江蘇省地方計(jì)量技術(shù)規(guī)范閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationforQuickVideoMeasuringMachine20XX-XX-XX發(fā)布江蘇省市場(chǎng)監(jiān)督管理局發(fā)布JJF（蘇）XXX－20XX閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationforQuickVideoMeasuringMachineI主要起草單位：南京市計(jì)量監(jiān)督檢測(cè)院參加起草單位：蘇州天準(zhǔn)科技股份有限公司JJF（蘇）XXX－20XX本規(guī)范主要起草人：魯凱（南京市計(jì)量監(jiān)督檢測(cè)院）唐小聰（南京市計(jì)量監(jiān)督檢測(cè)院）秦潔（江蘇省計(jì)量科學(xué)研究院）王云祥（蘇州市計(jì)量測(cè)試院）參加起草人：錢崢（南京市計(jì)量監(jiān)督檢測(cè)院）王志偉（蘇州天準(zhǔn)科技股份有限公司）劉亞俊（宜興市計(jì)量檢定測(cè)試所）JJF（蘇）XXX－20XX JJF（蘇）XXX－20XXJJF（蘇）XXX－20XX閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范GB/T24762-2009產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)影像JJF（蘇）XXX－20XX24.2尺寸測(cè)量誤差4.3景深內(nèi)各截面測(cè)量一致性4.4變倍探測(cè)誤差(a)校準(zhǔn)室環(huán)境溫度20±3）℃;(c)校準(zhǔn)室內(nèi)無(wú)影響測(cè)量的振動(dòng)、光噪5.2校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器12346校準(zhǔn)項(xiàng)目和方法分別在廣角模式和高精度模式下進(jìn)行校準(zhǔn)。按照?qǐng)D2所示在視場(chǎng)內(nèi)同一高度選擇均勻分布的5個(gè)測(cè)量位置，選取尺寸合適的圓形靶標(biāo)，靶標(biāo)尺寸應(yīng)保證在最小放大倍率時(shí)JJF（蘇）XXX－20XX測(cè)得各測(cè)量位置處的圓直徑為Di，以Dma6.2尺寸測(cè)量誤差大致相等。3次測(cè)得值的平均值與標(biāo)準(zhǔn)器上實(shí)際值的差值為尺寸示值誤差，取尺寸示值紋間隔進(jìn)行測(cè)量。3次測(cè)得值的平均值與標(biāo)準(zhǔn)器實(shí)際值的差值為尺寸示值誤差，取尺寸6.3景深內(nèi)各截面測(cè)量一致性意位置，在閃測(cè)儀景深范圍內(nèi)選擇大致均勻分布的3~5個(gè)測(cè)量截面，選擇尺寸適當(dāng)?shù)膲|JJF（蘇）XXX－20XX4像。將圓形靶標(biāo)放置于工作臺(tái)面，切換不同放大倍率β(βmin~βmax分別測(cè)量圓形靶標(biāo)Δβ=dimax-dimin7校準(zhǔn)結(jié)果的表達(dá)JJF（蘇）XXX－20XX5閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x尺寸測(cè)量誤差測(cè)量結(jié)果的不確定度評(píng)定示例A1.高精度模式尺寸測(cè)量誤差測(cè)量結(jié)果的不確閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x的高精度模式尺寸測(cè)量誤差是通過(guò)直接測(cè)量玻璃線紋尺的尺寸間隔，并與標(biāo)準(zhǔn)值比較而獲得。下面以使用玻璃線紋尺校準(zhǔn)100mm測(cè)量點(diǎn)的示值誤差為e=L-lL——儀器示值；l——對(duì)應(yīng)玻璃線紋尺的刻線標(biāo)準(zhǔn)值。u(e)=u2(L)+u2(l)12者34A1.5.1.玻璃線紋尺引入的不確定度分量u1根據(jù)玻璃線紋尺的溯源證書(shū)，玻璃線紋尺的測(cè)量不確定度為U=0.20μm+1.5×JJF（蘇）XXX－20XX6A1.5.2.分辨力引入的不確定度分量u21A1.5.3.測(cè)量重復(fù)性引入的不確定度分量u22對(duì)玻璃線紋尺的100mm尺寸間隔進(jìn)行10次測(cè)量，測(cè)得值依次為99.9995mm、A1.5.4.閃測(cè)儀光柵尺與玻璃線紋尺線膨脹系數(shù)差引入的不確定度分量u3玻璃線紋尺與光柵尺的線膨脹系數(shù)差的界限按±1×10-6℃-1，-6℃-1)/當(dāng)L=100mm時(shí)，u3=0.1A1.5.5.溫度誤差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u4經(jīng)過(guò)充分等溫后，玻璃線紋尺和閃測(cè)儀的光柵尺的溫度差估計(jì)落在(-0.5~+0.5)℃范-6℃-1)/JJF（蘇）XXX－20XX7包含因子k=2，則擴(kuò)展不確定度為：A2.廣角模式尺寸測(cè)量誤差測(cè)量結(jié)果的不確并與標(biāo)準(zhǔn)值比較而獲得。下面以使用二維掩膜板校準(zhǔn)200mm測(cè)量點(diǎn)的示值誤差為例，e=L-lL——儀器示值；l——對(duì)應(yīng)二維掩膜板的標(biāo)準(zhǔn)值。u(e)=u2(L)+u2(l)12者34A2.5.1.二維掩膜板引入的不確定度分量u1JJF（蘇）XXX－20XX8A2.5.2.分辨力引入的不確定度分量u21A2.5.3.測(cè)量重復(fù)性引入的不確定度分量u22對(duì)二維掩膜板的200mm尺寸間隔進(jìn)行10次測(cè)量，測(cè)得值依次為200.0012mm、200.0008mm、199.9989mm、200.0007mm，采用貝塞爾公式計(jì)算實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差得到因此，取u2=u22=0.45μmA2.5.4.閃測(cè)儀光柵尺與二維掩膜板線膨脹系數(shù)差引入的不確定度分量u3二維掩膜板與光柵尺的線膨脹系數(shù)差的界限按±1×10-6℃-1，-6℃-1)/A2.5.