ESD培訓資料Content■

基礎概念■

接地系統介紹（ESD控制）工作區防ESD其他ESD措施靜電防護：治具靜電防護：接地鏈靜電防護：材料類離子風機的使用■

接地系統的日常檢測及維護■ ESD消除系統日常維護■ ESD消除系統失效處理■ ESD防護總結■

基礎概念

靜電就是靜止的電荷，就是物體表面有多余的電荷（正電荷或負電荷）存在。靜電產生有三種方法：摩擦相接觸的兩個物體發生分離靜電感應產生靜電（1）靜電的概念■基礎概念

ESD就是靜電泄放（ElectronicStaticDischarge）帶有靜電的物體靠近或接觸另一物體，只要它們之間存在電勢差，就會發生靜電荷傳遞。這種靜電荷傳遞過程我們稱之為靜電泄放。當這種靜電荷傳遞的過程強度足夠大，大到可以損壞我們的產品，我們就稱之為ESD事件。（2）ESD的概念任何物體都可以產生靜電！在我們的工作區域所有物體都可以產生靜電!手推車，椅子，機械手，粘膠帶，周轉箱和其它物料輸送物品人體，手套，無塵布，無塵服，普通衣服工作臺表面，CRT電腦顯示器，手動工具，紙，筆記本，文件夾，筆墻壁，地板，溶劑瓶ESD包裝，非ESD包裝等等都可以產生靜電。■基礎概念（3）產生靜電的物體■基礎概念（4）ESD的危害人體對大于3000V的靜電才有感覺！但是……磁頭PCB/PCC電路板梳頭發撕貼膠帶走路ESD

是隱藏的敵人聽到5000V感覺到3000V看到8000V電子元件受損100-500V■基礎概念我司使用的材料內ESD敏感元件為L-BAR，其靜電敏感等級采用人體模式（人體帶電與器件接觸）進行劃分，要求的電壓范圍<250V■基礎概念（4）ESD如何損害產品大量的靜電荷在存在電勢差的物體（人或機器）與產品之間快速傳遞，短時間內產生很大的電流（遠遠超過產品可以承受的電流）重則損毀電路，造成產品不能使用；輕則使電路過熱受到損傷，影響產品的壽命和可靠性。被ESD損毀的產品使電子元件受損的潛在缺陷占90%在廠內很難被發現

電子元件即時失效只占10%在廠內可被發現■基礎概念（5）靜電對人體的危害誘發心律失常當瞬間電壓過大時，人會感到一種燥熱感，并有煩躁、頭痛的感覺。在冬季，約三分之一的心血管疾病都與靜電有關。老年人更容易受靜電的影響，尤其心血管系統本來就有各種病變的老年人，靜電更會使病情加重，或誘發早搏、心律失常。導致血鈣流失持久的靜電還可使血的堿性升高，血清中鈣含量減少，尿中鈣排泄量增加。引發皮膚炎癥靜電吸附的大量塵埃中含有多種病毒、細菌與有害物質，尤其是尼龍、滌綸、聚丙烯腈纖維和醋酯纖維這些化纖材料制成的衣服，最容易引起皮膚炎癥。影響中樞神經過多的靜電在人體內的堆積，會引起腦神經細胞膜電流傳導異常，影響中樞神經，使人出現頭暈、頭痛、煩躁、失眠、食欲不振、焦躁不安、精神恍惚等癥狀。影響孕激素水平人體靜電對孕產婦的健康危害最大，可致孕產婦體內孕激素水平下降，容易感到疲勞、煩躁和頭痛等■基礎概念（5）影響靜電產生的因素1在地毯上走路2穿普通鞋在ESD地板上走路（不使用靜電環）3穿ESD安全的鞋在ESD地板上（使用靜電環）5摩擦絕緣材料

35000V8000V 1500V10000V4000V 200V50V10V 0V環境相對濕度10-20%RH40-50%RH70-90%RH4000V1500V 300V決定靜電產生多少的因素主要有：1材料的導電性能：導電材料和靜電消耗材料產生比較少的靜電，絕緣材料產生很多的靜電。2環境相對濕度對靜電的產生有很大的影響，相對濕度大（空氣潮濕）靜電產生就少，ESD的問題就少。反之，相對濕度小ESD的問題就多。3ESD地板，ESD安全的鞋（包括太空服）及腕帶的使用對于降低人體產生的靜電也是非常有效的。另外在地板上走動比不走動產生更多的靜電。11接地系統工作接地治具工作臺機臺電器用件靜電手環作業人員接地人機GND工作臺電器用件人員測試機臺治具接地系統（1）：接地系統（2）：■

接地系統介紹（ESD控制）■

工作區防ESD：組裝及檢驗離子風機對準作業區離子風機對準作業區靜電手環導電皮作業要求：1)離子風扇開啟2)人員靜電環接地離子風機工作距離調整到離工作面為20~50CM■

