目錄

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硅片生產與加工設備市場狀況 4

我國大硅片產線的設備采購情況 7

項目A：上海某大硅片產線 7

項目B：中環領先 11

硅片生產與加工設備國產化 15

圖表目錄

圖表1.大硅片處于半導體產業鏈上游 4

圖表2.大硅片生產與加工工藝及主要設備廠家 5

圖表3.全球主要大硅片生產與加工設備廠商經營情況 5

圖表4.ASML、KLA、AppliedMaterials等三季度收入企穩回升 6

圖表5.上海某大硅片產線設備配置 7

圖表6.上海某大硅片產線設備國產化程度 7

圖表7.上海某大硅片產線設備國產化率 8

圖表8.上海某大硅片產線長晶爐的競爭格局 8

圖表9.上海某大硅片產線研磨設備的競爭格局 9

圖表10.上海某大硅片產線拋光機的競爭格局 9

圖表11.上海某大硅片產線切割設備的競爭格局 10

圖表12.上海某大硅片產線清洗設備的競爭格局 10

圖表13.上海某大硅片產線檢測設備的競爭格局 11

圖表14.中環領先大硅片產線設備配置情況 11

圖表15.中環領先大硅片產線設備國產化程度 12

圖表16.中環領先大硅片產線設備國產化率 12

圖表17.中環領先大硅片產線減薄設備的競爭格局 12

圖表18.中環領先大硅片產線拋光機的競爭格局 13

圖表19.中環領先大硅片產線切割設備的競爭格局 13

圖表20.中環領先大硅片產線檢測設備的競爭格局 14

圖表21.國內主流大硅片產線設備國產化率對比 15

圖表22.國內主流大硅片產線的國產設備廠商進入情況 15

圖表23.晶盛機電在半導體設備領域的全面布局 16

圖表24.晶盛機電各類半導體設備進入產線情況 16

圖表25.報告中提及上市公司估值表 17

硅片生產與加工設備市場狀況

大硅片屬于集成電路的主要材料之一，處于半導體產業鏈的上游。圖表1.大硅片處于半導體產業鏈上游

資料來源：中微公司招股說明書，中銀國際證券

硅片生產與加工工藝流程：長晶→端點去除與直徑研磨→晶圓切片→研磨→清洗→拋光→清洗→檢測等。我們這里主要探討長晶爐、研磨設備、拋光機、檢測、切割設備等。

圖表2.大硅片生產與加工工藝及主要設備廠家

資料來源：中銀國際證券

全球硅片生產與加工設備供應商，主要來自日本，如日本的Ferrotec、ACCRETECH、TOKYOSEIKI、OkamotoMachine、DAITRON等，其他設備供應商來自美國、德國、匈牙利、韓國等，國內企業包括晶盛機電和南京晶能等。

