1、2IC芯片機(jī)械手構(gòu)造本設(shè)計(jì)自動(dòng)化機(jī)械手由XY軸直線導(dǎo)軌組、Z&PITCHERS珠絲桿副等機(jī)械部分組成。主要作用是達(dá)成IC芯片的吸放，機(jī)械手搬動(dòng)吸起和放下芯片到設(shè)定的地點(diǎn)，達(dá)成芯片的測(cè)試工作。這種機(jī)械手的主要作用是上下料，這里的料是IC芯片，在運(yùn)動(dòng)的過程中，把IC芯片放在設(shè)定的位置，達(dá)成好操作。這種機(jī)械手也叫PickandPlace。機(jī)械手對(duì)地點(diǎn)的精準(zhǔn)要求較高，控制信號(hào)要求比較牢固。機(jī)械手的控制主假如電動(dòng)平易動(dòng)。電動(dòng)使馬達(dá)帶動(dòng)直線導(dǎo)軌組XY兩個(gè)方向搬動(dòng)（其中X方向?yàn)榫€性馬達(dá)，丫方向?yàn)樗欧R達(dá)）搬動(dòng)到合適的地點(diǎn)。Z方向是電動(dòng)馬達(dá)平易缸有機(jī)的組合達(dá)成機(jī)械手的吸放料操作，馬達(dá)控制整個(gè)裝置體的上下動(dòng)作，

2、每個(gè)氣缸則能夠獨(dú)自的控制每個(gè)吸頭的上下，真空發(fā)生器產(chǎn)生真空和吹氣，用來吸起芯片和放下芯片。機(jī)械手對(duì)機(jī)械搬動(dòng)地點(diǎn)精準(zhǔn)度要求較高，地點(diǎn)不正確，芯片吸起放下的地點(diǎn)不理想，簡(jiǎn)單破壞芯片。機(jī)械手對(duì)氣路的要求很高，真空和吹氣的大小直接影響芯片可否實(shí)時(shí)的吸起和放下。由于生產(chǎn)工藝和制程的不斷發(fā)展，IC芯片的線寬由原來的56nm-43nm-32nm,進(jìn)而使得IC芯片所能夠承受的外在物理負(fù)載（20N）越來越小，進(jìn)而對(duì)機(jī)械手的要求更為的苛刻，保持必要的機(jī)械緩沖成為必要，詳見（圖2-1）PitcherCylinderASSY。圖2.1拾取機(jī)構(gòu)總成IC芯片機(jī)械手構(gòu)造圖圖22IC芯片機(jī)械手丫向同步軸構(gòu)造圖I-內(nèi)六角螺栓M

3、3X0.5_82丫軸PULLEY鎖緊裝置3?Y軸Pulley鎖緊斜楔4?Y軸Pulley5-Y軸同步帶軸（20）6-Y軸軸承支架027?Y軸軸承支架018深溝球軸承5902ZKYK9深溝球軸承5902ZKYK10內(nèi)六角螺栓M4X0.7_6II-丫軸支架18A黑約圖2.3IC芯片機(jī)械手丫向馬達(dá)構(gòu)造圖12內(nèi)六角螺栓M3X0.5_813-Y軸馬達(dá)鎖緊裝置丫軸馬達(dá)鎖緊斜楔15內(nèi)六角螺栓M5X0.8_1216丫軸馬達(dá)PULLEY17-Y軸馬達(dá)支架18?丫軸馬達(dá)支架連結(jié)塊19內(nèi)六角螺栓M3X0.5_820?丫軸馬達(dá)一SGM_04A31229303233圖2.4IC芯片機(jī)械手Z&PITCHER_O構(gòu)造圖21

4、?Z軸馬達(dá)同步帶軸連結(jié)器22-Z軸馬達(dá)同步帶軸23-Z軸馬達(dá)同步軸支架24-Z軸馬達(dá)-SGM-01A31225-滾珠絲桿同步帶軸26-滾珠絲桿同步帶軸連結(jié)器27滾珠絲桿副支持裝置裝置體28滾珠絲桿副滑塊29滾珠絲桿副滑塊支架30滾珠絲桿副主軸GTR0808AC5T-14031?Z軸主支架32直線導(dǎo)軌IKOLWL12B02_12033-直線導(dǎo)軌滑塊IKOLWL12B02圖2.5IC芯片機(jī)械手Z&PITCHER_02吉構(gòu)圖34-PICKER37-PICKER上下支架0135直線導(dǎo)軌滑塊氣缸支架38-PICKER氣缸一IKOLWLC9B0136-Pitcher導(dǎo)向滑輪FESTOKDPK?6?5?P?

5、T3C39?PICKER緩沖裝置40PITCHEF馬達(dá)支撐板41直線導(dǎo)軌滑塊IKOLWLC9B01Whole200mm42-PICKE上下支架02圖2.6IC芯片機(jī)械手Z&PITCHER_O構(gòu)造圖43直線導(dǎo)軌THKRSR9ZM01_114mm44內(nèi)六角螺栓M3X0.5J545直線導(dǎo)軌滑塊THKRSR9ZM014-PitcherCAM47-PITCHER滾珠絲桿支架PITCHER滾珠絲桿同步帶軸鎖緊裝置49-PITCHER滾珠絲桿同步帶軸PITCHE田達(dá)SGMM-A2C3YK115PITCHEF馬達(dá)支架52-PITCHEF4850-馬達(dá)同步帶軸鎖緊裝置53-PITCHER馬達(dá)同步帶軸54-PITCHER滾珠絲桿副主軸GTR0808AC5T-15055-PITCHERS珠絲桿畐IJ滑塊GTR0808AC5T-15056?PITCHER滾珠絲桿畐寸滑塊支架57-PITCHERMOTORCAW圖2.7IC芯片機(jī)械手Pitcher氣缸支架構(gòu)造圖圖2.8IC芯片機(jī)械手滾珠絲桿構(gòu)造圖58滾珠絲桿副主軸GTR0808AC5T