中華液晶資訊網CELL制程原理總體介紹TFT-LCD制程簡述TFT制程介紹Cell制程流程介紹問題討論與交流TFT-LCD制程簡述ArrayThin-FilmTransistorCellLiquidCrystalModuleArray:晶體管

矩形數組

Module:產品模塊Cell:顯示單元體中華液晶資訊網TFT空白玻璃CELLMODULE….+ARRAY+++TFTCFcellcellcellcellcellcellcell背光機殼面板中華液晶資訊網TFT-LCD構造圖

TFT-LCDPanelStructure中華液晶資訊網Cell制程流程圖

SealantprecureDispenserTFT基板投入CF基板投入SpacerspraySpacerprecureCelltestPICoaterRubbingSealantprecureAttachLCcleanPICleanPIprebakePIpostbakeRubbingcleancleanSealantpostcurescriberEndsealLCinjectionbreakerscriberbreakerPICoaterPICleanPIprebakePIpostbakeBevelingCleanerPolarizerAttachAutoclaveisotropic中華液晶資訊網清洗制程

裝置目的特征有機物除去

利用界面活性劑產生親水性基及親油性基除去油脂5um以上particle除去基板表面直接摩擦BJunit除去1um-5umumparticle利用空氣與水混合后,在基板表面產生氣體爆破megasonicshowerunit除去1umparticle利用液體在基板上產生共振效果spin/Airknife干燥unit玻璃基板初步干燥除去表面液體IRunit玻璃基板干燥完全使基板加熱至100度以上,達到水分子去除有機物除去利用UV或O3對有機物進行分解表面改質（光酸化反應）brush-washingwithdetergentunitUVunit中華液晶資訊網紫外線洗凈、改質評價方法：接觸角(小)

水滴接觸角(大)

水滴qq1.

接觸角測定法：

將定量的純水滴在物質表面，使用接觸角測定機來測定水滴接觸角的方法。

優點：可以將標準定量化。

缺點：需購買試驗機。

2.濡性指數測定法：用濡性試藥來測定表面張力的方法；將30~56dyne/cm濡性標準試藥用棉棒等涂在被測物表面來查看它擴散的方法。【表面張力1dyne/cm（10μN/cm）】優點：方法較簡便，試藥也便宜。缺點：試驗者個人個人的判定結果會有出入。中華液晶資訊網PI共制程PI涂布-PICoating(TFT&CF)PI膜(Polyimide)APR版滾輪中華液晶資訊網PI制程原理原理:

將PI液滴在aniloxroll上

doctorroll將aniloxroll上PI液整平

APR板上圓形凸出物將aniloxroll凹槽內PI擠壓出并帶走·將APR板上PI均勻轉印至基板上,提供液晶配向層滴入

Doctorroll

Dispenser:PIAniloxroll

stageAPR板PrintrollGLASS基板行進方向中華液晶資訊網PImaterialRequirements(TFT)

項目配向膜具備特性GoodprintingpropertyLowbaketemp.無rubbing刷痕Rubbing時無產生PI剝落Pretiltanglestability配向后,經加熱后亦保有安定配向性Solventresistance成膜性配向特性機械特性中華液晶資訊網APR(AsahiPhotosensitiveResin)版

photosensitiveresin(polybutadiene)

polyesterbasefilmSPEC：

Mesh：需比aniloxrollermesh數低Angle：75度,45度Patternarea:203040縮小率計算:(2π(T+R)-2π(a+R))2π(T+R)=1-2*(T-a)/DT:版總厚度a:底版厚度D:滾輪直徑1-APRplate:thickness:0.7~2.84mm±0.02mm底版膠厚度:0.2mmHardness:K-11rubberhardness55接著劑A0A’范圍:200~600mesh(每一inch內多少格)DR中華液晶資訊網PIRubbing配向PI共制程CF&TFT配向絨布

PI膜配向:基板和roller成45度角,TFT和CF基板方向差90度.

Roller高速旋轉時,絨毛上的纖維會甩立起來,將PI膜刷出紋路

Rubbing的情況,類似于重鋪柏油馬路之前的刨路機,將路面刨出紋路.