圖表3.全球主要大硅片生產與加工設備廠商經營情況

硅片生產與加工設備

半導體業務收入

增速

總收入

其他業務

國家

Ferrotec

長晶爐

5億美元

20%

8.1億美元

電子設備、光伏等

日本

ACCRETECH

邊緣研磨機

6.3億美元

16%

9.1億美元

FPD設備

日本

TOKYOSEIKI 外徑研磨機、邊緣研磨機、 精密儀器 日本最終拋光機、晶棒切斷機

OkamotoMachine 拋光機、減薄機、研磨 3.26億美元玻璃基板拋光設備，太陽能發電用的錠日本處理設備和切片機

DAITRON 邊緣研磨機、切割機 5.63億美元電子機器、有源和無源元件、機電元件日本面板設備

光洋機械工業株式會社

雙面減薄機 磨床、精密機器，工業自動化系統 日本

LapmasterWolters 雙面拋光機 德國

檢測機、分選機

Semilab

近表面電阻率量測儀、鐵金屬量測儀、薄膜分析與基底

測試儀等

光伏電池測試、面板測試等

匈牙利

KLA

平坦度檢測機、微粒檢測機

41億美元

45.7億美元

自動化、面板

美國

Disco

全自動減薄機、拋光機

11億美元

13.3億美元

半導體設備占90%

日本

不二越

全自動拋光機等

<1.4億美元

-5%

22.2億美元

機器人、軸承、液壓部件等

日本

梅耶博格

線切割機

4.3億美元

光伏設備

瑞士

晶盛機電

單晶爐

RMB25億元

光伏設備

中國

南京晶能

單晶爐

中國

KOBELCO研究所 表面粗糙度量測儀、翹曲度

平板顯示、太陽能組件、 日本

資料來源：各公司公告，中銀國際證券

全球半導體行業強勢復蘇。我們統計7家全球半導體設備上市企業，三季度收入142億美元，環比增長10%，是連續四個季度負增長后首次恢復環比正增長，同比下降6%，下滑幅度較一、二季度明顯收窄。展望四季度，ASML預計收入將環比大幅增長30%，而Lam、KLA、Teradyne等預計第四季度收入環比正增長。

圖表4.ASML、KLA、AppliedMaterials等三季度收入企穩回升

AMAT

-

ASML

40.00

20.00

LAM

60.00

KLA

100.00

80.00

TER

120.00

TEL

160.00

140.00

DISCO

180.00

全球部分半導體設備龍頭上市公司單季度收入（億美元）

資料來源：各公司公告，中銀國際證券

我國大硅片產線的設備采購情況

項目A：上海某大硅片產線

根據中國國際招標網，我們公開累計采購240多臺設備，其中數量最多的是檢測設備56臺，其次是拋光設備、研磨設備，而拉晶爐16臺。

圖表5.上海某大硅片產線設備配置

資料來源：中國國際招標網，中銀國際證券

我們按數量統計的國產化率為8%，不包含輔助設備口徑下的國產化率為3%，分產品統計：

長晶爐、清洗設備國產化率為13%；

切割、拋光、研磨、檢測等國產化率接近為零。

國產設備主要是晶盛機電的外徑研磨機、盛美的最終清洗機、南京晶能半導體的長晶爐，其他包括蘇州華林科納的拋光液供應控制系統，丹東新東方晶體儀器有限公司的晶棒方向測定和黏附機。

拉晶爐

切割/截斷

研磨

拋光

清洗

檢測

熱處理

刻蝕

輔助設備

合計

國內設備 2

0

1

0

2

0

0

1

14

20

國產化率 13%

0%

3%

0%

13%

0%

0%

33%

39%

8%

國外設備 14

19

36

49

14

56

9

2

22

221

進口品牌 88%

100%

97%

100%

88%

100%

100%

67%

61%

92%

圖表6.上海某大硅片產線設備國產化程度

份額

資料來源：中國國際招標網，中銀國際證券

圖表7.上海某大硅片產線設備國產化率

資料來源：中國國際招標網，中銀國際證券

長晶爐主要采購韓國S-Tech，另2臺采購南京晶能。圖表8.上海某大硅片產線長晶爐的競爭格局

資料來源：中國國際招標網，中銀國際證券

研磨設備包括邊緣研磨、雙面研磨、外徑研磨等，基本上邊緣研磨、雙面研磨各占1/2。研磨設備95%來自日本，其中1/3來自東京工程，1/4來自光洋機械，1/9來自東京精機。晶盛機電于2018年供應1臺外徑研磨設備，應用材料2018年供應1臺CMP。

圖表9.上海某大硅片產線研磨設備的競爭格局

資料來源：中國國際招標網，中銀國際證券

拋光設備包括邊緣拋光、雙面拋光、最終拋光，邊緣拋光占16%，雙面拋光占55%，最終拋光占29%。拋光設備55%來自德國的Lapmaster，45%來自日本的BBS金明、OKAMOTO、東京精機、日本MICRO。該大硅片產線上無國產拋光設備。

