特氣系統工作范圍編號工作范圍特氣包商其他包商Customer備注業主1、系統深化設計1.1氣柜/架,吹掃盤面，磅秤，氣體分配箱/盤，尾氣處理器，管路等設備的深化設計√1.2氣柜/架,吹掃盤面，磅秤，氣體分配箱/盤，尾氣處理器等設備的整體平面布置。√1.3GMS/GDS系統的架構、聯動、設備的深化設計和整體布置√1.4特殊氣體的電力架構、電盤的深化設計整體布置√1.5提供Fab平面圖紙和生產廠房的特氣管路空間管理(提供設計圖紙供機電包商進行空間管理)√√1.6特氣站，Fab內的特種氣體管路平面布置圖和特氣站房的空間管理。√1.7特種氣體質量和流量需求，如UM表，特氣月用量等。√1.8提供協調窗口，安排業主與承包商的協調會議。√√1.9協調與其他包商的工作界面。√√2、土建及土建配套2.1特氣站,特氣房的土建工程√2.2地秤基礎√2.3設備基礎，管道穿樓板洞，墻洞及門洞的防火泥及不銹鋼板封堵√2.4特氣間所涉及的改造（因特氣包施工所造成的地面、墻面等修補工作）√2.5特氣站/房包括操作室的全新風空調系統.√2.6氣體房事故排風(易燃性防靜電、防爆)√2.7氣體房換氣排風(易燃性防靜電、防爆)√2.8氣體房門禁√2.9氣體房視頻監控（CCTV，易燃性防靜電、防爆）√2.10氣體房廣播，(易燃性防靜電、防爆)√2.11氣體房照明，包括應急照明(易燃性防靜電、防爆)√2.12氣體房地面防磨、防腐蝕、防靜電環氧地坪（惰性使用防磨環氧地坪，毒/腐蝕性使用防磨防腐蝕環氧地坪、易燃性使用防磨防靜電環氧地坪）√2.13氣體房墻面涂裝√2.14氣體房防火門、逃生門供應及安裝√2.15氣體房內，公用系統共通管架(非特氣管路專用)√特氣包提供要求2.16氣體房內，特氣管路專用管架√2.17氣體房外共通管架（包括但不局限于，管路、電線、通訊線路等）√2.18氣體房自有消防系統（包含但不限于，煙感、溫感、消防水管網及噴淋頭、滅火器、UV/IR火焰探測器等）√2.19易燃/自燃氣體房/特氣站/硅烷站入口靜電釋放器，所有氣體房入口EMO√2.20氣體房內洗眼器（包含液位開關信號）安裝及調試√3、特殊氣體系統及UT安裝（包括GC/GR/BSGS/VDB/VMBP、尾氣處理設備、保壓吹掃盤面、氣體偵測器、地震儀、真空泵、管路、UT、其他輔助設備等）3.1特氣系統的設備運送至現場√3.2特氣系統設備的安裝（定位、電力、IA、消防水、Vent、Exhaust、PCW、氣體偵測器、監控、特氣設備UT配管、管路、管路保溫及加熱、干式真空泵、尾氣處理設備、地震儀等）√3.3從氣體供應設備到VMB/P的工藝氣體管路連接√3.4從VMBP到機臺的二次配管連接√低壓就地放置直連生產設備的氣體，出供氣設備后管路均為二次配范圍3.5消防水管路（供氣設備用）入戶1米預留接口√3.6消防水管路（供氣設備用）預留口，至各用氣設備的消防管路√3.7GN2/PN2管路接入各氣體房內1米處，預留閥門√氣體管線包3.8GN2/PN2預留閥，至氣體房內的管網及至各用氣設備的管路√3.9氣體房內工藝排風主管路（Exhaust）接入各氣體房內1米處，預留閥門√3.10工藝排風（Exhaust）預留閥，至氣體房內的管網及至供氣設備(GC/BSGS及VMB閥箱、SCRUBBER等)的工藝排風管路√3.14UPS預留開關至特氣UPS供電主盤的接線、測試√3.15應急電預留開關至特氣應急電供電主盤的接線、測試√3.16特氣供電系統的電盤√3.17特氣供電架構、電盤、配電線路的深化設計√3.18特氣各供電主盤至各分電盤的電力分配及接線、測試√3.19供電電盤開關至各用電設備的配電及接線、測試√3.20PCW管路接入各氣體房內1米處，預留閥門√3.21PCW預留閥，至氣體房內的管網及用氣設備的管路√3.22氣體房內Vent主管路及管網√3.23特氣設備排氣至Vent主管路的配管及測試√3.24氣柜和尾氣處理裝置、真空泵的排氣管路連接√3.25特氣系統所需的輔助設備的提供、安裝及連接√3.26氣體管道的標簽√3.27設備及管線防靜電接地√4、特氣GMS及監控系統4.1氣體偵測器及其控制系統√4.2GMS/GDS服務器、監控電腦、冗余PLC柜、IO盤、音箱、氣體偵測器、聲光報警器等√4.3提供GMS系統服務（硬件、軟件、安裝、編程）√4.4在系統上提供客戶界面連接端口，用于連接客戶廠務中央監控系統。√4.5連接從氣體監控系統到客戶中央廠務監控系統（FMCS）的信號線√4.6GMS/GDS系統的調試。√4.7連接從監控系統到客戶消防監控系統的信號線（包含廣播聯動和門禁聯動，連接至消防包商指定位置）√4.8廣播系統√4.9GDS系統偵測區域事故排風風機控制信號接入（連接至機電包商指定位置）√4.10地震儀監測系統√4.11高低壓吹掃保壓盤面PT接入GMS√5、設備與施工安裝范圍內的質量管控、測試、分析、調試和供氣5.1質量控制/質量測試程序。√5.2高純管路材料的物料進場質量控制。√5.3壓力測試/氦檢。√5.4微量水/微量氧/顆粒測試√5.5特氣系統試車。√5.6特氣系統Firstturn-on√6、文檔6.1品控質量管理記錄記錄√6.2證明/證書/操作手冊√6.3施工圖紙和文件√6.4配合特種設備必要的相關證書取得√7、建造階段事宜7.1施工期間的臨時電源。（T002總包單位提供接點，包商連接使用）√7.2施工期間的自來水供應。（T002總包單位提供接點，包商連接使用）√7.3施工期間的現場辦公室。（T002總包單位提供，包商租賃使用）√7.4施工期間的臨時倉庫。（T002總包單位提供，包商租賃使用）√7.5管道安裝所需焊接氬氣。（焊接氬氣Ready之前由廠商提供，接管由廠商負責；Ready之后業主提供，接管由廠商負責）√7.6測試所需吹掃氮氣。（氮氣Ready之前由廠商提供，接管由廠商負責；Ready之后業主提供，接管由廠商負責）√8、Others其它8.1按照規章制度與當地的職能部門聯系。√√8.2雇用設計院審核特氣系統的設計√√8.3施工期間的施工工程保險√8.