中華液晶資訊網配向--Rubbing(TFT&CF)平臺Stage滾輪Roller中華液晶資訊網原理：借著刷磨或其它方式，使原本random排列之配向膜分子，呈固定而均一之方向排列，以利液晶分子的排列。CHbranch中華液晶資訊網框膠及點銀膠框膠AgPasteColorfilter點銀膠是為了導通CF的共地極(COMMON極)PI膜中華液晶資訊網框膠制程框膠銀膠針頭Nozzle玻璃基板氮氣(N2)液晶注入口Seal框膠之目的，在于提供panel中AR與CF之固著，同時提供panel中液晶與外界的隔絕。Ag點膠之目的，則導通CF與AR上之COM電極，以形成控制液晶分子驅動之電場。中華液晶資訊網灑間隙粒子SPACERSPRAYSPACER灑布

SpacerARRAY玻璃PI膜

SPACER是小塑膠球又稱為“間隙粒子”中華液晶資訊網Spacerspray制程撒布主要目是將塑料間隔物，均勻地分布在基板上，以作為TFT與CF間之支撐，并始整面面板擁有均勻的間隙。Spacer中華液晶資訊網Spacerspray制程Spacer間隙粒子濕式灑布氮氣(N2)超音波震蕩器中華液晶資訊網CF&TFT共制程AttachmentCF基板大片組合TFT基板0.7mm=700μm紫外線膠照射紫外線后就會產生黏合力,將兩片玻璃黏合

黏合玻璃的UV膠20μm中華液晶資訊網Alignment制程對位標記(AlignmentMark)TFTCFCCD中華液晶資訊網CF&TFT共制程HotPress氣囊熱壓大片組合之基板熱壓機hotpressor壓力表4.85μm115~200度C4小時,一次可壓18~20片壓完后,CF和TFT板之間的距離變成約4.85μm二廠使用真空熱壓法中華液晶資訊網Hotpressure制程利用氣囊或抽真空方式加壓，使cell之框膠部份形成所須之gap值，并加熱使框膠硬化以維持框膠之固定gap值。flatheatermetalfilmO-ring枚葉式熱壓機氣囊式熱壓機中華液晶資訊網CF&TFT共制程Scribing切割&裂片13.3“中華液晶資訊網一片玻璃可以切成幾片面板?320mm1.8“2.5”4“6.1”~6.8“第1代面板:長400mm,寬320mm面板范圍裁余部分,拋棄不用400mm中華液晶資訊網一片玻璃可以切成幾片面板?610mm13.3“~14.1”15“~17”19“22“~32”面板范圍裁余部分,拋棄不用第3.5代面板:長720mm,寬610mm720mm中華液晶資訊網Scriber/breaker制程刀輪裂片刀中華液晶資訊網抽真空破真空至常壓高真空液晶注入示意圖中華液晶資訊網【Dipmethod】

浸漬法將panel注入端部完全浸漬到液晶中，利用真空差壓與毛細力上升方式。

Injectiontype【Yarnmethod】

含浸法將panel注入口與含浸液晶之海綿或彈簧等接觸供給液晶，利用真空差壓與毛細力上升方式。【Touchmethod】

表面張力法液晶以表面張力布滿液晶皿，上升后與注入口接觸，利用真空差壓與毛細力上升方式。

【Dispensemethod】

滴下法由可微量供給液晶之dispenser，將液晶滴在注入口注入的方式。中華液晶資訊網磨邊(Beveling)磨邊(去掉短路棒

shortingbar)Beveling中華液晶資訊網磨輪磨邊水洗刮刀刮除洗淨烘干風刀beveling/cleaner/polarizer目的:將切裂后之玻璃毛邊做導角及外圍測試線路去除,之后洗凈玻璃,并貼上偏光片中華液晶資訊網貼偏光片(Polarizer)PolarizerAttachment偏光片貼附上下偏光片濾光角度差90度中華液晶資訊網beveling/cleaner/polarizer貼片CFCF偏光片滾輪貼片TFTTFT偏光片滾輪中華液晶資訊網加壓脫泡--AutoClave側視中華液晶資訊網LCtestFullcontact:面版上每條線路皆與tester接觸,功能上與LCM相同Shortingbarcontact:將所有dataline各別之R線并連,G線并連,B線并連

中華液晶資訊網CELL制程簡介TFT&CFTFT&CF之配向共制程CF清洗TFT清洗分制程PI預烤檢查I