半導(dǎo)體車間潔凈設(shè)備管理制度一、總則（一）目的為確保半導(dǎo)體車間潔凈設(shè)備的正常運(yùn)行，維持車間的潔凈環(huán)境，保障半導(dǎo)體生產(chǎn)的質(zhì)量和效率，特制定本管理制度。（二）適用范圍本制度適用于公司半導(dǎo)體車間內(nèi)所有潔凈設(shè)備的管理，包括但不限于空氣凈化設(shè)備、工藝設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備等。（三）職責(zé)分工1.設(shè)備管理部門負(fù)責(zé)潔凈設(shè)備的選型、采購(gòu)、安裝調(diào)試及驗(yàn)收工作。制定設(shè)備操作規(guī)程、維護(hù)保養(yǎng)計(jì)劃，并監(jiān)督執(zhí)行。組織設(shè)備故障維修，及時(shí)處理突發(fā)設(shè)備問題。建立設(shè)備檔案，記錄設(shè)備的運(yùn)行狀況、維修歷史等信息。2.生產(chǎn)部門負(fù)責(zé)合理使用潔凈設(shè)備，按照操作規(guī)程進(jìn)行生產(chǎn)操作。協(xié)助設(shè)備管理部門進(jìn)行設(shè)備的日常清潔、保養(yǎng)工作。及時(shí)反饋設(shè)備運(yùn)行過程中的異常情況。3.質(zhì)量控制部門監(jiān)督潔凈設(shè)備運(yùn)行對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響，對(duì)因設(shè)備問題導(dǎo)致的質(zhì)量事故進(jìn)行調(diào)查分析。參與設(shè)備驗(yàn)收工作，從質(zhì)量角度提出相關(guān)意見和建議。4.安全管理部門負(fù)責(zé)潔凈設(shè)備的安全管理，制定安全操作規(guī)程并監(jiān)督執(zhí)行。對(duì)設(shè)備操作人員進(jìn)行安全培訓(xùn)，檢查設(shè)備安全防護(hù)裝置的有效性。處理設(shè)備運(yùn)行過程中的安全事故。二、設(shè)備選型與采購(gòu)（一）選型原則1.根據(jù)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝要求，選擇具備高精度、穩(wěn)定性好、可靠性強(qiáng)的潔凈設(shè)備。2.設(shè)備應(yīng)易于清潔、消毒，能夠適應(yīng)車間的潔凈環(huán)境要求。3.優(yōu)先選用節(jié)能型設(shè)備，降低運(yùn)行成本。（二）采購(gòu)流程1.設(shè)備使用部門提出設(shè)備采購(gòu)申請(qǐng)，詳細(xì)說明設(shè)備的規(guī)格、型號(hào)、數(shù)量、技術(shù)要求及采購(gòu)原因等。2.設(shè)備管理部門對(duì)采購(gòu)申請(qǐng)進(jìn)行審核，評(píng)估其必要性和可行性，并結(jié)合公司實(shí)際情況提出意見。3.審核通過后，由采購(gòu)部門負(fù)責(zé)按照公司采購(gòu)流程進(jìn)行設(shè)備采購(gòu)，選擇合格的供應(yīng)商，并簽訂采購(gòu)合同。4.采購(gòu)合同應(yīng)明確設(shè)備的規(guī)格、型號(hào)、數(shù)量、價(jià)格、交貨期、質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)、售后服務(wù)等條款。5.設(shè)備到貨前，設(shè)備管理部門應(yīng)組織相關(guān)人員做好接收準(zhǔn)備工作，包括場(chǎng)地清理、搬運(yùn)工具準(zhǔn)備等。三、設(shè)備安裝調(diào)試與驗(yàn)收（一）安裝調(diào)試1.