工業(yè)產(chǎn)品幾何量檢測 課件 4-1-4-1干涉顯微鏡儀器簡介_第1頁
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模塊四零件表面粗糙度檢測201XX工業(yè)產(chǎn)品幾何量檢測知識點(diǎn)：干涉法測量表面粗糙度一干涉顯微鏡儀器簡介任務(wù)九零件表面粗糙度檢測二測量方法干涉顯微鏡儀器簡介1.干涉顯微鏡儀器簡介干涉顯微鏡通過測不平度高度，用公式計(jì)算Rz，主要測Rz，Ry，，表面太粗糙則不能形成干涉條紋,所以Rz=（0.05～0.8）μm.

干涉顯微鏡是利用光波干涉原理，將具有微觀不平的被測表面與標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)鏡面相比較，用光波波長為基準(zhǔn)來測量工件表面粗糙度。干涉顯微鏡儀器簡介干涉顯微鏡主要測Rz：Rz=0.05-0.8μm.干涉顯微鏡外形圖干涉顯微鏡儀器簡介2.干涉顯微鏡儀器光學(xué)系統(tǒng)干涉顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng)見圖所示。干涉顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng)圖干涉顯微鏡儀器簡介

從光源1發(fā)出的光束，經(jīng)過分光鏡9分為兩束光。一束透過分光鏡9、補(bǔ)償板10，射向被測工件表面，由工件反射后經(jīng)原路返回至分光鏡9，射向觀察目鏡20。另一束光通過分光鏡9反射到標(biāo)準(zhǔn)參考鏡13，由13反射并透過分光鏡9，也射向觀察目鏡20。這兩束光線間存在光程差，相遇時，產(chǎn)生光波干涉，形成明暗相間的干涉條紋。干涉顯微鏡儀器簡介若工件表面為理想平面，則干涉條紋為等距離平行直紋；若工件表面存在著微觀不平度，通過目鏡將看到如圖所示的彎曲干涉條紋。測出干涉條紋的彎曲度△hi和間隔寬度bi(由光波干涉原理可知，b對應(yīng)于半波長λ/2)。通過下式可計(jì)算出波峰至波谷的實(shí)際高度Yi。干涉顯微鏡儀器簡介式中λ——光波波長自然光（白光）λ=0.66μm綠光（單色光）λ=0.509μm紅光（

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