（數(shù)控加工）精密數(shù)控磨床的總體設(shè)計摘要的徑向進(jìn)給靠回轉(zhuǎn)工作臺沿X立柱、拖板以及測量機構(gòu)。總體傳動方案為：由外置步進(jìn)電機驅(qū)動齒輪，Z軸方動則通過外置電機驅(qū)動皮帶輪，由皮帶輪的傳動來使回轉(zhuǎn)工作臺的旋轉(zhuǎn)，精度。關(guān)鍵字：加工精度，設(shè)計方案，分配，參數(shù)GeneralDesignofPreciseNumericalControlGrindingMachineAbstractThistopicistogatherthemachine,electricity,thehigh-techitemthattheliquidintegralwholeturn,thekeyproblemfortosolveistheprincipalaxisboxisprevioustwotoprocesswiththesupernicetyofthestalkbearingsbore.Thisgrindingmachineprocessesthewayadoptioncorrespondtypetowhettoparetheway,theworkpieceinstallatturnroundtheworkonthestage,turnroundwiththeworkpedestal,theemerywheelturnsroundatthesametime,thepathoftheemerywheeltoentertodependturnroundtheworkpedestaltofollowtheXdirectionmovestherealization,topofbearingsboreandtopendfaceprocessgoodafter,processwithsameemerywheelunderneathofbearingsboreandundercarrythenoodles,theworkpieceinstallonce,withguaranteetheaccuracy.Totallayoutforthesigntypegrindingmachine,mainlyisdividedintowhettheheadcentandturnroundtheworkset,bedbody,perpendicularitytosignthepillaranddragalongtheplankandmeasuretheorganization.Totalspreadtomoveprojectis:Fromoutsideplacetotreadintotheelectricalengineeringtodrivethewheelgear,thenspreadtomovetoarousetorollthebeadsilkthroughawheelgear,wholewhetadevicetopasstorollthebeadsilktocarryontheZstalkthesquareheadingupofambulation,whettheheadtorevolvetothenpassanotheroutsideplacetheelectricalengineeringtodrive,turnroundtheworkpedestaltodrivethenthroughanoutsideplacetheelectricalengineeringtodrivetheleatherbeltround,fromtheleatherbeltroundspreadtomovetomaketheturn-overworkpedestalrevolve,dragalongtheknotholetodrivethenfromtreadintotheelectricalengineeringtocontrol.Atthesametime,madeuseofnumbertocontrolthetechniqueinthedesignofthegrindingmachine,moderntestmeans,entertocompensatetechniqueforsoftwarelittlebylittle,thusmakeprecisemachinethedesignattainstheaccuracyrequest.KeyWords:AccuracyofProcess，ProjectDesign，Allotment，Parameter精密數(shù)控磨床的總體設(shè)計0引言回顧即將過去的20世紀(jì)，人類取得的每一項重大科技成果，無不與超精密加工技術(shù)，就不會有真正強大的國防。超精密磨床要求其數(shù)控系統(tǒng)具有高編程分辨率（1nm）和快速插補功能（插補周期0.1msPC機和數(shù)字信號處理芯片（DSP）的主從式硬件結(jié)構(gòu)是超精密數(shù)控的潮流，如美國的NANOPATH和PRECITECH'SULTRAPATHTM都采用了這一結(jié)構(gòu)。數(shù)控系統(tǒng)的硬件運動控制模塊（PMAC我國國防科技大學(xué)研制開發(fā)的YH－1型數(shù)控系統(tǒng)采用ASW－824工業(yè)一體化PCADSP2181信號處理器模塊構(gòu)成高速下位伺服控制器。模塊化、構(gòu)件化是超精密磨床進(jìn)入市場的重要技術(shù)手段，如美國ANORAD公司生產(chǎn)各種主軸、導(dǎo)軌和轉(zhuǎn)臺，用戶可根據(jù)各自的需要組成一行的布局方式是“T”型布局，這種布局使磨床整體剛度較高，控制也相對容易，如Pneumo公司生產(chǎn)的大部分超精密磨床都采用這一布局。模塊磨床，用于磨削超大硅晶片,采用三角菱形五面體結(jié)構(gòu)，用于提高剛度；德國蔡司公司研制了4軸精密磨床AS100床除了X、Z和C軸外，附加了A軸，用于加工自由表面時控制砂輪的磨CCOS計考慮和設(shè)計手段。ZYGOAX10MTM2/20分辨率為1.25nm據(jù)我們的使用經(jīng)驗，德國Heidenhain公司生產(chǎn)的光柵尺更適合超精密磨床運動檢測，如該公司LIP401,材料長度220mm，分辨率為2nm，采用Zerodur材料制成幾乎達(dá)到零膨脹系數(shù)（0.1ppm/k），動靜尺間隙為0.6±0.1mm，對環(huán)境要求低，安裝和使用方便，如Nanoform2500和Optimum2400超精密磨床都使用了Heidenhain光柵尺。的研究有歐共體的OSACAOMAC和日本的OSEC的布局任意組裝軟件，符合磨床模塊化發(fā)展的方向。1總體概述超精密加工機床設(shè)計與制造的關(guān)鍵與核心問題是保證超精密加工工是：消除或減少機床上的熱源和振源；提高機床的結(jié)構(gòu)剛度和幾何精度；措施有：（1）首先是盡量不用或少用摩擦發(fā)熱量大的傳動裝置（如機械無級調(diào)速選用熱脹系數(shù)α和導(dǎo)熱系數(shù)λ值低的材料作機床的重要零部件材料。與此同時也要盡量采用熱物理特性相同或相近的材料來制造機床的構(gòu)件和零部件。卻并預(yù)留相應(yīng)的冷卻液循環(huán)流動通道。當(dāng)冷卻的尺寸范圍在200mm～1500mm時，風(fēng)的流量應(yīng)為（3～10）m3/s或液體的通量為（1～10）L/s，從而可分別保持溫度波動為±0.05°C和±0.02°C。對個別強熱源處（如主軸軸承）所產(chǎn)生的熱量，必要時可采用專門的熱管帶走。（2）超精密加工機床不僅要考慮安裝和工作在恒溫室里，而且在極高精±0.01°C的油淋浴的恒溫箱中，因此，機床的工作過程必須是完全自動或遙控的。