ICS7104099

N53..

中華人民共和國國家標準

GB/T28634—2012/ISO224892006

:

微束分析電子探針顯微分析

塊狀試樣波譜法定量點分析

Microbeamanalysis—Electronprobemicroanalysis—

Quantitativepointanalysisforbulkspecimenusingwavelength

dispersiveX-rayspectroscopy

(ISO22489:2006,IDT)

2012-07-31發布2013-02-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T28634—2012/ISO224892006

:

目次

前言…………………………

Ⅰ

引言…………………………

Ⅱ

范圍………………………

11

規范性引用文件…………………………

21

縮略語……………………

31

定量過程…………………

41

實驗報告…………………

56

附錄資料性附錄物理效應和校正…………………

A()8

附錄資料性附錄不同校正方法概述………………

B()9

附錄規范性附錄有化學效應的k比值測量……………………

C()“”10

參考文獻……………………

11

GB/T28634—2012/ISO224892006

:

前言

本標準按照給出的規則編寫

GB/T1.1—2009。

本標準使用翻譯法等同采用微束分析電子探針顯微分析塊狀試樣波譜法定

ISO22489:2006《

量點分析英文版

》()。

本標準做了下列編輯性修改

:

用-6替代

10ppm。

本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標準主要起草單位中國科學院上海硅酸鹽研究所

:。

本標準主要起草人曾毅李香庭吳偉

:、、。

Ⅰ

GB/T28634—2012/ISO224892006

:

引言

電子探針顯微分析已經廣泛應用于材料的化學成分定量分析這是一種有代表性的儀器分析電

。,

子探針儀使用的方便性已經得到了很大改善要用這種有力的工具獲得準確的定量結果需要正確地

。,

使用儀器為了獲得可靠的數據還需要最佳的操作程序例如試樣制備特征射線強度測量和由

。,:、XX

射線強度計算濃度等本標準給出了這些標準操作程序如果應用不正確的定量分析方法會產生錯誤

,。

的結果因此為了獲得準確的結果需要制定定量分析的標準方法

,,。

Ⅱ

GB/T28634—2012/ISO224892006

:

微束分析電子探針顯微分析

塊狀試樣波譜法定量點分析

1范圍

本標準規定了應用電子探針或者掃描電鏡的波譜儀通過電子束與試樣相互作用產

(SEM)(WDS),

生的射線對試樣微米尺度體積內的元素進行定量分析的要求

X。

內容包括

:

定量分析原理

———;

本方法涉及的元素質量分數和標準物質的一般范圍

———、;

儀器的一般要求

———;

有關試樣制備實驗條件的選擇分析測量等的基本過程及報告

———、、。

本標準適用于電子束垂直入射要求定量分析的塊狀試樣表面平滑均勻對儀器和數據處理軟件

,、。

沒有特殊的要求使用者應該從儀器制造廠家獲得儀器安裝條件詳細的操作程序及儀器說明書

。、。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

電子探針分析標準樣品技術條件導則

GB/T4930(ISO14595,IDT)

微束分析能譜法定量分析

GB/T17359—2012(ISO22309,IDT)

波譜法定性點分析電子探針顯微分析導則

GB/T27025—2006(ISO17470:2004,IDT)

檢測和校準實驗室能力的通用要求

GB/T27025—2008(ISO/IEC17025:2005,IDT)

微束分析電子探針顯微分析波譜法實驗參數的測定導則

ISO14594(Guidelinesforthe

determinationofexperimentalparametersforwavelengthdispersivespectroscopy)

3縮略語