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光學顯微鏡光學顯微鏡透射電子顯微鏡透射電子顯微鏡掃描隧道顯微鏡掃描隧道顯微鏡掃描電子顯微鏡掃描電子顯微鏡原子力顯微鏡原子力顯微鏡帶電極的壓電管（根據隧道電流的的大小隨時調整針尖和樣品的距離，以保持隧道電流的恒定）壓電管控制電壓隧道電流放大器距離控制和掃描單元隧道電壓（用以產生隧道效應）數據處理及顯示：原子的直徑 r ： 原子之間的距離 AFM探針的針尖探針的針尖激光檢測激光檢測AFM基本原理圖基本原理圖檢測激光光斑位置的光電二極管檢測激光光斑位置的光電二極管 AFM便是結合以上三個部分來將樣品的表面特性呈現出來的：在AFM的系統中，使用微小懸臂來感測針尖與樣品之間的交互作用，這作用力會使微懸梁擺動，再利用激光將光照射在微懸梁的末端，當擺動形成時，會使反射光的位置改變而造成偏移量，此時激光檢測器會記錄此偏移量，也會把此時的信號給反饋系統，以利于系統做適當的調整，最后再將樣品的表面特性以影像的方式給呈現出來。 原子力顯微鏡對金的觀測原子力顯微鏡對金的觀測煙草花葉病毒掃描圖煙草花葉病毒掃描圖用AFM針尖移動Si原子形成的IBM文字STM針尖移動原子形成的圖形文字

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