設(shè)備到貨后，由設(shè)備管理部門組織供應(yīng)商或?qū)I(yè)安裝人員進(jìn)行設(shè)備的安裝調(diào)試工作。2.安裝調(diào)試過程中，設(shè)備管理部門應(yīng)安排專人進(jìn)行監(jiān)督，確保設(shè)備安裝符合要求，調(diào)試工作順利進(jìn)行。3.安裝調(diào)試完成后，設(shè)備管理部門應(yīng)會(huì)同生產(chǎn)部門、質(zhì)量控制部門等相關(guān)人員對(duì)設(shè)備進(jìn)行初步檢查，檢查設(shè)備外觀、運(yùn)行狀況等是否正常。（二）驗(yàn)收1.設(shè)備安裝調(diào)試結(jié)束后，由設(shè)備管理部門組織相關(guān)部門進(jìn)行設(shè)備驗(yàn)收。2.驗(yàn)收內(nèi)容包括設(shè)備的技術(shù)性能、運(yùn)行參數(shù)、潔凈度指標(biāo)、安全性能等是否符合合同要求和公司生產(chǎn)需要。3.驗(yàn)收人員應(yīng)按照驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行逐項(xiàng)檢查，并填寫驗(yàn)收?qǐng)?bào)告。驗(yàn)收?qǐng)?bào)告應(yīng)包括設(shè)備名稱、型號(hào)、規(guī)格、數(shù)量、驗(yàn)收項(xiàng)目、驗(yàn)收結(jié)果、驗(yàn)收人員簽字等內(nèi)容。4.對(duì)于驗(yàn)收合格的設(shè)備，由設(shè)備管理部門辦理驗(yàn)收手續(xù)，并將設(shè)備移交生產(chǎn)部門使用；對(duì)于驗(yàn)收不合格的設(shè)備，由設(shè)備管理部門負(fù)責(zé)與供應(yīng)商協(xié)商解決，要求供應(yīng)商限期整改或更換設(shè)備，直至驗(yàn)收合格為止。四、設(shè)備操作規(guī)程（一）操作規(guī)程制定1.設(shè)備管理部門應(yīng)根據(jù)設(shè)備的性能特點(diǎn)、使用要求及安全注意事項(xiàng)等，制定詳細(xì)的設(shè)備操作規(guī)程。2.操作規(guī)程應(yīng)包括設(shè)備的啟動(dòng)、運(yùn)行、停止操作步驟，日常維護(hù)保養(yǎng)方法，常見故障處理措施，安全注意事項(xiàng)等內(nèi)容。3.操作規(guī)程應(yīng)采用通俗易懂的語言編寫，確保設(shè)備操作人員能夠輕松理解和掌握。（二）操作規(guī)程培訓(xùn)1.新設(shè)備投入使用前，設(shè)備管理部門應(yīng)組織設(shè)備操作人員進(jìn)行操作規(guī)程培訓(xùn)。2.培訓(xùn)方式可采用集中授課、現(xiàn)場(chǎng)演示、實(shí)際操作練習(xí)等多種形式，確保操作人員熟悉設(shè)備操作規(guī)程。3.培訓(xùn)結(jié)束后，應(yīng)對(duì)操作人員進(jìn)行考核，考核合格后方可上崗操作設(shè)備。（三）操作規(guī)程執(zhí)行1.設(shè)備操作人員應(yīng)嚴(yán)格按照操作規(guī)程進(jìn)行設(shè)備操作，不得擅自更改操作步驟或簡(jiǎn)化操作流程。2.在設(shè)備操作過程中，如發(fā)現(xiàn)異常情況，應(yīng)立即停止操作，并及時(shí)報(bào)告設(shè)備管理部門。3.設(shè)備管理部門應(yīng)定期檢查操作人員對(duì)操作規(guī)程的執(zhí)行情況，對(duì)違反操作規(guī)程的行為進(jìn)行糾正和處罰。五、設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)（一）維護(hù)保養(yǎng)計(jì)劃制定1.