掃描電子顯微鏡培訓(xùn)掃描電子顯微鏡培訓(xùn)掃描電子顯微造、原理和應(yīng)用ScanningElectronMicoscopeByXXx掃描電子顯微鏡培訓(xùn)CONCENTSSEM的產(chǎn)生電子束與固體的相互作用SEM的工作原理與結(jié)構(gòu)SEM的特性與優(yōu)點ll冫名詞解釋millSEM的應(yīng)用SEM的產(chǎn)生1.1光學(xué)顯微鏡簡介光學(xué)顯微鏡探索微觀世界的奧秘是人類幾千年以來的愿望和追求,更何況隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,人們也越來越需要深入探測和了解微觀結(jié)構(gòu)的儀器。光學(xué)顯微鏡是能提供這種需求的主要儀器之一,它突破了人類的視覺極限而延伸到內(nèi)眼無法看清的微觀世界之中掃描電子星飾統(tǒng)培訓(xùn)|3SEM的產(chǎn)生光學(xué)顯徽鏡原理光學(xué)顯微鏡(OM)是根據(jù)凸透鏡的成像原理,經(jīng)過兩次凸透鏡的成像來達(dá)到放大的目的。圖1顯微鏡大光學(xué)原理AIB|—物鏡大圖象A2B2一目鏡放大圖象F一物鏡的焦距。F2一目鏡的焦為光學(xué)鏡筒長度(即物鏡后焦點與目鏡前焦點之間的距離)D一勇視距離(人眼的正常明視距離為250mm)掃描電子呈微統(tǒng)培訓(xùn)|4SEM的產(chǎn)生光學(xué)顯徽鏡的極限光學(xué)顯微鏡的分辨力取決于入射◆光的波長:380~760nm光的波長,即可見光的波長。人眼在距離25cm時能分辨的最小間距是02mm光學(xué)行射的分辨率限制(瑞利判據(jù))6=0614,6=061X500=201.99mnina151×sin90°λ:波長(390-760m);n:介質(zhì)折射系數(shù)(香柏油n=1.51)a:入射光束孔徑角的一半(最大180°);g人眼的分辨率:0.10mn~0.25mna觀察200mm微小物體的放大倍數(shù):A=R/6=0.mm/200nm=500倍M:放大倍數(shù);R:人眼分辨率;δ:儀器分辨二、SEM的產(chǎn)生1.2電子顯微鏡簡介電子束作光源口根據(jù)德布羅意公式入en1.225a考慮相對論效應(yīng)λ=V√1+0978×10-6短波長的電子束作為照明源的口金屬線圈對電子流折射聚焦電子顯微鏡應(yīng)運而生。口電場和磁場可以作為電子束的透鏡,進(jìn)行折射和聚焦。、SEM的產(chǎn)生電子顯徽鏡發(fā)展歷史1924年,德布羅意(DeBroglie)提出物質(zhì)波的概念1926年,德國的Garbor和Busch發(fā)現(xiàn)用鐵殼封閉的成軸對稱磁場可以使電子流折射聚焦1935年,德國的Knηo‖提出現(xiàn)代SEM的概念1965年,英國劍橋儀器公司生產(chǎn)出第一臺商用SEM;1968年,K∩o‖研制出場發(fā)射電子槍;1975年,中國科學(xué)院北京科學(xué)儀器廠生產(chǎn)了我國第一臺SEM,分辨率為10nm。掃描電子星飾統(tǒng)培訓(xùn)|7、SEM的產(chǎn)生eMaxKnoll(1897-1969)1935年提出掃描電鏡的設(shè)計思想和工作原理。1965年,劍橋儀器公司制造出世界第一臺商用掃描電鏡。三、電束與固體的相互作用21電子束與固體相互作用束細(xì)聚焦的電子束轟擊試樣表面時,入射電子束與試樣的原子核和核外電子將產(chǎn)生彈性或非彈性散射作用,并激發(fā)岀反映試樣形貌、結(jié)構(gòu)和組成的各種信息。入射電子束背散射電子二次電子X射線吸收電子(元素信息)背散射電子透射電子(凹凸/組成信息)特征X射線二次電子(樣品的表面信俄歇電子陰極熒光熒光民(化和結(jié)合狀態(tài)信息)俄歇電子(表層元素信息)0m以內(nèi)(二次電子教發(fā)區(qū)城)電子散亂區(qū)域樣品樣品吸收電流入射電子束與樣品相互作用而激發(fā)出來的各種信號二、電子束與固體的相互作用21電子束與固體相互作用一二次電子口二次電子是指在入射電子束作用下被轟擊出來并離開樣品表面的樣品的核外層電子。a二次電子的能量較低,一般都不超入射高壓電子束過50c大多數(shù)二次電子只帶有幾[俄歇電子背散射電子二次電子二次電子一般都是在表層510mm深[陰極獎光X射線度范圍內(nèi)發(fā)射出來的,它對樣品的表面形貌十分敏感,因此,能非常吸收電子有效地顯示樣品的表面形貌。它的產(chǎn)額與原子序數(shù)Z沒有明顯關(guān)透射電到系,不能進(jìn)行成分分析。36、自己的鞋子，自己知道緊在哪里。——西班牙

37、我們唯一不會改正的缺點是軟弱。——拉羅什福科

38、我這個人走得很慢，但是我從不后