ICS29045

CCSH.83

中華人民共和國國家標準

GB/T30652—2023

代替GB/T30652—2014

硅外延用三氯氫硅

Trichlorosilaneforsiliconepitaxial

2023-08-06發布2024-03-01實施

國家市場監督管理總局發布

國家標準化管理委員會

GB/T30652—2023

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替硅外延用三氯氫硅與相比除結構調整和

GB/T30652—2014《》,GB/T30652—2014,

編輯性改動外主要技術變化如下

,:

更改了適用范圍見第章年版的第章

a)(1,20141);

增加了術語和定義一章見第章

b)(3);

更改了部分技術指標要求見年版的

c)(4.1,20143.2);

增加了部分項目的試驗方法見第章年版的第章

d)(5,20144);

更改了組批的規定見年版的

e)(6.2,20145.2);

增加了檢驗項目見

f)(6.3);

更改了取樣和制樣的要求見年版的

g)(6.4,20145.3);

更改了檢驗結果的判定見年版

h)(6.5,20145.4);

更改了標志的要求見年版的

i)(7.1,20146.1);

更改了標志包裝運輸貯存等的要求見第章年版的第章

j)、、、(7,20146)。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國半導體設備和材料標準化技術委員會與全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術委員會材料分技術委員會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本文件起草單位洛陽中硅高科技有限公司有色金屬技術經濟研究院有限責任公司上海億鈳氣

:、、

體有限公司南京國盛電子有限公司唐山三孚電子材料有限公司上海新昇半導體科技有限公司上海

、、、、

晶盟硅材料有限公司新疆大全新能源股份有限公司陜西有色天宏瑞科硅材料有限責任公司武漢新

、、、

硅科技潛江有限公司宜昌南玻硅材料有限公司中電晶華天津半導體材料有限公司昊華氣體有限

、、()、

公司新疆新特新能材料檢測中心有限公司青海中航硅材料有限公司沁陽國順硅源光電氣體有限公

、、、

司江西晨光新材料股份有限公司

、。

本文件主要起草人萬燁趙雄嚴大洲劉見華張園園李素青李建新李飛明馮永平孫任靖

:、、、、、、、、、、

張斌顧廣安于生海鄧遠紅徐巖李楷東劉文明李明達付夢月邱艷梅邊紅利史雋濤梁秋鴻

、、、、、、、、、、、、。

本文件于年首次發布本次為第一次修訂

2014,。

Ⅰ

GB/T30652—2023

硅外延用三氯氫硅

1范圍

本文件規定了硅外延用三氯氫硅的技術要求試驗方法檢驗規則標志包裝運輸貯

(SiHCl3)、、、、、、

存隨行文件及訂貨單內容

、。

本文件適用于以三氯氫硅為原料精制提純而制得的硅外延用三氯氫硅以下簡稱產品

()。

2規范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

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GB/T29056、、、、、、、、、、、

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