1、簡(jiǎn)介2013-7-20分析方式說(shuō)明：即不良進(jìn)行分析，CELL專(zhuān)指面板（包含未貼合）進(jìn)行拆解分析，找出發(fā)生異常現(xiàn)象的問(wèn)題和。對(duì)象：線上檢查不良面板、SL點(diǎn)燈檢查不良面板及客訴品等；基本方法：比較（找碴：找出差異點(diǎn)）要點(diǎn)：拆解手法和辨識(shí)能力 找碴( 左 (OK) 右 (NG) 比對(duì))直接可見(jiàn)兩的差異對(duì)照比較形狀顏色新增對(duì)照比較形狀增減顏色對(duì)照比較對(duì)照比較工具類(lèi)顯微鏡點(diǎn)燈機(jī)拆片工具類(lèi)另有、EP5、加熱板、拆片流程1.確認(rèn)缺陷模式(confirm)去LC洗劑：2.Mark defect確認(rèn)是array、cell段制程defectOM觀察defect點(diǎn)燈裂片(acetone)LC內(nèi)defect沒(méi)有PI下

2、defect有暈去PI溶解液：NaOH(5min) 或EP5溶劑OM觀察有PI上defect無(wú)暈PI defect沒(méi)有ITO/IZO下defect有暈有ITO/IZO上defect無(wú)暈 手順裂片前觀察檢查手法：不良可能存在液晶層或在配向上較易見(jiàn)者，在裂片前應(yīng)先用OM觀察。 手順裂片拆片手法：舊：利用加熱面板框膠或直接CF作分離動(dòng)作，以作后續(xù)分別觀察；新：利用對(duì)異物或不良處進(jìn)行觀察分析。，使用美工刀將面板的TFT與刀將面板拆成小片，針新 手順去液晶前觀察檢查手法：裂片后在去液晶前觀察不良處，確定不良是否實(shí)際存在液晶層，及存在那一側(cè)。 手順去液晶檢查手法：利用Acetone去除液晶，並用域的Ace

3、tone及液晶，以利后續(xù)觀察。沖除不良區(qū) 手順去液晶后觀察檢查手法：去除液晶后，觀察不良處在去除液晶前后是否有差異性，以判別存在的層別，并利用不良的色澤及光暈作初步層別的判斷。 手順去PI檢查手法：利用NaOH或EP5去除PI（部分需加熱），在靜置三到後用純水沖洗，再用沖除不良區(qū)域的NaOH及水，以利后續(xù)觀察。 手順去PI后觀察檢查手法：去除PI後，觀察不良處在去除液晶前后是否有差異性，以判別存在的層別，并利用不良的色澤及光暈作初步層別的。 要項(xiàng)透射光檢查檢查手法：使用透射光源配合暗視野觀察。檢查時(shí)機(jī)：1. 檢查pattern缺陷及原材不良時(shí)2. 未裂片時(shí)觀察不良處使用 要項(xiàng)反射光檢查檢查手法

4、：使用反射光源，配合光圈及燈泡亮度在明視野觀察檢查時(shí)機(jī)：1.檢查pattern異常及膜面面不良時(shí)2.利用偏光調(diào)整，觀察別及半導(dǎo)體層是否有異常 要項(xiàng)焦距調(diào)整檢查手法：利用低倍率觀察不良區(qū)域概況后，再使用高倍率檢查細(xì)部不良處。檢查時(shí)機(jī)：1. 基本的不良觀察手法2. 檢查大區(qū)域面板不良時(shí)或不良處不明時(shí)。 不良Show-Array 責(zé) Array leakage 不良Show-Array 責(zé)Array leakage 不良ShowCF側(cè)PI下金屬未拆拍CF側(cè)去液晶CF側(cè)去液晶反射CF側(cè)去液晶透射TFT側(cè)去液晶透射判定基準(zhǔn)：1. 未拆片發(fā)現(xiàn)有黑色不透光異物2. 拆片后異物在CF側(cè)，且異物邊界清楚有PI暈

5、，調(diào)整OM焦距有類(lèi)似金屬光澤3. 透射光異物完全不透光 不良ShowCF側(cè)PI上未拆拍CF側(cè)未去液晶CF側(cè)去液晶反射CF側(cè)去液晶透射TFT側(cè)去液晶判定基準(zhǔn)：1. 未拆片發(fā)現(xiàn)有透光異物（通常CF光阻被）2. 拆片后異物在CF側(cè)，且異物邊界清楚無(wú)PI暈，調(diào)整OM焦距有類(lèi)似結(jié)晶光澤3. TFT側(cè)發(fā)現(xiàn)有被壓跡 不良ShowTFT側(cè)PI下fiber未拆拍TFT側(cè)未去液晶TFT側(cè)去液晶反射TFT側(cè)去液晶反射CF側(cè)去液晶判定基準(zhǔn)：1. 未拆片發(fā)現(xiàn)有條狀透明異物2. 拆片后異物在TFT側(cè)，且異物邊界有明顯PI暈，3. CF側(cè)未發(fā)現(xiàn)異常 不良ShowCF側(cè)PI下透明異物未拆拍CF側(cè)未去液晶CF側(cè)去液晶反射CF側(cè)去液晶透射TFT側(cè)去液晶判定基準(zhǔn)：1. 未拆片發(fā)現(xiàn)有透明異物2. 拆片后異物在CF側(cè)，且異物周?chē)忻黠@PI暈,透射光發(fā)現(xiàn)異物呈透明狀3. TFT側(cè)無(wú)異常 不良ShowCF側(cè)PI不沾未拆拍CF側(cè)未去液晶CF側(cè)去液晶反射CF側(cè)去液晶透射TFT側(cè)去液晶判定基準(zhǔn)：1. 未拆片未發(fā)現(xiàn)有明顯異常狀況2. 拆片后異常在CF側(cè)，明顯看到CF Pattern有大面積PI顏色異常(不沾) 3.不沾