工作區防ESD：其它流水線首離子風機離子風機吹風的范圍--粘膠帶的使用必須控制到最少，如果必須使用，應使用ESD安全的膠帶--對非ESD安全的膠帶，在撕膠帶，貼膠帶和揭膠帶時應在離子風機下進行或遠離產品12英寸以外進行。--維修設備，聯接電線等禁止使用粘膠帶。ESD膠帶撕貼膠帶會產生很高的靜電，由于膠帶是絕緣材料，產生的靜電可以保留較長時間。不是生產工藝必須的膠帶必須從工作臺上拿走，嚴禁使用膠帶來固定物體或電氣維修。■

工作區防ESD：其它■

靜電防護：治具治具與工作桌良好導通（測量值在管制值范圍內）夾靜電環處地線治具與工作桌OK注意：顯示值＜1，說明接地線接地OK,如顯示數值為1.則說明接地線未接地。16通過接地鏈與地面良好導通■

靜電防護：接地鏈■

靜電防護：材料類會產生靜電的材料有：膜材和LGP，在使用前要在離子風機下先消除靜電！針對防靜電包裝材料TRAY和靜電袋，IQC在材料入檢時要測試抗靜電阻值，具體規格參照各材料圖面。■

離子風機的使用離子風扇電源開啟狀態時不可以觸摸，因放電針加有20kV的高電壓，會造成觸電的危險。離子風扇使用時需將風量調至最大以保證靜電消除功能最大。離子風扇保養時需將電源關閉再行點檢。離子風扇靜電消除量測：

量測儀器：靜電測試儀QUICK432量測距離：

30cm左右的距離衰減標準：±1000V降低到±100V的時間（5S以下OK）。平衡電壓/殘余電壓：0±50V靜電鞋測試(1)人員穿著防靜電服/防靜電鞋/襪（靜電從腳導到大地）19

■

接地系統日常檢測及維護靜電環測試（2）佩戴防靜電環并接地（靜電從手導到大地）■

接地系統日常檢測及維護21

未戴靜電環禁止接觸產品調整手帶的松緊，保證靜電帶金屬部分緊貼皮膚■

接地系統日常檢測及維護靜電環檢測員工在每天進入無塵室之前，要在風淋門門口對自己的靜電環進行自檢，并填寫相關項目的測試記錄。測試時，將靜電手環夾在測試點，若按下按鈕，綠燈GOOD亮，代表靜電環OK，可正常使用，若紅燈light或low紅燈亮時，標示靜電手環不符合規格，禁止使用靜電環測試點測試記錄■接地系統日常檢測及維護■接地系統日常檢測及維護（3）接地線檢測廠內使用萬用表檢查接地線接地狀況，檢查時萬用表量測工作臺測點與工程共地點之間電阻值（詳情見《接地電阻測試儀SOP》）。制造部門針對廠內所有接地測點，進行量測（1次/日），一旦發現阻值超標準，立即通知工務進行處理。

接地電阻測量表■接地系統日常檢測及維護200Ω選擇三相萬用表的Ω檔位，量程選擇200Ω用萬用表量測相鄰的兩張工作臺之間的電阻，測得的電阻值≤5Ω，則為OK用萬用表量測接地基準點和靜電接地線之間的電阻測得的電阻值≤5Ω，則為OK（a）工作臺與工作臺（b）接地線與基點■ESD消除系統日常維護25離子風機日點檢流程：起班外觀清潔放電針清潔外觀清潔電源指示燈風扇運轉正常使用點檢記錄NG儀器維修OKNG使用部門提出《檢修單》后，工務科實施維修2H一次5S時也需要點檢離子風機備注：每月有體系監察科實施離子風機除靜電能力的檢測，發現問題立即開出《問題聯絡書》給使用部門■ESD消除系統日常維護1.旋轉風機上的毛刷旋鈕，清潔風機內的放電針。2.清潔440時只需順時針旋轉中間的旋紐，幅度為360度，然后把手松開使其自動復位，重復三次。3.每班作業前清潔一次。4.用蘸酒精的棉棒清潔風機出風口內的金屬條，清除粉塵，表面不可有污物。清潔每班開班前清潔一次。5.用鑷子夾好無塵布蘸少許酒精伸進風機內部擦拭放電針，清除粉塵。表面不可有污物。每班開班前清潔一次6.打開離子風機外殼，用無塵布蘸酒精擦洗離子風機內部，去除里面的粉塵，頻率為每3月1次，在產線空閑時進行。7.用干凈的過濾網更換離子風機后部的過濾網，頻率為每3月1次，在產線空閑時進行（無過濾網無需更換）■ESD消除系統實效日常處理離子風扇失效處理：

1)正常作業時，離子風扇的指示燈會亮，表明離子風扇正常工作。

2)當指示燈不亮，或者風扇無法運轉，需要立即關掉電源通知工務科進行維修

3)故障現象排除方法（見下表）：1）在ESD安全的工位處理對ESD敏感產品。2）在處理對ESD敏感產品之前戴上腕帶，防靜電手套。3）對所有金屬設備和工具進行接地處理。4）讓ESD敏感產品與絕緣材料最少保持約30公分的距離。

（如果對產品進行了保護如：產品放在ESD包內，放在蓋上蓋子的ESD安全物料盒內；如果對絕緣材料進行了屏蔽或使用了離子風機，ESD敏感產品