（3）為了避免振動影響加工精度，除了機床必須安裝在由空氣支承、彈格進(jìn)行動平衡，殘馀不平衡量應(yīng)小于0.5～1g.mm。與此同時，為了消除構(gòu)等。mk系統(tǒng)的固有頻率相互遠(yuǎn)離，避開共振區(qū)，減少振動對機床工作的影響。正常情況下，鑄鐵的衰減指數(shù)為0.006～0.008，而天然大理石和人造大理石的衰減指數(shù)則分別為0.02～0.04和0.06～0.08件可以大大增加結(jié)構(gòu)的內(nèi)阻尼，因而可大大提高衰減振動的效果。（4）進(jìn)給傳動的設(shè)計主要要求是：保證能有效進(jìn)行誤差動態(tài)補償?shù)膿Q向5μm2μm的高定位精度。為此，可供選擇的進(jìn)給傳動方式有以下幾種：－滾珠絲杠副。特點是剛度大，可實現(xiàn)的增量位移為100μm（即0.1μm50N～100N/μm100N動增量為5μm。缺點是壽命低，不夠靈敏。－條（帶）傳動。僅適合在小型機床上用。－壓電和磁致伸縮傳動。移動量可小于5μm，但總的行程量很小，只有100～200μm，故多數(shù)情況下它是與其它傳動方式（如滾珠絲杠副）組合使用。10°100N～1000N/μm）和可實現(xiàn)微小的增量位移。缺點是保證油溫和油壓穩(wěn)定的系統(tǒng)較復(fù)雜。線圈的螺母相互作用來實現(xiàn)傳動。可實現(xiàn)微小的增量位移，但剛度過低，只有10N/μm。（5）導(dǎo)軌設(shè)計。導(dǎo)軌是超精密加工機床上保證實現(xiàn)精密微量進(jìn)給的重要6KN～8KN/μm0.02μm～0.04μm/400mm1KN～2KN/μm4μm～8μm時，也能保證與液體靜壓導(dǎo)軌一樣的位移精度。液體靜壓和氣浮導(dǎo)軌的直線性均可高達(dá)0.02μm/100mm。（6）在總體布局設(shè)計上，超精密加工機床的結(jié)構(gòu)應(yīng)分成承載部分和計量用懸伸和剛度不恒定的構(gòu)件。（7）在機床整體和各部件所完成的功能分配方面，在多數(shù)情況下，一臺協(xié)（折衷）的辦法。這一點是與目前一般機床的設(shè)計發(fā)展趨勢——復(fù)合化，擴(kuò)大工藝可能性是不一樣的，或者說是正好相反的。（8）為了保證超精密加工的目標(biāo)順利實現(xiàn)，超精密加工機床設(shè)計必須考影響。2總體方案擬定磨床總體方案，包括以下三方面的內(nèi)容：（1）調(diào)查分析；（2）工藝分析；（3）磨床總體布局。2.1調(diào)查分析12）對使用要求與制造條件的了解；（3）對同類及類同設(shè)備的了解。2.1.1加工對象加工對象是主軸箱上兩個同軸軸承孔，主要技術(shù)指標(biāo)如圖2.1所示：圖2.1加工零件的主要技術(shù)指標(biāo)工件材料：孕育鑄鐵。2.1.2使用要求與制造條件本課題所要解決的關(guān)鍵問題是主軸箱上兩個同軸軸承孔的超精密加工。要求所加工的軸承孔的技術(shù)參數(shù)能達(dá)到：（1）圓柱度：0.002mm；（2）圓度：0.002mm；（3）平直度：0.002mm。磨床的制造運用數(shù)控技術(shù)，現(xiàn)代測試手段，微量進(jìn)給軟件補償技術(shù)，從而使精密機械設(shè)計達(dá)到所要求的精度。2.1.3同類及類同設(shè)備（1）寧波市北侖倍力精密機械有限公司的HM1860型內(nèi)圓磨床主要技術(shù)參數(shù)：加工孔徑范圍：Φ3～Φ80mm最大孔長：250mm主軸轉(zhuǎn)速：250-3000轉(zhuǎn)/分變頻無級調(diào)速主機電機：1.5KW,5～200Hz變頻電機沖程長度：0～160mm沖程速度：80～400次/分變頻無極調(diào)速沖程電機：0.75KW主軸及沖程的停機制動：變頻器電子制動油泵電機：0.12KW油箱容積：106升機床重量：620KG外形尺寸：1100×1390×1400（長×寬×高）電源：380V，50Hz，三相本機床特點：1.