真空泵常見問題擴散泵..旋片泵..；現在我們對相關問題進行討論。擴散泵

影響擴散泵性能的因素

1.擴散泵油蒸氣的反流擴散泵油蒸氣的反流可歸結為五種原因：*泵壁表面油膜和油滴的蒸發（如圖1所示）*噴嘴噴出的高速油蒸氣流碰到泵壁后的反射（如圖2所示）*一級噴口表面的油膜及油滴的蒸發（如圖3所示）*噴口邊緣高速油蒸氣流的散射（如圖4所示*室溫下油沿泵壁的表面遷移（爬移)(如圖5所示)

反流示意圖

3.擴散泵油的裂化分解擴散泵油分兩種：礦物油，此種油穩定性及耐氧化能力都較差，在室溫下的飽和蒸氣壓力10-5pa~10-7pa.另一種是硅油，熱穩定性及抗氧化性都較好，室溫下的飽和蒸氣壓力10-6pa~10-8pa.在金屬油擴散泵的鍋爐中，由于高溫.金屬催化作用以及油爆發式沸騰，是高分子的有裂化成低分子的碳氫化合物及輕的氣體(H2.CH4.C2H6等)。這些裂化后的氫和碳氫化合物的蒸汽壓很高，限制了擴散泵的極限真空。此外，機械泵油反流到擴散泵中，也產生分裂物，使擴散泵的真空受到影響。4.真空泵的清潔度清洗不干凈的真空泵，污染物會留在泵中并重復循環，影響泵極限真空。減少油蒸氣的反流1.加擋油帽在第一級噴嘴上面，加水冷擋油帽，通常可使反油量降低半個到兩個數量級。

2.障板使用水冷或低溫介質冷卻的各種擋板，可使反油量大大降低。。3.冷阱使用液態冷阱捕集反流蒸氣。液態冷阱不能把油真氣擋住，仍有少量的油蒸氣分子通過冷阱進入被抽容器中，其途徑有；

1.兩個油分子之間的碰撞；

2.油分子和氣體分子的多次碰撞；

3.沒被捕集的油分子反彈到高真空的區域中；

4.室溫下油從泵壁表面遷移。擴散泵系統采用液態冷阱后可獲得10-8pa~10-9pa

的極限真空

4.吸附阱擴散泵進氣口安裝13X型分子篩或氧化鋁吸附阱吸附反流的油蒸氣后，可以獲得10-8~10-9

真空度。這種阱有如下缺點：

1.吸附劑易粉末化；

2.吸附劑要在活化；

3.需經常更換吸附劑，操作不便。

5.鈦升華阱閥門擴散泵的返流，在泵啟動和停止后的一段時間內有兩個最大峰值，泵運轉時可利用閥門的關閉避開這兩個最大返油區。減少氣體的反擴散反擴散過去的氣體的分壓Pf和擴散泵前級排氣口處該氣體的分壓Pj成正比，即Pf=rPj。降低前級壓力Pj和壓縮比r可以降低Pj。擴散泵的前級再串接一臺擴散泵可以降低前級氣體分壓Pj。采用多級泵（目前多采用四級泵代替原來的三級泵），則可以降低壓縮比r，使返擴散減少。擴散泵結構示意圖滑閥泵及原理其示意圖滑閥泵故障現象及排除方法故障現象

產生原因

排除方法

真空度不高1.油被污染2.密封裝置漏氣3.油管接頭漏氣4.排氣閥片損壞5.排氣閥彈簧斷裂6.個封面漏氣7.泵內零件有幢擊.卡緊.變形8.油路阻塞9.吸入氣體溫度過高10.泵油量不足11.油路組件的小油封漏氣1.打開氣鎮閥運轉1~2小時可恢復泵的極限壓力或調換所有新油2.修理或更換密封裝置3.旋緊螺母4.換新閥片5.換新彈簧6.旋緊螺釘7.修理油閥.導軌.清洗所有零件8.清洗濾油器濾網及油路9.冷卻至常溫10.加油11.修理或更換小郵箱內橡皮版

