-10-10電加熱&水洗LocalScrubberMAT507BWA電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第1頁-10-10www.mat.co.kr2基本規格規格

原理電熱&水洗

尺寸

(W×D×H)720×850×1610mm處理容量500slm加熱室-.2套并行加熱器-.內建式水循環系統-.防腐蝕材料-.防堵塞設計-.自動清潔空氣噴嘴設計-.易于維護應用CVD，Diffusion，Implantation重量大約400Kg(Dry)，450Kg(Wet)電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第2頁-10-10基本規格②①③④⑧⑦⑤⑥No名稱規格1進氣管NW502加熱室INCONEL600+STS310+STS3043中間法蘭法蘭STS304套管STS3104吸收體STS304,Tefloncoating5水洗室STS304,Tefloncoating6水位感應器PVC7噴嘴STS304,Tefloncoating8排氣管STS304,Tefloncoating電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第3頁-10-10燃燒空氣加熱室水洗室Air套管燃燒室內反應H2+1/2O2H2O2C2H2+5O24CO2+2H2OC2H4+3O22CO2+2H2O2NF3N2+3F2水洗室內反應F*,HFandby-productscapturing循環泵排放泵自來水排水口排氣廢氣進口H2,,NF3,C2H2,C2H4處理后氣體排放H2,C2H2,C2H4>99%NF3>90%流程圖電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第4頁-10-10www.mat.co.kr5加熱室4個進氣口2個渦流空氣噴嘴

自動清潔空氣噴嘴-預防粉塵堆積

高防腐蝕材料

2套并行加熱系統-.備用加熱系統-.SiC加熱器-.雙熱傳感器

外部可換式加熱器-.不用打開氣室

對熱隔絕雙層防護加熱室分解圖加熱棒保護套加熱棒

加熱室加熱管電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第5頁-10-10www.mat.co.kr6中間法蘭

已氣流屏障預防從水洗室來濕氣

-.預防粉塵在燃燒室內累積延長P.M.頻率SleeveN2orAir電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第6頁-10-10www.mat.co.kr7水洗室

長氣體通道提供良好水溶性-.雙吸收區域-.高效率-.有效清潔粉塵

兩個目標噴嘴含蓋四個方向

一個自動清洗噴嘴-.可程序化-.液位檢驗

不銹鋼吸收器

電極式液位感知器水洗室1stAbsorberZone2ndAbsorberZone吸收箱吸收器電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第7頁-10-10www.mat.co.kr8第三吸收區第三吸收區供給自來水最終處理區排放循環自來水電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第8頁-10-10www.mat.co.kr9

直式結構防爆之安全設計-.壓力擴張將于水洗室內被緩沖

水洗室之容量三倍大于燃燒室

由上向下流向

預防粉塵堵塞

方型燃燒與水洗室-.有效空間利用-.降低占地面積電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第9頁-10-10www.mat.co.kr10維護簡單輕易維修自動乾/濕艙體分離拆卸設計簡單/快速維修循環泵與管路獨特水洗室與循環系統?降低維修點電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第10頁-10-10www.mat.co.kr11設備拆解-.降低人力需求-.快速清潔時間<3小時-.易于維修

燃燒/水洗自動拆解設備電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第11頁-10-10設備拆卸電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第12頁-10-10www.mat.co.kr13-關鍵問題1:粉塵堆積進氣口AC馬達Y型連接器STS彈簧去除附著在進氣口粉塵移除

機械方式

內部壓力不會下降

簡單彈簧更換

在觸控面板上可更改時間/頻率延長P.M.頻率處理方案1.進氣口清洗系統電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第13頁-10-10www.mat.co.kr14-關鍵問題1:粉塵堆積

高壓CDA

移除燃燒室內粉塵

在觸控面板上可更改時間/頻率延長P.M.頻率處理方案2.清潔空氣噴嘴電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第14頁-10-10www.mat.co.kr15-關鍵問題1:粉塵堆積處理方案3.中間法蘭N2套管SleeveN2orAir