較大的加工范圍（Φ3～Φ80mm）2.瑞士SKF1μm3μm以內(nèi)3.韓國產(chǎn)LG雙變頻器，調(diào)速，制動易匹配調(diào)整珩磨網(wǎng)紋4.韓國產(chǎn)直線滾動軸承，保證了高可靠性與穩(wěn)定性5.法國施耐德電氣，具有“手動“自動“時間”等尺寸控制功能6.國產(chǎn)機的價格，進(jìn)口機的性能，性價比最高的臥式珩磨機（2）廣州眾舜機械五金有限公司的精密內(nèi)圓磨床TK-614最大研磨長度：350mm最大研磨寬度：150mm工作臺面積：365×150mm工作臺左右最大行程：382mm工作臺前后最大行程：175mm砂輪軸心至工作臺面距離（加長）：400（450）mm主軸馬達(dá)（V3級）：1.5HP，1HP×2P砂輪尺寸（外徑×寬度×孔徑）：180×13×31.75mm升降手輪進(jìn)刀量：每轉(zhuǎn)一圈1mm（0.04"）每一刻度：0.005mm（0.0002"）上下微調(diào)進(jìn)刀量：每轉(zhuǎn)一圈0.02mm（0.001"）每一刻度：0.001mm（0.00004"）前后手輪進(jìn)刀量：每轉(zhuǎn)一圈5mm（0.1"）每一刻度：0.02mm（0.0005"）前后微調(diào)進(jìn)刀量：每轉(zhuǎn)一圈0.1mm每一刻度：0.002mm機器尺寸（長×寬×高）：1340×920×1850mm機器重量（約）：620kg其他類同機床可參閱有關(guān)資料。2.2加工工藝方案床的運動、傳動、布局、結(jié)構(gòu)、經(jīng)濟(jì)效果等方面的一系列變化。常用的內(nèi)孔加工方法主要有:2.2.1切入式磨削切入式磨削:采用軸向加工方式，直接切入工件的表面。采取切入式磨削方式的加工工藝方案如圖2.2FrX方繼續(xù)加工下面的孔及下端面。工件一次安裝，以保證精度。圖2.2切入式磨削2.2.2單油石磨削單油石磨削:將1內(nèi)孔表面的質(zhì)量。采取單油石磨削的加工工藝方案如圖2.3石的徑向進(jìn)給靠拖板的水平方向位移實現(xiàn)，以此來帶動工作臺上的工件，的孔及下端面。工件一次安裝，以保證精度。圖2.3單油石磨削2.2.3多油石磨削多油石磨削:將位置對稱的4控制磨削部件內(nèi)孔表面的質(zhì)量。采取多油石磨削的加工工藝方案如圖2.4安裝，以保證精度。圖2.4多油石磨削2.2.4加工工藝方案選定和表面粗糙度比較高。和表面粗糙度一般，油石較易磨損。表面粗糙度的孔比較困難，成本也高，適合加工大尺寸類型的零件。綜上所述，多油石磨削的散熱比較困難，容易引起熱變形，一般用要求要求達(dá)到的精度比較苛刻，所以應(yīng)避免排屑和散熱較為困難的工藝，與工件同向回轉(zhuǎn)的加工方式。2.3磨床運動的確定與分配可能用一個執(zhí)行件完成多個運動。2.3.1磨頭的運動分配磨頭是加工零件的執(zhí)行元件，其運動的形式有兩種方案：（1）自身回轉(zhuǎn)；（2）自身的回轉(zhuǎn)和垂直方向上的直線移動。可能減免磨頭電動機所散發(fā)的熱量，所以方案（2）并不適合本課題，而方案（1）中電動機所產(chǎn)生的熱量可以用散熱片得以解決。綜上所述，本課題選擇方案（1）。2.3.2磨頭主軸箱的運動分配軸箱就負(fù)責(zé)磨頭垂直方向上的直線移動。2.3.3回轉(zhuǎn)工作臺的運動分配其運動的形式有兩種方案：（1）自身的回轉(zhuǎn)；（2）自身的回轉(zhuǎn)和X方向上的直線移動。兩者的區(qū)別在于是否有X1）。2.3.4拖板的運動分配的運動為X方向的直線移動。2.3.5運動分配分析的結(jié)論作臺、拖板四個執(zhí)行件來完成。