運行事故1.軸承發熱2.排氣閥和油管發熱1.稍松皮帶或檢查油路是否阻塞，冷卻水是否足夠，泵的軸承潤滑子是否適合2.增加冷卻水量

泵運轉有異常噪聲1.異物落入泵內2.泵零件松動或損壞1.拆開檢查并清除2.檢查調整或更換零件旋片泵及原理其示意圖2.無漏氣聲，開氣鎮閥及換油無效，應檢查閥座上的小油空是否堵塞，小孔的位置：2X-4C泵在閥坐側面，2X-8,15泵在短閥片處月牙槽內，2X-30A，70A在短閥片附近的閥座平面上。3.帶系統后抽不好，有明顯漏氣，接頭.管道或容器有漏氣，應擦找和消除。4.泵未經拆卸清洗，突然出現碰撞聲，真空度下降，可檢查旋片彈簧是否折斷或有無異物進入泵內。泵溫是否太高，旋片緊，活動不暢。5.泵使用日久，真空度下降，可因泵油混入可凝性氣體和泵油裂解變質以及橡膠老化所致，可用換油.換橡膠件方法逐一試驗。6.泵拆洗裝配后，有大漏氣聲，可能是橡膠件裝配不當.順壞，應調整或更換。7.排氣閥片老化變形.順壞或螺釘松脫，會出現異樣排氣和油面的顯著泛動，也會影響真空度，應調整重裝。8.因泵溫太高而使真空度，特別是全壓強降低時，應加強冷卻。9.以上措施無效，無漏氣聲，可能是使用日久，零部件磨損或受腐蝕所致，也可能是轉子變形，精度降低，甚至轉子.旋片等零件損壞，應拆開檢查，修正或調換新零件。10.儀表失真，規管污染，引起誤判，應校準比較，清洗或換新。

噴油.漏油及其消除方法：噴油可因油位過高，油盒.擋油板松脫，裝配不當所致，可逐一檢查。漏油可因油封彈簧脫落.磨損.放油螺塞和墊片損壞，側蓋墊片沒墊好，氣鎮閥停泵后忘關等引起，可檢查調整或調換。羅茨泵及其原理示意圖羅茨泵與滑閥泵旋片泵組合

故障現象

可能原因

排除方法

真空度不高1.管路.系統漏氣。2.泵部分漏氣3.前幾真空漏氣4.潤滑油太臟或牌號不符1.管路.系統檢漏2.泵漏油3.修或換前級泵4.換潤滑油

抽速不足1.管道通導能力下降2.前級抽速不足1.換大管道2.換前級泵擴散泵內部水冷及外形圖擴散泵及水冷示意圖運轉

1.啟動1.1接通冷卻水，確認冷卻水的流量是否達到規定要求。1.2啟動前級泵，當擴散泵泵口壓力<=10Pa后，才能啟動擴散泵加熱電源。1.3泵加熱40~80分鐘后，就進入正常工作狀態。

2.停止2.1先關閉高真空閥門，然后切斷擴散泵電源，前級泵繼續工作。2.2當爐體內部溫度降到

<=60·的時候（用手可以接觸的狀態），可以停止前級真空泵。注意事項

1.像爐體內放氣時，必須在泵油溫度<=60·時進行。油溫度過高，會造成泵油氧化，導致泵性能下降。放氣時請從高真空端放氣，避免損壞泵芯。如果不能從高真空端放氣時，請保證小流量的緩慢放氣。。2.擴散泵在正常運行中遇意外停電.停水時，請按下面步驟處理：

2.1切斷電源

2.2立刻關閉高真空閥門和前級真空閥

2.3將電爐從泵底卸下，并移開。（注意安全，小心燙手！?。。?/p>

2.4像泵底不淋水。注意：（水蒸氣燙人?。?.在停止作業后，擴散泵短期內不使用時，請將泵水冷管道中的水排出管道以外，同時用壓縮空氣將殘余水分吹干，防止水冷管道腐蝕。

4.擴散