圖表10.上海某大硅片產線拋光機的競爭格局

資料來源：中國國際招標網，中銀國際證券

切割設備包括線切割機、晶棒切斷機。切割設備都來自進口品牌，其中84%來自梅耶博格（瑞士），KOMATSUNTCLTD占11%，東京精機占5%。無國產切割設備。

圖表11.上海某大硅片產線切割設備的競爭格局

資料來源：中國國際招標網，中銀國際證券

清洗設備包括晶盒清洗、拋光前后清洗、最終清洗、切割后清洗。清洗設備88%來自日本和韓國，其中韓國ASE占38%，日本SEMICONCREATEDCORP占31%，芝浦機械展13%。國產清洗設備包括盛美半導體1臺，蘇州華林科納1臺。

圖表12.上海某大硅片產線清洗設備的競爭格局

資料來源：中國國際招標網，中銀國際證券

檢測設備包括邊緣檢測機、表面粗糙度量測儀、近表面電阻率量測儀、目視檢測機、拋光后檢驗機、平坦度檢測機、翹曲度檢測機、鐵金屬量測儀等。檢測設備34%來自KLA，12%來自匈牙利的Semilab，KOBELCO研究所和RAYTEX分別占比11%和9%，其他包括應用材料、Agilent等。無國產的檢測設備。

圖表13.上海某大硅片產線檢測設備的競爭格局

資料來源：中國國際招標網，中銀國際證券

項目B：中環領先

根據中國國際招標網，我們公開累計采購270臺設備，其中數量最多的是長晶爐、拋光設備和檢測設備，均為30-50臺。

圖表14.中環領先大硅片產線設備配置情況

資料來源：中國國際招標網，中銀國際證券

我們按數量統計的國產化率為18%，具體看：

設備對日本依賴程度高達50%，其他進口設備from德國、韓國、美國；

長晶爐：晶盛機電于2018年拿到3.6億元長晶爐訂單，根據單價估計長晶爐約35-40臺，實現長晶爐國產化率70%-80%；

截斷/切割：晶盛機電2018年拿到0.4億元一體機和切割設備訂單，我們估計切割設備約5-10臺，實現國產化率20%-30%；

國產化率為0%的設備：研磨、倒角機、清洗、檢測等設備全部依賴于進口品牌。

圖表15.中環領先大硅片產線設備國產化程度

長晶爐 切割 研磨/減薄

倒角機拋光 清洗 檢測 熱處理 CVD 輔助 合計

國內設備 ~40 5-10 2 ~50

國產化率 77% 26% 33% 18%

國外設備 12 20 26 22 43 22 48 4 6 18 221

進口品牌 23% 74% 100% 100% 100% 100% 100% 67% 100% 100% 82%

份額

資料來源：中國國際招標網，中銀國際證券

圖表16.中環領先大硅片產線設備國產化率

90%

80%

70%

60%

50%

40%

30%

20%

10%

0%

長晶爐 切割 研磨 減薄 倒角機 拋光 清洗 檢測 熱處理 CVD 輔助 合計

資料來源：中國國際招標網，中銀國際證券

減薄設備包括單面減薄機、雙面減薄機、全自動減薄機；合計采購了15臺。減薄設備100%來自日本，其中3/4來自迪斯科，1/5來自光洋機械，7%來自OKAMOTO（岡本機械）。減薄設備中暫無國產設備。

圖表17.中環領先大硅片產線減薄設備的競爭格局

資料來源：中國國際招標網，中銀國際證券

拋光設備包括邊緣拋光、雙面拋光、最終拋光，邊緣拋光占23%，雙面拋光占42%，最終拋光占35%。拋光設備37%自德國的Lapmaster，21%來自日本的BBS金明，17%來自日本的不二越，10%來自日本OKAMOTO。該大硅片產線上無國產拋光設備。

