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文檔簡介

1、壓阻式壓力傳感器測量壓力特性實驗基本原理：擴散硅壓阻式壓力傳感器的工作機理是半導體應變片的壓阻效應，在半導體受力變形時會暫時改變晶體結構的對稱性，因而改變了半導體的導電機理，使得它的電阻率發生變化，這種物理現象稱之為半導體的壓阻效應 。一般半導體應變采用N型單晶硅為傳感器的彈性元件，在它上面直接蒸鍍擴散出多個半導體電阻應變薄膜（擴散出P型或N型電阻條）組成電橋。在壓力（壓強）作用下彈性元件產生應力，半導體電阻應變薄膜的電阻率產生很大變化，引起電阻的變化，經電橋轉換成電壓輸出，則其輸出電壓的變化反映了所受到的壓力變化。下圖為壓阻式壓力傳感器壓力測量實驗原理圖。12需用器件與單元：主機箱中的氣壓表

2、、氣源接口、電壓表、直流穩壓電源15V、2V10V（步進可調）；壓阻式壓力傳感器、壓力傳感器實驗模板、引壓膠管。下圖為主機箱圖。34實驗步驟1、按示意圖安裝傳感器、連接引壓管和電路：將壓力傳感器安裝在壓力傳感器實驗模板的傳感器支架上；引壓膠管一端插入主機箱面板上的氣源的快速接口中（注意管子拆卸時請用雙指按住氣源快速接口邊緣往內壓，則可輕松拉出），另一端口與壓力傳感器相連；壓力傳感器引線為4芯線(專用引線)，壓力傳感器的 1端接地，2端為輸出Vo，3端接電源4V，4端為輸出Vo。具體接線見下圖。5壓阻式壓力傳感器測壓實驗安裝、接線示意圖62、將主機箱中電壓表量程切換開關切到2V檔；可調電源2V1

3、0V調節到4V檔。實驗模板上RW1用于調節放大器增益、RW2用于調零，將RW1調節到的13位置(即逆時針旋到底再順時針旋3圈)。合上主機箱電源開關，仔細調節RW2使主機箱電壓表顯示為零。3、合上主機箱上的氣源開關，啟動壓縮泵，逆時針旋轉轉子流量計下端調壓閥的旋鈕，此時可看到流量計中的滾珠在向上浮起懸于玻璃管中，同時觀察氣壓表和電壓表的變化。4、調節流量計旋鈕，使氣壓表顯示某一值，觀察電壓表顯示的數值。5、仔細地逐步調節流量計旋鈕，使壓力在2kPa18kPa之間變化（氣壓表顯示值），每上升1kPa氣壓分別讀取電壓表讀數，將數值列于表中。7如果本實驗裝置要成為一個壓力計，則必須對電路進行標定，方法采用逼近法：輸入4kPa氣壓，調節Rw2（低限調節），使電壓表顯示0.3V(有意偏小)，當輸入16kPa氣壓，調節Rw1（高限調節）使電壓表顯示1.3V(有意偏小)；再調氣壓為4kPa，調節Rw2（低限調節），使電壓表顯示0.35V(有意偏小)，調氣壓為16kPa，調節Rw1（高限調節）使電壓表顯示1.4V(有意偏小)；

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