1、會(huì)計(jì)學(xué)1mems光開關(guān)光開關(guān)MEMS光開關(guān)的研究背景光開關(guān)的研究背景1光開關(guān)以及MEMS光開關(guān)的概念2MEMS光開關(guān)的分類及原理光開關(guān)的分類及原理3MEMS光開關(guān)的應(yīng)用4第1頁/共25頁第2頁/共25頁- 光開關(guān)第3頁/共25頁 MEMS光開關(guān)第4頁/共25頁MEMS光開關(guān)的基本原理第5頁/共25頁MEMS光開關(guān)的基本組成第6頁/共25頁MEMS光開關(guān)的驅(qū)動(dòng)方式第7頁/共25頁平行板電容靜電驅(qū)動(dòng)第8頁/共25頁梳狀靜電驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)第9頁/共25頁 電磁驅(qū)動(dòng)第10頁/共25頁3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類及原理光開關(guān)的分類及原理 光開關(guān)的分類光開關(guān)光開關(guān)mechanical optical

2、switchSolid light switchOther light switch聲光開關(guān)光纖開關(guān)自由空間棱鏡開關(guān)熱光開關(guān)電光開關(guān)Click to add TitleClick to add Title氣泡開關(guān)液晶開關(guān)機(jī)械光開關(guān)固體光開關(guān)其他光開關(guān)磁光開關(guān)宏機(jī)械開關(guān)光子開關(guān)全息光開關(guān)第11頁/共25頁3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類及原理光開關(guān)的分類及原理 MEMS光開關(guān)的分類基于傳基于傳統(tǒng)的機(jī)統(tǒng)的機(jī)械式光械式光開關(guān)開關(guān)MEMS光開關(guān)移動(dòng)其他部件的光開關(guān)第12頁/共25頁3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類及原理光開關(guān)的分類及原理基于傳統(tǒng)的機(jī)械式光開關(guān)光纖1玻璃套筒方空玻璃套筒套管光 纖

3、2光纖3光纖1光纖2光纖3第13頁/共25頁3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類及原理光開關(guān)的分類及原理 移動(dòng)其他部件的光開關(guān)棱 鏡自聚焦透鏡123第14頁/共25頁3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類及原理光開關(guān)的分類及原理移動(dòng)其他部件的光開關(guān)第15頁/共25頁3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類及原理光開關(guān)的分類及原理 移動(dòng)其他部件的光開關(guān) 第16頁/共25頁3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類及原理光開關(guān)的分類及原理 MEMS光開關(guān)的分類第17頁/共25頁3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類及原理光開關(guān)的分類及原理光路遮擋型MEMS光開關(guān)第18頁/共25頁移動(dòng)光纖對接型MEMS光開關(guān)O

4、一個(gè)l4光開關(guān)，利用光纖的移動(dòng)和對準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)光信號的切換。O 采用體硅或LIGA工藝，制造結(jié)構(gòu)和制備方法較為簡單。O 采用電磁驅(qū)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)精度要求低，系統(tǒng)可靠性和穩(wěn)定性好，穩(wěn)態(tài)時(shí)幾乎不耗能，O 缺點(diǎn)是開關(guān)速度較低，可連接的最大端口數(shù)受到限制，多用于網(wǎng)絡(luò)自愈保護(hù)。3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類及原理光開關(guān)的分類及原理第19頁/共25頁微鏡反射型MEMS光開關(guān)3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類及原理光開關(guān)的分類及原理第20頁/共25頁 三維(3D)3.MEMS3.MEMS光開關(guān)的分類及原理光開關(guān)的分類及原理第21頁/共25頁關(guān)可以將多纖聯(lián)系起來。當(dāng)需要監(jiān)視網(wǎng)絡(luò)時(shí)，只需在遠(yuǎn)端監(jiān)測點(diǎn)將多纖經(jīng)光開關(guān)連接到網(wǎng)絡(luò)監(jiān)視儀器上，通過光開關(guān)的動(dòng)作，可以實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)在線監(jiān)測。n光器件的測試：可以將多個(gè)待測光器件通過光纖連接，通過1N光開關(guān)，可以通過監(jiān)測光開關(guān)的每個(gè)通道信號來測試器件。n光開關(guān)可用于光纖通信系統(tǒng)，光纖網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)，光線測量系統(tǒng)或儀器以及光纖