圖表18.中環領先大硅片產線拋光機的競爭格局

資料來源：中國國際招標網，中銀國際證券

切割設備中，進口品牌20臺，包括KOMATSUNTCLTD.、Daitron、ToyoAdvancedTechnologies。國產品牌中，晶盛機電去年年中中標的0.4億元中，包括若干臺切割設備。

圖表19.中環領先大硅片產線切割設備的競爭格局

資料來源：中國國際招標網，中銀國際證券

檢測設備包括邊緣輪廓儀、平坦度檢測儀、外延膜厚檢測儀、金屬檢測儀、自動四探針測試儀、硅片表面缺陷檢測儀、表面顆粒檢測、外延電阻率測試儀等。檢測設備46%來自KLA，13%來自德國的E+HMetrology，10%來自匈牙利的Semilab，10%來自KOBELCO研究所。無國產的檢測設備。

圖表20.中環領先大硅片產線檢測設備的競爭格局

資料來源：中國國際招標網，中銀國際證券

硅片生產與加工設備國產化

我們統計上海某大硅片的設備國產化率為8%，中環領先的設備國產化率為18%，但國產的減薄設備、倒角機、拋光設備、檢測設備均處于空白狀態。

拉晶爐切割/截研磨

減薄

倒角機

拋光

清洗

檢測

熱處理

刻蝕/CVD

輔助

合計

上海某大硅

片的設備國 13% 0% 3%

產化率

13%

33%

39%

8%

中環領先的

設備國產化 77% 26%

33%

18%

圖表21.國內主流大硅片產線設備國產化率對比

斷

率

備注

無國產設備

無國產無國產

設備

設備

無國產設備

資料來源：中國國際招標網，中銀國際證券

國產設備廠商中，長晶爐以南京晶能、晶盛機電為主，切割、拋光等以晶盛機電為主，研磨以晶盛機電為主，清洗設備廠商包括盛美、蘇州華林科納。

圖表22.國內主流大硅片產線的國產設備廠商進入情況

拉晶爐切割/截斷研磨 減薄 倒角機 拋光 清洗 檢測熱處理 刻蝕 輔助

/CVD 設備

上海某大硅片國產設備

中環領先國產設備國產

南京晶能 晶盛

半導體 機電

晶盛機電晶盛機電

盛美、蘇州華林科納

蘇州華蘇州林科納華林

科納

資料來源：中國國際招標網，中銀國際證券

晶盛機電：加快在大硅片設備的布局

承擔國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”項目的“300mm硅單晶直拉生長裝備的開發”和“8英寸區熔硅單晶爐國產設備研制”兩項課題，已進入產業化階段；

晶盛機電于2017年和美國Revasum公司就200mm硅片拋光設備達成合作共識，2018年向市場正式推出8英寸拋光機；

成功研發6-12英寸晶體滾圓機、截斷機、雙面研磨機及6-8英寸全自動硅片拋光機，已逐步批量銷售；2018年公告新訂單4-5億元；

逐步布局半導體相關輔材、耗材、關鍵零部件業務，增加了半導體拋光液、閥門、磁流體部件、

16-32英寸坩堝等新產品；

參與投資無錫集成電路大硅片生產項目，引進國外先進設備，強化在高端精密加工領域的技術實力，建立技術和產品質量領先的大型高真空精密零部件制造基地。

圖表23.晶盛機電在半導體設備領域的全面布局

長晶爐

耗材、關鍵

零部件

晶體滾圓機

全自動硅片

拋光機

截斷機

雙面研磨機

資料來源：公司公告，中銀國際證券

晶盛機電的半導體客戶，包括中環領先、上海新昇、有研材料、西安奕斯偉、金瑞泓、鄭州合晶等，目前主要是晶盛機電和山東有研材料貢獻較大的訂單。

圖表24.晶盛機電各類半導體設備進入產線情況

長晶爐 切割 研磨/滾磨 拋光 其他中環項目 3.6億元 0.4億元

上海新昇 外徑研磨機（1