設(shè)備管理部門應(yīng)根據(jù)設(shè)備的使用說明書、運(yùn)行狀況及生產(chǎn)實(shí)際情況，制定設(shè)備年度、季度、月度維護(hù)保養(yǎng)計(jì)劃。2.維護(hù)保養(yǎng)計(jì)劃應(yīng)明確維護(hù)保養(yǎng)的內(nèi)容、周期、責(zé)任人等信息。3.維護(hù)保養(yǎng)計(jì)劃應(yīng)涵蓋設(shè)備的清潔、潤(rùn)滑、緊固、檢查、調(diào)試、校準(zhǔn)等工作。（二）日常維護(hù)保養(yǎng)1.設(shè)備操作人員負(fù)責(zé)設(shè)備的日常清潔、潤(rùn)滑、緊固等工作，并做好相應(yīng)記錄。2.日常維護(hù)保養(yǎng)工作應(yīng)在設(shè)備運(yùn)行間隙或停機(jī)時(shí)間進(jìn)行，確保不影響正常生產(chǎn)。3.設(shè)備管理部門應(yīng)定期檢查設(shè)備的日常維護(hù)保養(yǎng)情況，對(duì)維護(hù)保養(yǎng)不到位的情況進(jìn)行督促整改。（三）定期維護(hù)保養(yǎng)1.按照維護(hù)保養(yǎng)計(jì)劃，設(shè)備管理部門組織專業(yè)維修人員對(duì)設(shè)備進(jìn)行定期維護(hù)保養(yǎng)。2.定期維護(hù)保養(yǎng)工作應(yīng)包括設(shè)備的全面檢查、調(diào)試、校準(zhǔn)、更換易損件等內(nèi)容。3.定期維護(hù)保養(yǎng)結(jié)束后，維修人員應(yīng)填寫維護(hù)保養(yǎng)記錄，記錄設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)情況、更換的零部件等信息。（四）預(yù)防性維護(hù)1.設(shè)備管理部門應(yīng)根據(jù)設(shè)備的運(yùn)行數(shù)據(jù)、故障歷史等信息，對(duì)設(shè)備進(jìn)行預(yù)防性維護(hù)。2.預(yù)防性維護(hù)措施可包括設(shè)備性能監(jiān)測(cè)、零部件壽命預(yù)測(cè)、提前更換易損件等。3.通過預(yù)防性維護(hù)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)設(shè)備潛在的問題，采取有效措施進(jìn)行處理，避免設(shè)備故障的發(fā)生，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。六、設(shè)備故障維修（一）故障報(bào)告1.設(shè)備操作人員在設(shè)備運(yùn)行過程中發(fā)現(xiàn)故障時(shí)，應(yīng)立即停止設(shè)備運(yùn)行，并及時(shí)報(bào)告設(shè)備管理部門。2.報(bào)告內(nèi)容應(yīng)包括設(shè)備名稱、型號(hào)、故障現(xiàn)象、發(fā)生時(shí)間等信息。3.設(shè)備管理部門接到故障報(bào)告后，應(yīng)詳細(xì)記錄故障情況，并安排維修人員進(jìn)行故障診斷。（二）故障診斷與維修1.維修人員接到故障維修任務(wù)后，應(yīng)及時(shí)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行故障診斷。2.根據(jù)故障診斷結(jié)果，維修人員制定維修方案，并組織實(shí)施維修工作。3.在維修過程中，維修人員應(yīng)嚴(yán)格遵守維修操作規(guī)程，確保維修質(zhì)量和安全。4.對(duì)于復(fù)雜故障或維修難度較大的設(shè)備，維修人員可組織相關(guān)技術(shù)人員進(jìn)行會(huì)診，共同研究維修方案。（三）維修記錄與總結(jié)1.維修人員應(yīng)填寫設(shè)備維修記錄，記錄故障原因、維修措施、更換的零部件等信息。