動，回轉(zhuǎn)工作臺的運動是自身的回轉(zhuǎn)，拖板的運動是X方向（水平方向）上的直線移動。2.4磨床的總體布局本項工作的基本要求：（1）保證刀具和工件間的相對位置和相對運動。（2）足夠的剛性，抗振性。（3）便于操作、維修、排屑等。（4）材料消耗低，占地面積小。（5）造型美觀。總體布局的具體內(nèi)容：（1）運動分配時應(yīng)考慮的結(jié)構(gòu)因素（2）磨床傳動形式的確定（3）磨床支承結(jié)構(gòu)形式的確定2.4.1結(jié)構(gòu)因素（1）把運動分配給重量輕的執(zhí)行件的保證。（2）提高加工精度提高精度的加工方法有以下兩種：刀具回轉(zhuǎn)、工具回轉(zhuǎn)。提高加工精度和減少磨削量。（3）減少占地面積此因素取決于加工工藝方案以及磨床支承結(jié)構(gòu)形式，請參照下文。2.4.2磨床傳動形式（1）磨頭的驅(qū)動磨頭的運動是自身的回轉(zhuǎn)，所以磨頭的驅(qū)動有三種可以采用的方案：①由內(nèi)置電動機直接驅(qū)動；②由內(nèi)置電動機通過皮帶的傳動來驅(qū)動；③通過外置電動機來直接驅(qū)動。頭設(shè)計》相關(guān)部分），決定采用第②種方案。（2）磨頭主軸箱的驅(qū)動由于在立柱上安裝的部件主要保證磨頭主軸箱在垂直方向的上下移方案：①用步進(jìn)電機、滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌來帶動磨頭主軸箱在垂直方向上的移動，并且對于步進(jìn)電機與滾珠絲杠的對心采用重心驅(qū)動原理。②用直線電機直接驅(qū)動來帶動磨頭主軸箱在垂直方向上的移動。直立柱進(jìn)給系統(tǒng)設(shè)計》相關(guān)部分），決定采用第①種方案。（3）回轉(zhuǎn)工作臺的驅(qū)動①通過外置電機驅(qū)動帶輪，通過帶輪的傳動來使回轉(zhuǎn)工作臺旋轉(zhuǎn)。②通過內(nèi)置電動機直接驅(qū)動回轉(zhuǎn)工作臺的旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)工作臺設(shè)計》相關(guān)部分），決定采用第①種方案。（4）拖板的驅(qū)動拖板通過步進(jìn)電機來控制X下兩種方案：①用步進(jìn)電機，滾珠絲杠，滾動直線導(dǎo)軌來驅(qū)動拖板實現(xiàn)粗進(jìn)給，由壓電陶瓷實現(xiàn)精進(jìn)給。②用直線電動機驅(qū)動拖板來實現(xiàn)粗進(jìn)給，由壓電陶瓷實現(xiàn)精進(jìn)給。2.4.3磨床支承結(jié)構(gòu)形式的確定機床支承結(jié)構(gòu)形式如圖2.5所示主要有以下幾種：圖2.5機床支承結(jié)構(gòu)形式積相對較大，所以本課題采用立式機床。2.4.4總體布局的確定綜上所述，精密數(shù)控磨床總體布局如圖2.6工件安裝在回轉(zhuǎn)工作臺上隨工作臺回轉(zhuǎn)。圖2.6精密數(shù)控磨床的總體布局3磨床主要技術(shù)參數(shù)的確定主要技術(shù)參數(shù)包括：（1）主參數(shù)：指磨床的加工范圍；（2）基本參數(shù)：（a）尺寸參數(shù)——主要結(jié)構(gòu)尺寸；（b）運動參數(shù)——執(zhí)行件的運動速度；（c）動力參數(shù)——一般指磨床電機功率。3.1加工范圍的確定加工孔徑范圍：Φ145～Φ200mm最大孔長：250mm3.2主要結(jié)構(gòu)尺寸考慮到其泛用性，所以取800mm。磨頭直徑：根據(jù)被加工零件的性質(zhì)以及泛用性，取140mm。磨床總體尺寸定為1885×1670×3002（長×寬×高）3.3運動參數(shù)的確定3.3.1磨頭主軸箱進(jìn)給速度磨頭主軸箱的進(jìn)給速度確定為：100～500mm/min。