石0暈.孔0磚5傅%競食湊鹽形水來；罷進(jìn)冶水殃壓諸力嬸：含0犬.帽7許5油M搞P造a隸；乓p筒H和值竿：說6偶.典5炭；病溫閃度荒：維2斃5不℃叢追材由龜于婦E牌S純P扎A桿膜摔沒憑有午改儀變忙復(fù)禾合逝膜差材醫(yī)料裙的銹化攤學(xué)寇成離分纖，撞因黃而材保搶持洽了謀復(fù)寨合障膜富的殃所慰有儉優(yōu)社點(diǎn)贏。軟其架化謎學(xué)嫁穩(wěn)球定群性蹈和回脫園鹽止率街均藏與外低游壓隆復(fù)吧合峰膜示相工同逆。御零抽三鉆、綿用紋一儀級(jí)狡反銷滲失透頭R鳴O嘴、阻雙烘級(jí)礎(chǔ)R渴O洲、腫蒸骨餾掃法衣、事紫鞭外底法償、悄活死性薪碳預(yù)吸拜附學(xué)法碧、狹離閥子廳交灑換帽法僑、棋超波聲售法耐等奶除鏟去撞水風(fēng)中籮的近T椅O觀C姻和喂細(xì)暈菌巷內(nèi)碼毒糧素肆的沸比夾較于最關(guān)1咐.是1展用雁R影O壟法兇，要蒸齡餾券法紛，退1洋8孝5欣紫寨外潛法愉，店除鍛去致T燦O揪C停和陡細(xì)蘋菌谷內(nèi)芝毒程素送，未見肢表菜1慢。知享過表澤1鍛靈用欠R繩O佩法裳，叮蒸肯餾流法宰，滅1尖8炎5暈紫怎外爬法疼，賺除榴去行T慕O親C規(guī)和采細(xì)毯菌部內(nèi)水毒姿素落的純比嘗較姿方聽薦法殿源視宣水圍產(chǎn)吵番品擾挖水呼T竹O流C王(工p興p復(fù)b江)紫細(xì)銷菌岸內(nèi)軟毒奧素廚(畜E茶U屯/塔m珠l鑼)喝*圣T梢O淋C當(dāng)(飽p駁p吊b病)抱細(xì)涌菌域內(nèi)紗毒窗素絲(萌E屈U饞/誘m芒l啄)沉*愛一絲級(jí)握R付O缸(咬C稠A燒膜虜)蕩4擋2樹0想0蛾＞轉(zhuǎn)1誦0截1路2鉛0封≥名0狠.呆0樹3皆一吸級(jí)描R什O邀(冤T震F區(qū)C紀(jì)膜孝)璃4孤2修0弟0需0浴.浮3宴5嚼0堤0細(xì).村0連3賣~照＜例0寧.袍0謙3掙市映售富蒸目餾陽水循5允0悶0皂0遞＞甚3鞠2啟5蔥0番0爽0茫.編2位5緣二郵次惱蒸每餾護(hù)水港2皮5煮0苦0混0駕.造2年5槽5摧0鈴0元0指.股1務(wù)三烈次委蒸瓶餾辨水夫5及0誦0鼠1租1股0稍0獄＞違0測.廚0香3鄉(xiāng)雙運(yùn)級(jí)疊R繭O回(陷T吐F糟C湖膜悟)扯5福0饞≤集0桌.礦0碗3火2眨0割＜爽0垮.請(qǐng)0肆3嬌雙災(zāi)級(jí)育R放O技+剖1幼8覺5挑n際m稠U驅(qū)V蜂3藥0愈＜掠0釀.重0妖3它＜逆5暑＜暫0鴉.馬0鋒3茄公坐發(fā)*項(xiàng)駕E海U銳=穩(wěn)E酒n落d蛋o糕t究o歲x屯i艱n罪U襖n到i叼t魄（著內(nèi)解毒閉素蒜單件位寬）適影諸美斜國座1朽9伶9煩3炕年層[圍9獻(xiàn)]鉛A威S萄T辯M竄-憤E鳥1呈級(jí)飼水臉中左規(guī)唇定芽內(nèi)當(dāng)毒灑素枯含羊量疊＜岡0舍.玩0談3羅E其U盆/晌m獵l腹，顫A火S什T錯(cuò)M獻(xiàn)-遇E偶2蒼級(jí)渾水采，蹈內(nèi)在毒桃素防要畏求搬0弟.朵2垃5知E叉U利/雀，拴在衣我讓國悄高擇純勒水嚴(yán)國幟標(biāo)痛中慰，授暫撓未雹定檔此明標(biāo)維準(zhǔn)陡，獨(dú)由陡表崇1簽明虎顯抄看鑰出薄，籍用文雙壘級(jí)齡R始O盛+換1春8蠅5息n勵(lì)m徒U轉(zhuǎn)V克制敬取串高含純枕水頃，右T肌O冒C縫降謝至仍＜密5扒p較p菜b般和扒細(xì)衫菌餡內(nèi)口毒綁素點(diǎn)＜虹0狼.舟0拔3彈E秤U廁/牲m媽l鋪完妙全挨符團(tuán)合炊亞狡微話米皺電均路磨用盈高帝純水水追要斃求飛。追盆炕1迅.洽2律幾鹿種夸反茶滲允透溜膜座對(duì)前水績中解細(xì)悲菌寄內(nèi)寬毒驢素銳的腸去趕除逝效梳果申比如較且，冊(cè)見紅表愁2銷。躺淹析表勝2繁儀幾怎種器膜宋對(duì)少細(xì)款菌乘內(nèi)辜毒騎素粘的糧去明除索效束果對(duì)比算較絮透易過螞膜環(huán)水袍樣答細(xì)營菌欣內(nèi)仔毒垂素巾含隙量殖E溉U帆/存m扮l風(fēng)進(jìn)皆水巖出仇水絨C全A撞膜膏3俗＞痕0創(chuàng).屋0膨3仆N湊T披R繭-淘7涂5渡9賴膜孩3獎(jiǎng)＜仇0妙.建0滅3歲C景P揀A截2益膜潑3織＜滲0房.眉0翻3雹E孟S愿P同A悠膜誰3丸＜鍬0板.宗0僵3總阻把由奸表幼2價(jià)所糾示疊，免經(jīng)袋低胡壓災(zāi)和狐超艘低礎(chǔ)壓垮復(fù)奴合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