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文檔簡介
1、在origin中自定義公式對數據進行非線性擬合概述在Origin 中,所有的擬合公式都組織在Fitting Function Organizer(擬合公式管理器)中。除了內建的函數,你也可以使用定義的方程。一旦這個方程被定義,它就可以在NLFit(非線性擬合)框中調用。下面我們就來說如何使用自定義方程。Origin版本要求:Origin 8.0 SR6以上學習要求:自定義函數范例:我們來學習如何定義下面的擬合函數:下面是一刻機刻的圖案線陣列,光刻膠使用的是SCR500下面我們來研究激光功率與線寬的影響,下面是從圖中讀的數據:理論分析是激光功率x與線寬y關系如下:xxy = wln00下面我們用
2、上面函數來擬合表中的數據。定義函數的步驟:1. 在菜單欄選擇open,導入數據,并且選擇數據;如下圖激光功率/mW6.116.446.797.177.578.008.478.989.53線寬/nm121228255290317341367378413點擊analysis-fitting-nonlinear-opendialog,如下圖:彈出編輯框:點擊 origin basic functions,選擇new,如下圖彈出框,點擊new functions,出現下面框,并對紅框出修改:修改后如下,為了檢查輸入函數的正確性,需要對函數進行編譯,點擊:在這一步中,參數命名(parameter nam
3、es)比較重要,一定要和公式中的對應,不然下面編譯不通過。出現下面的界面,表示編譯,函數可以用。要記得保存,點擊 save,然后點擊 ok.回到擬合窗口界面,如下圖:點擊 data selectionparameter,現在需要對參量進行初始化,即隨便給函數中的參數一個,例如本例子中的 w0,x0雙擊紅框處,就可以修改,例如:w0=400,x0=6,然后對兩個復選框進行,如果不對復選框,為灰色無法使用,當出現的可以使用后,在將復選框去掉,然后點擊保存,(以上這樣做的目的是保留,了,)如果你閑麻煩,以上過程可以省略,直接輸入參供下一次擬合使用,不用再輸入數后,再點擊,就得到了擬合報告:從報告中看
4、,擬合得很好。如果擬合效果不好,比如參數選擇不合適,可以進行參數優化,參數優化采用試錯法, 根據曲線形狀逐漸改變參數,注意,多參數時改變任何一個參數都會改變曲線形狀,因此可以一次變一個參數,直到達到滿意的形狀。上例中,如果將參數 x0=60,擬合的圖為下圖,我們可以根據圖上的實驗數據點,大致確定,這樣就可以快速得到滿意的圖形。選擇某一段數據擬合從報告中看,我們可以看出擬合得很好。但是往往有些時候,我們需要只對一組數據的前半段,或者后半段,或者中間,的數據進行擬合。例如本例中,第一個數據與后八個,明顯有點不一致,有可能第一個數據不滿足經驗公式,后八個才滿足,那樣我們只需要對后八個數據進行擬合就行
5、了。事實就是這樣,在激光照到光刻膠中時,光刻膠后形成的線寬與激光功率,時間等都有關系,當激光功率很低時,時間有限,光刻膠并不能完全發生聚合反應,這樣低功率過程中形成的交聯網密度較低,在后處理過程發生物理收縮過程,這樣產生的線寬就不滿足經驗公式了。下面我們就對后八個數據進行擬合,保留第一組數據:在以上基礎上,點擊analysis-fitting-nonlinear-open dialog,如下左圖:點擊data selection,點擊range1前面的,如下右圖:就完成了后八組數據的選擇,然后點擊,就得到了后八組數據的擬合結果下面我們把第一組數據也要畫出來,在這幅圖中:點擊紅框,導入原始數據(txt,dat 文件),如下圖雙擊圖中的藍線,出現框選中第三根線,點擊紅框,選擇 scatter,然后 ok選中第一根線,刪除,然后 ok,就出現下面的圖如果你想讓圖中的紅線向兩端延伸的長點,只需要在下面的點擊 fitted curves,在紅框中選中 custom,去掉復選框的框中設置一下,設為 min=5,max=10注意:以上“選擇某一段數據擬合”過程完全是為了那些需要,有些人需要這樣的圖: 對后八個數據進行擬合,保留第一組數據,例如我們的第一組數據雖然不滿足方程,但是它和后幾組數據對比,說明一個不能忽略的物理過程:光刻
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