玻璃薄化工藝介紹及不良案例分析內容1.化學薄化設備介紹2.化學薄化工藝介紹3.主要不良案例分析一、化學薄化設備介紹設備組成：Loader單元預清洗單元蝕刻單元清洗單元干燥單元Unloader單元洗氣裝置供酸裝置溫度控制器HF酸濃度計化學薄化設備實圖二、化學薄化工藝介紹1.反應時間與玻璃質量損失的關系（注：圖表中所研究玻璃為石英玻璃）圖1.反應時間與玻璃質量損失之間的關系2.反應速率與反應溫度的關系圖2.玻璃在HF酸中反應速率與反應溫度之間的關系3.反應速率與HF酸濃度的關系圖3.玻璃在HF酸中反應速率與HF酸濃度之間的關系25℃時不同濃度HF酸中各組分的濃度(mol/l)[HF]tCompositionH+

HF2-

(HF)2

F-

HF1.40.02820.01810.46860.01010.41662.790.03960.02891.04910.01080.62335.580.05580.04462.28030.01130.9198.40.06840.05693.5630.01151.148811.230.0790.06734.87040.01171.343122.50.11150.099610.17390.01191.9412說明反應速率與(HF)2的濃度有很大的相關性，是HF酸溶液中的最主要活性成分，因為以氫鍵形式存在的H－F鍵比HF分子中的H－F鍵更脆弱，與SiO2反應時更容易斷裂。三、主要薄化不良案例分析1.不可擦拭臟污臟污區域正常區域可判定不可擦拭臟污在蝕刻過程中產生結論：薄化前的玻璃表面品質直接決定薄化后玻璃表面品質為什么局部蝕刻速率不一致為什么不是所有玻璃表面都是玻璃成分為什么膠類物質未被清除為什么局部表面不平整為什么產生不可擦拭臟污因為玻璃表面不是所有區域都是玻璃成分因為玻璃被蝕刻時局部蝕刻速率不一致因為玻璃薄化時局部表面不平整清除不徹底、臟污漏擦拭薄化前玻璃表面有膠類物質未被清除測量系統環境材料工藝方法設備人檢查方法檢查工具溫度照度濕度膠的黏度無塵布去污性能X3無塵布更換頻度X2擦拭方法X1工作技能識別臟污能力清潔度工具產生臟污接觸位置酒精濃度X4接觸次數2.薄化表面不勻薄化表面不勻產生原因：1.Conveyer故障處理故障必須先停止蝕刻液供應，必將造成玻璃表面藥液殘留，繼續與玻璃進行蝕刻速率不一致的反應。形成水波紋狀表面不勻2.瀑布流分叉（瀑布流蝕刻方式）瀑布流平臺由于蝕刻后反應物堆積造成分叉，玻璃傳送至分叉位置時蝕刻速率降低造成局部不平整。3.Nozzle堵塞（噴淋式蝕刻方式）Nozzle堵塞造成玻璃局部蝕刻液更新不及時，間接降低藥液濃度，從而降低蝕刻速率，形成表面不勻。薄化表面不勻對顯示的影響光線透過玻璃表面，在表面不勻處形成折射，造成光的垂直分量減弱，與周圍正常相比產生亮度的差異。薄化表面不勻改善方向（以瀑布流蝕刻方式為例）1.對循環藥液儲罐增加過濾裝置，防止蝕刻產物堆積在瀑布流平臺，造成瀑布流分叉。2.增加瀑布流平臺的保養頻度，及時清理瀑布流平臺的堆積產物。3.調整蝕刻液配方，使部分蝕刻產物溶于蝕刻液中，減少堆積和堵塞。強力推薦!大量電子行業電子企業/工廠方面(涵蓋LCD/LCM/TFT/TP/3D/POL實戰技術）。包括多家著名電子企業的內部管理制度,表格,流程,成本,績效考核,供應鏈,質量管理