2.設(shè)備維修完成后，維修人員應(yīng)進(jìn)行維修工作總結(jié)，分析故障產(chǎn)生的原因，提出改進(jìn)措施和預(yù)防建議。3.設(shè)備管理部門應(yīng)定期對(duì)設(shè)備維修記錄和總結(jié)進(jìn)行整理分析，總結(jié)設(shè)備故障發(fā)生的規(guī)律，采取針對(duì)性措施，降低設(shè)備故障率。七、設(shè)備檔案管理（一）檔案建立1.設(shè)備管理部門應(yīng)為每臺(tái)潔凈設(shè)備建立獨(dú)立的設(shè)備檔案。2.設(shè)備檔案應(yīng)包括設(shè)備的選型報(bào)告、采購(gòu)合同、安裝調(diào)試記錄、驗(yàn)收?qǐng)?bào)告、操作規(guī)程、維護(hù)保養(yǎng)計(jì)劃及記錄、故障維修記錄、校準(zhǔn)記錄、設(shè)備運(yùn)行記錄等資料。3.設(shè)備檔案應(yīng)采用紙質(zhì)檔案和電子檔案相結(jié)合的方式進(jìn)行管理，確保檔案資料的完整性和可查閱性。（二）檔案更新1.隨著設(shè)備的運(yùn)行和管理工作的開展，設(shè)備管理部門應(yīng)及時(shí)更新設(shè)備檔案中的相關(guān)資料。2.如設(shè)備發(fā)生維修、改造、更換零部件等情況，應(yīng)在檔案中及時(shí)記錄相關(guān)信息。3.定期對(duì)設(shè)備檔案進(jìn)行整理和歸檔，確保檔案資料的規(guī)范性和系統(tǒng)性。（三）檔案查閱與使用1.公司內(nèi)部人員因工作需要查閱設(shè)備檔案時(shí)，應(yīng)填寫檔案查閱申請(qǐng)表，經(jīng)設(shè)備管理部門負(fù)責(zé)人批準(zhǔn)后，方可查閱。2.查閱人員應(yīng)愛護(hù)檔案資料，不得擅自涂改、轉(zhuǎn)借、復(fù)印檔案資料。3.設(shè)備檔案僅供公司內(nèi)部使用，如需對(duì)外提供檔案資料，應(yīng)按照公司相關(guān)規(guī)定辦理審批手續(xù)。八、設(shè)備清潔與消毒（一）清潔要求1.設(shè)備管理部門應(yīng)制定設(shè)備清潔標(biāo)準(zhǔn)和操作規(guī)程，明確設(shè)備清潔的部位、方法、頻次等要求。2.設(shè)備操作人員應(yīng)按照清潔標(biāo)準(zhǔn)和操作規(guī)程對(duì)設(shè)備進(jìn)行日常清潔，確保設(shè)備表面無灰塵、油污、雜物等。3.定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行全面清潔，包括設(shè)備內(nèi)部的清潔，防止污染物積聚影響設(shè)備性能和產(chǎn)品質(zhì)量。（二）消毒要求1.根據(jù)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝要求和車間潔凈環(huán)境要求，對(duì)設(shè)備進(jìn)行定期消毒。2.消毒方法應(yīng)選擇對(duì)設(shè)備材質(zhì)無腐蝕、對(duì)環(huán)境無污染、消毒效果可靠的消毒劑。3.消毒過程中應(yīng)嚴(yán)格按照消毒劑的使用說明進(jìn)行操作，確保消毒效果。（三）清潔與消毒記錄1.設(shè)備操作人員應(yīng)做好設(shè)備清潔與消毒記錄，記錄清潔與消毒的時(shí)間、部位、使用的清潔劑和消毒劑名稱、操作人員等信息。2.清潔與消毒記錄應(yīng)保存完整，以備追溯和查詢。九、設(shè)備校準(zhǔn)與計(jì)量（一）校準(zhǔn)計(jì)劃制定1.設(shè)備管理部門應(yīng)根據(jù)設(shè)備的精度要求、使用頻率及國(guó)家相關(guān)計(jì)量法規(guī)，制定設(shè)備校準(zhǔn)計(jì)劃。