3.3.2拖板進(jìn)給速度拖板的進(jìn)給速度確定為：150～450mm/min。3.3.3工作臺回轉(zhuǎn)速度由于工件是固定在回轉(zhuǎn)工作臺上，所以工作臺的回轉(zhuǎn)速度即工件的回轉(zhuǎn)速度，為30r/min。3.3.4磨頭回轉(zhuǎn)速度度定為n=10000r/min。3.4動力參數(shù)的確定要確定電動機的驅(qū)動功率即可。驅(qū)動電動機功率的確定有以下三種方法：（1）實測法——選一臺傳動與結(jié)構(gòu)跟所設(shè)計相近似的機床，并選擇特定工序或典型工序，用電表測量其一定時間t內(nèi)的輸入電功W[電動機功率P=（W/t）×η（Kw）]。（2）計算法——按磨削原理公式計算，也可用估算公式計算。（3）統(tǒng)計分析法可算得電機功率。功率。3.4.1磨頭的驅(qū)動電動機動電動機主要有：直流電機和交流變頻調(diào)速電機。到一定限制。到最低；具有高的轉(zhuǎn)矩/慣量比，能承受高的加減速；采取集中磁力線結(jié)構(gòu)，在保證高輸出轉(zhuǎn)矩的情況下，電動機的體積小而重量輕。行精密定位控制（詳情請參閱《精密數(shù)控磨床的磨頭設(shè)計》相關(guān)部分）。根據(jù)砂輪的轉(zhuǎn)速，初步得出驅(qū)動電動機的功率為4.66kW，最后選型后定為5.5kW（詳情請參閱《精密數(shù)控磨床的磨頭設(shè)計》相關(guān)部分）。3.4.2滾珠絲杠的驅(qū)動電動機與伺服電機。步進(jìn)電機的特點：能夠驅(qū)動的力矩范圍為中小力矩，一般在20Nm以2000rpm快，動，運行溫度，價格低，基本可以免維護(hù)。5000rpm1～2萬轉(zhuǎn)/可3～10力矩特性好，響應(yīng)速度快，耐振動性能一般，維護(hù)性較好，價格較高。直立柱進(jìn)給系統(tǒng)設(shè)計》相關(guān)部分），決定采用反應(yīng)式步進(jìn)電動機。驅(qū)動力矩計算得：T=5.411Nm（詳細(xì)過程請參閱《精密數(shù)控磨床的垂直立柱進(jìn)給系統(tǒng)設(shè)計》相關(guān)部分）。由于絲杠的啟動力矩計算得：T0=2.30Nm（詳細(xì)過程請參閱《精密數(shù)控磨床的垂直立柱進(jìn)給系統(tǒng)設(shè)計》相關(guān)部分）。5.5kW（詳細(xì)過程請參閱《精密數(shù)控磨床的垂直立柱進(jìn)給系統(tǒng)設(shè)計》相關(guān)部分）。3.4.3拖板的驅(qū)動電動機由于拖板的進(jìn)給量很小，所以可采用的電動機有以下三種：異步電動機；伺服電動機；步進(jìn)電動機運行安全可靠，體積小，重量輕，結(jié)構(gòu)堅固等特點。伺服電動機的特點是：良好的可控性，運行穩(wěn)定和快速響應(yīng)，在自動控制系統(tǒng)中用作執(zhí)行元件，它能對控制信號能作出快速的響應(yīng)。轉(zhuǎn)和制動。進(jìn)給拖板系統(tǒng)設(shè)計》相關(guān)部分），決定采用反應(yīng)式步進(jìn)電動機。5.5kW（詳情請參閱《精密數(shù)控磨床微量進(jìn)給拖板系統(tǒng)設(shè)計》相關(guān)部分）。3.4.4回轉(zhuǎn)工作臺的驅(qū)動電動機為了滿足數(shù)控機床對伺服系統(tǒng)的要求，對伺服電機有較高的要求：（1）電動機能在調(diào)速范圍內(nèi)都能平滑地運轉(zhuǎn)；（2）電動機應(yīng)有較強的過載能力，以滿足低速大轉(zhuǎn)矩的要求；（3）為了滿足快速響應(yīng)的要求，電動機的快速響應(yīng)性要求好；（4）電動機應(yīng)能承受頻繁的起動、制動和反轉(zhuǎn)。