1、第 第 1 頁 共 5 頁涂膠工藝爭辯試驗目的1、學會勻膠臺的使用；試驗儀器勻膠臺試驗步驟涂膠的質量要求是：膠與粘附良好，不能有膠脫落現象；涂層厚度均勻全都，不能有厚有薄，否則會在顯影，刻蝕時會消滅圖形缺陷；涂層外表狀態不能有條紋，針孔，突起等缺陷。涂膠方法有浸涂，甩涂，輥涂等，其中輥涂的涂覆質量好于其它兩種，它是通過膠輥將光刻膠均勻的涂在玻璃上。為保223，60%，并在不含紫外光成分的黃燈條件下進展操作。2.前烘前烘的目的是促使膠膜內溶劑充分揮發，使膠膜枯燥以增加膠膜與外表的粘附性和膠膜的耐磨 在暴光時，才能充分進展光化學反響。前烘方式有兩種，一種是在恒溫枯燥箱中烘干；另一種是用紅外爐烘干。

2、影響前烘質量的主要影時會顯不出圖形或圖形留有底膜。光刻機使用及光刻工藝爭辯試驗原理的圖形越來越簡單，周密度越來越高，光刻技術就顯得特別重要。ITOITO試驗目的3、學會光刻機的使用；刻質量的測定。試驗儀器試驗步驟曝光曝光就是在涂好光刻膠的玻璃外表掩蓋掩摸板，通過紫外光進展選擇性照耀，使受光照部位的光臺定位銷使版的對位標記滿足要求。顯影顯影就是將感光局部的光刻膠溶除，留下未感光局部的膠膜從而顯示所需要的圖形，顯影過程是ITOITO暴光的光刻膠會被從邊緣向里鉆溶，使圖形邊緣變差，再嚴峻會使光刻膠大片剝落形成脫膠。堅膜由于顯影時間刻膠膜發生軟化，膨脹，影響膠膜的抗蝕力量，因此顯影后必需用適當溫度烘烤

3、玻3.去膜和清洗擦洗玻璃以保證將玻璃上殘膠去除凈；清洗是用高純水沖洗玻璃上殘留堿液同時沖洗殘膠。光刻質量分析光刻工藝是格外周密和細致的工作，影響光刻工藝的因素是多方面的簡單的。要想到達預期效時間過長，或光刻膠配置有誤陳舊不純，前烘時間缺乏或過度，暴光缺乏光硬化反響不徹底，顯影時塵污染，光刻膠涂敷太薄，暴光時間未把握好，腐蝕液配置不當，產生小島的緣由有掩摸板不好，顯影不徹底，刻蝕液不純等。本試驗應嚴格依據操作規程進展，遵守試驗規章，并在指導教師指導下進展。ITO試驗目的ITO 玻璃的刻蝕對于平ITO試驗要求：利用三種不同濃度的酸對ITO 玻璃進展刻蝕，觀看刻蝕效果，進展比照，得出結論，完成試驗報

4、告試驗原理比等優點。但相對于干式蝕刻，濕式蝕刻仍有以下的缺點：1) 需花費較高本錢的反響溶液及去離子水；2)3)掩蓋物附著性問4)5)1)料之外表；2) 蝕刻液與待蝕刻材料發生化學反響； 3) 反響后之產物從蝕刻材料之外表液與待蝕刻物外表的接觸，并在蝕刻過程中予于攪動以加速氣泡的脫離。在該試驗中ITO將其置于肯定濃度的鹽酸中，經過肯定時間后取出，就可得到所需圖形就保存下來。試驗步驟：1、6：4鐵，增加刻蝕液的氧化力量。配好待用。2ITOITO、 刻蝕。將貼好膠帶的ITO室溫下間后取出。并記錄刻蝕時間下的刻蝕效果，分析緣由。清洗和枯燥工藝試驗目的：載波片的外表的清洗過程，把握清洗的方法，清洗的原

5、理以及學會利用一些清洗設備進展清洗。清洗與枯燥的原理：是光刻上藝會產生浮膠，鉆刻，圖形不清楚等，因此玻璃必需經過十燥處理。關系：油污類有機清洗，紫外光清洗有機物弱堿液清洗，等離子體無機物弱酸，氣流，噴淋殘留微粒子超聲，噴淋，氣流有機溶劑去污原理:(去除油脂類物質)油脂不溶于水，但它可溶于甲苯，丙酮，乙醇等有機溶劑，其中甲苯的去污力量最強，所以先用甲苯洗，但甲苯不能殘留在玻璃的外表。因甲苯可溶于丙酮，可再用丙酮進展清洗，把剩余的油脂清洗掉，同時甲苯也溶解，同樣丙酮也不能夠殘留在玻璃外表，因丙酮溶于乙醇，所以連續用乙醇進展清洗，乙醇可以與水相溶解，最終用大溶原理)如把油和水混在一起震蕩，不能得到穩

6、定的乳濁液，靜置后便分層。假設把油，水和洗潔精混在一起震蕩，則油便以細小液滴分散在水中而成為穩定的乳濁液，長期靜置也難以分層，洗潔精就是通過這種乳化作用，將油脂保包圍在水中而形成乳濁液來到達去污作用，然后在用大量的自來水，去離子水沖洗，就可到達干凈玻璃外表的目的。2空化核在聲場的作用下震驚，當聲壓到達肯定值時，氣泡將快速增長。然后突然閉合。在閉合時產生沖擊波，在其四周產生上千個大氣壓的壓力。破壞不溶性污物，而是他們分散在清洗液中。蒸氣型空化對污層的直接反復沖擊，一方面破壞污物與清洗體外表的吸附，另一方面也會引起污物層的疲乏破壞而與工件外表脫離，氣體型氣泡的震驚對固體外表進展擦洗，氣體一旦有縫可

7、鉆，氣泡還能快速鉆入裂縫中作震驚，使污層脫落。由于超聲空化作用，兩種液體在界面快速分散而乳化。當固體粒子被油污包著而粘附在清洗體外表時，油被乳化，固體粒子即行脫落枯燥的方法有如下幾種：時空氣的凈化度與水的純度要求較高)甩干法:通過離心枯燥器來到達枯燥玻璃外表的目的(TN 型)的空氣以適當的傾斜角成刀片狀吹向玻璃外表，迅即吹干玻璃。本次試驗承受紅外烘干箱進展烘干。試驗內容試驗任務試驗要求試驗步驟超聲清洗機的使用及超聲清洗原理清洗用品的洗滌原理把握清洗的工藝方法及烘干方法能對玻璃進展清洗，對清洗質量進展評價，分析緣由。的質量，分析緣由，形成報告載波片主要用于鍍ITO洗過程如下：35中間換水用洗潔精稀溶液約 3%超聲清洗 3 次，每次 5 分鐘；555%HCL5555553烘干。將洗凈的載波片致于紅外烘干爐中，烘干 30 分鐘左右，取出(7)8步.將清洗過的載波片保存好，以用于下一步試驗。有機電致發光器件制備試驗目的：1、生疏真空鍍膜的原理，過程；2OLED 器件制備系統；試驗要求：性能參數設計。試驗原理：真空鍍膜技術是一種穎的材料合成與加工的技術，是外表工程技術領域的重要組成局部。損、耐高溫、耐腐蝕、抗氧化、防輻射、導電、導 磁、絕緣和裝飾等很多優于固體材料本身的優越技術被譽為最具進展前途的重要技術之一 ，并已在高技術產業化的進展中呈現出迷人的市場前景。試驗設備：OLED器件制備系統