2.校準(zhǔn)計(jì)劃應(yīng)明確校準(zhǔn)的設(shè)備名稱、型號(hào)、校準(zhǔn)周期、校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)等信息。3.校準(zhǔn)計(jì)劃應(yīng)確保設(shè)備的計(jì)量性能始終處于準(zhǔn)確可靠的狀態(tài)，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝要求。（二）校準(zhǔn)實(shí)施1.按照校準(zhǔn)計(jì)劃，設(shè)備管理部門組織將設(shè)備送至具備資質(zhì)的校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)進(jìn)行校準(zhǔn)。2.在設(shè)備校準(zhǔn)過程中，設(shè)備管理部門應(yīng)安排專人跟蹤校準(zhǔn)進(jìn)度，確保校準(zhǔn)工作按時(shí)完成。3.設(shè)備校準(zhǔn)完成后，設(shè)備管理部門應(yīng)及時(shí)獲取校準(zhǔn)證書，并將校準(zhǔn)結(jié)果記錄在設(shè)備檔案中。（三）計(jì)量器具管理1.對(duì)于用于檢測(cè)、測(cè)量等的計(jì)量器具，設(shè)備管理部門應(yīng)按照國(guó)家計(jì)量法規(guī)的要求進(jìn)行管理。2.建立計(jì)量器具臺(tái)賬，記錄計(jì)量器具的名稱、型號(hào)、規(guī)格、購(gòu)置時(shí)間、校準(zhǔn)周期、校準(zhǔn)結(jié)果等信息。3.定期對(duì)計(jì)量器具進(jìn)行檢查，確保計(jì)量器具的準(zhǔn)確性和可靠性。對(duì)于超過校準(zhǔn)周期或校準(zhǔn)不合格的計(jì)量器具，應(yīng)停止使用，并及時(shí)進(jìn)行維修或報(bào)廢處理。十、設(shè)備安全管理（一）安全操作規(guī)程制定1.設(shè)備管理部門應(yīng)根據(jù)設(shè)備的特點(diǎn)和運(yùn)行要求，制定設(shè)備安全操作規(guī)程。2.安全操作規(guī)程應(yīng)明確設(shè)備操作過程中的安全注意事項(xiàng)，如防止觸電、防止機(jī)械傷害、防止火災(zāi)爆炸等。3.安全操作規(guī)程應(yīng)張貼在設(shè)備顯眼位置，便于操作人員隨時(shí)查看。（二）安全培訓(xùn)1.新設(shè)備投入使用前，設(shè)備管理部門應(yīng)組織設(shè)備操作人員進(jìn)行安全培訓(xùn)。2.安全培訓(xùn)內(nèi)容應(yīng)包括設(shè)備安全操作規(guī)程、安全事故案例分析、安全防護(hù)知識(shí)等。3.培訓(xùn)結(jié)束后，應(yīng)對(duì)操作人員進(jìn)行安全考核，考核合格后方可上崗操作設(shè)備。（三）安全檢查1.設(shè)備管理部門應(yīng)定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行安全檢查，檢查設(shè)備的安全防護(hù)裝置是否完好有效，電氣系統(tǒng)是否安全可靠，機(jī)械部件是否運(yùn)行正常等。2.安全檢查可采用日常檢查、專項(xiàng)檢查、定期檢查等多種方式進(jìn)行。3.對(duì)檢查中發(fā)現(xiàn)的安全隱患，應(yīng)立即下達(dá)整改通知，要求相關(guān)責(zé)任人限期整改。整改完成后，應(yīng)進(jìn)行復(fù)查，確保安全隱患得到徹底消除。（四）安全事故處理1.設(shè)備運(yùn)行過程中如發(fā)生安全事故，設(shè)備操作人員應(yīng)立即停止設(shè)備運(yùn)行，并