電動機和直接驅(qū)動電動機。作為床身零部件的主電機一般選用伺服電機。寬，可以承受高速運轉(zhuǎn)。安裝在床身一側(cè)的主電機通過兩對皮帶輪的傳遞驅(qū)動回轉(zhuǎn)工作臺的30r/min1.8kW3.5主要部件概述3.5.1精密磨頭Bn=10000r/min140mm3.5.2精密回轉(zhuǎn)工作臺工作臺轉(zhuǎn)速30r/min除電機熱源影響，采用電機安裝在床身上，用同步帶傳動的方式。3.5.3導(dǎo)軌支承水平導(dǎo)軌用滾動導(dǎo)軌、立柱導(dǎo)軌采用直線導(dǎo)軌以提高導(dǎo)軌的直線度，對導(dǎo)軌直線運動可采用軟件補償技術(shù)。3.5.4滾珠絲杠步進(jìn)電機采用BF系列反應(yīng)式（VR）步進(jìn)電機：①90BF3-3相數(shù)3步距角3/1.5（°）電壓60/12V靜態(tài)力矩20000μN·m，總長130，機殼90mm，軸Ф9mm。②90BF5-1.5相數(shù)5步距角1.5/0.75（°）靜力矩16000μNm。另外有SB系列反應(yīng)式步進(jìn)電機；43BY4-7.5型永磁式步進(jìn)電機；43BYG/J450型感應(yīng)式永磁式步進(jìn)電動機提高步進(jìn)電機伺服系統(tǒng)精度的方法有：（1）間隙補償：機械系統(tǒng)的間隙、可以按脈沖當(dāng)量換算成指令脈沖。（2）螺距補償誤差：絲杠螺距誤差的補償，可以用下列兩種方法實現(xiàn)：地方裝擋塊，用位置開關(guān)檢測并發(fā)出補償脈沖的方法。（3）反饋補償：把檢測器直接裝在磨床移動部件上用檢測移動部件的移動量，測出整個機械系統(tǒng)的誤差包括間隙及螺距誤差，另外熱變形誤差、剛變誤差可用軟件補償來解決。本設(shè)計采用上海磨床六廠生產(chǎn)的4005-3型精密滾珠絲杠FN1B-FN1D。3.5.5微量進(jìn)給機構(gòu)采用壓電陶瓷、作為微進(jìn)給控制機構(gòu)，設(shè)克服外負(fù)載150kgf、總位移量約20μm、通入的控制信號為電壓量、輸入為位移量。3.5.6立柱及床身采用熱變形小、抗震性強的孕育鑄鐵，用平衡塊維持平衡。3.5.7測量系統(tǒng)據(jù)工作原理，機床傳動誤差測量常用傳感器可分為以下幾類：（1）光柵傳感器（國外著名廠家如德國Heidenhain、西班牙Fagor等公司制造的光柵傳感器精度可達(dá)玻璃光柵尺的線脹系數(shù)與機床不一致，易造成測量誤差。（2）激光傳感器場使用時必須采取措施保證測量的穩(wěn)定性和可靠性。（3）磁柵傳感器3m30m）此需要重新錄磁，給使用帶來不便。（4）感應(yīng)同步器統(tǒng)測量方法的測量精度約為2精度為0.1μm出內(nèi)徑尺寸；可用DG8-5A電桿式量儀；角度測量：可用孔盤打2563.5.8微機及數(shù)控技術(shù)應(yīng)用微機控制及補償，采用數(shù)控技術(shù)，可編程控制器。3.5.9環(huán)境控制（1（2）溫度控制：采用恒溫室保證20℃±0.5℃，隔離各部件熱量。4．精度分析4.1加工精度與加工誤差想幾何參數(shù)的符合程度。從兩個不同的角度來評定加工零件的幾何參數(shù)。首先必須明確以下幾點：（1（2）加工精度是零件圖紙或工藝文件以公差T給定的集合參數(shù)，而加工T證了加工精度。（3）零件三個方面的幾何參數(shù)，就是加工精度和加工誤差的三方面的內(nèi)差范圍，就能保證零件的加工精度要求和工作要求。4.2原始誤差零件加工精度主要取決于工件和刀具在切削過程中相互位置的準(zhǔn)確統(tǒng)的誤差是“因，是表現(xiàn)。因此，把工藝系統(tǒng)的誤差稱之為原始誤差。4.3機床的幾何誤差機床誤差是最基本的