利用空氣屏障將水洗室濕氣隔絕

預防粉塵在干濕交接處產生

延長P.M.頻率SleeveN2orAir電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第15頁-10-10www.mat.co.kr16-關鍵問題1:粉塵堆積處理方案4.清潔水噴頭

粉塵會搜集在水洗室型V底層

高壓水流把粉塵帶出

在觸控面板上可更改時間/頻率

延長P.M.頻率電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第16頁-10-10www.mat.co.kr17

全部濕區表面-.連續性清洗

-.鐵氟龍涂層關鍵問題2:腐蝕

高防腐蝕材料應用于會發生腐蝕處

-.B/C加熱管:Inconel600-.B/CT/C管:Inconel600-.中間法蘭:STS310+鐵氟龍涂層處理方案1.防腐蝕材料電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第17頁-10-10www.mat.co.kr18流程圖SPRSSWaterAirAirRe-cir.Pump1Re-cir.Pump2CleaningWaterSleeveAirSupplyWaterGasInGasOutBurningAirCleaning#1Cleaning#2Cleaning#3InletPressureExhaustPressureFilterBoxPowerDrainPumpCirculationTankPRPressureregulatorFlowmeterSFlowSwitchAutoValveManualValvePressureGaugeCheckValvePumpDrain電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第18頁-10-10廠務ItemSpecMAXAVEConnectionRemarkPowerA/C220V1Phase50AmpereMax:10KW5~6KW14?-4WiresCDA4~7kg/cm2200SLM80SLM3/8”TubeBurningAir+SleeveAirNW3~5kg/cm23L/min3L/min1/2”TubeDrainAcidDrain3L/min3L/min40APVCPipeDrainPort:300mmGasExhaust-50mmH2O~-100mmH2O2m3/min1m3/minNW63FlangeCabinetExhaust-50mmH2O5m3/min5m3/min?100mm電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第19頁-10-10www.mat.co.kr20氣體處理效能規格(%)ChemicalFormulaGasNameTradeNameGasReactionDRE(%)AsH3Arsine

2AsH3+4O2→As2O5+3H2O>99BCl3BoronTrichloride

2BCl3+3/2O2→B2O3+3Cl2>99BF3BoronTrifluoride

2BF3+3/2O2→B2O3+3F2>99B2H6Diborane

B2H6+3O2→B2O3+3H2O>99Cl2Chlorine

WET>99HBrHydrogenBromide

WET>99HClHydrogenChloride

WET>99PH3Phosphine

2PH3+4O2→P2O5+3H2O>99SiH4Silane

SiH4+2O2→SiO2+2H2O>99SiH2Cl2DichlorosilaneDCSSiH2Cl2+3/2O2→SiO2+H2O+Cl2>99Si(OC2H5)4TetraEthylOrthoSilicateTEOS(C2H5O)4Si+12O2→8CO2+SiO2+10H2O>99電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第20頁-10-10廠務成本廠務成本因各項目單價不一樣而有所變動

UtilitycostNo廠務消耗單位單價(US$)單位年費用(US$)1電力5KW50KW/H

1,8562水3LPM220?

2943CDA80LPM10?

3564

廠務年運轉成本US$

2,506電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第21頁-10-10消耗品費用

消耗品No品名數量單價(US$)單位使用壽命年消耗年費用(US$)1加熱棒6

212EA2年4.5

9532O型圈2

42EA6個月4

1693吸收器8

85Kg4年2.5

2124循環泵2

424EA2年1

4245

6

每年消耗品費用總計US$

1,758電熱水洗scrubberbwa尾氣處理器第22頁-10-10非消耗品費用

非消耗品No品名數量單價(US$)單位使用壽命總費用年費用(US$)1燃燒室1

3,390EA3years

3,390

1,1302水洗室1