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文檔簡介

—1—一、建設項目基本情況2503-320214-89-05-201962無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層M7320工程和技術錫新數(shù)投備〔2025〕374號200000.52194.01專項評價的類別設置原則本項目情況判斷結果大氣排放廢氣含有毒有害污染物[1]、二噁英、苯并[a]芘、氰化物、氯氣且廠界外500米范圍內(nèi)有環(huán)境空氣保護目標[2]的建設項目本項目排放廢氣砷化氫,屬于排放廢氣含有毒有害污染物,且廠界外西北側480m處有環(huán)境空氣保護目標-碩放街道辦事處設置大氣專項評價地表水新增工業(yè)廢水直排建設項目(槽罐車外送污水處理廠的除外);新增廢水直排的污水集中處理廠本項目不涉及工業(yè)廢水直接排放無需專項評價環(huán)境風險有毒有害和易燃易爆危險物質存儲量超過臨界量[3]的建設項目。本項目有毒有害和易燃易爆危險物質存儲量未超過臨界無需專項評價—2—生態(tài)取水口下游500米范圍內(nèi)有重要水生生物的自然產(chǎn)卵場、索餌場、越冬場和洄游通道的新增河道取水的污染類建設項目本項目用水依托自來水管網(wǎng),不采用河道取水無需專項評價海洋直接向海排放污染物的海洋工程建設項目不屬于海洋工程建設項目無需專項評價注:1.廢氣中有毒有害污染物指納入《有毒有害大氣污染物名錄》的污染物(不包括無排放標準的污染物)。2.環(huán)境空氣保護目標指自然保護區(qū)、風景名勝區(qū)、居住區(qū)、文化區(qū)和農(nóng)村地區(qū)中人群較集中的區(qū)域。3.臨界量及其計算方法可參考《建設項目環(huán)境風險評價技術導則》(HJ169)附錄B、附錄C。規(guī)劃名稱:《無錫新區(qū)高新產(chǎn)業(yè)區(qū)A區(qū)控制性詳細規(guī)劃A南-站前區(qū)管理單元動態(tài)更新》(2024年4月審批文件及文號:《市政府關于<無錫新區(qū)高新產(chǎn)業(yè)區(qū)A區(qū)控制性詳細規(guī)劃A南-站前區(qū)管理單元動態(tài)更新>的批復》錫政復[2014]32號規(guī)劃環(huán)評:《無錫國家高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)開發(fā)建設規(guī)劃(2022-2035年)環(huán)境影響報告書》于2024年2月取得江蘇省生態(tài)環(huán)境廳審查意見(審本項目位于無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層,根據(jù)《無錫新區(qū)高新產(chǎn)業(yè)區(qū)A區(qū)控2、與園區(qū)規(guī)劃相符性分析無錫市新吳區(qū)高新區(qū)規(guī)劃范圍西至京杭運河、滬寧鐵路、滬寧高速公路;北至旺莊路、春豐路;東至伯瀆港、梅育路;南至鴻山路、新十—3—積33km2。B區(qū)規(guī)劃范圍西至滬寧高速公路,東至伯瀆港、梅育路,南至錫東大道,面積12.5km2。C區(qū)規(guī)劃范圍西至錫東大道、滬寧高速公路,北至伯瀆港,東至鴻山路、新十西路、南至錦鴻路、鴻八路,面積定位為以產(chǎn)業(yè)特點鮮明、區(qū)域功能完善、人文環(huán)境優(yōu)越、經(jīng)濟社會和諧為主要特點的長三角示范、國內(nèi)領先、國際一流的創(chuàng)新型國際化科發(fā)展目標為國際先進制造業(yè)集聚區(qū),國家科技創(chuàng)新先導區(qū),蘇南國高新區(qū)重點發(fā)展電子信息、光機電、生物工程及醫(yī)療、精細化工、新材料等高新技術產(chǎn)業(yè)。目前,全區(qū)已形成了鋰電池、硬盤、數(shù)碼相機、液晶顯示產(chǎn)品、電子元器件、汽車零部件等十大產(chǎn)品集群,區(qū)內(nèi)匯集了近50家全球500強公司投資的70個項目。“一心”:位于旺莊路以南,以行政中心為核心,與周邊商業(yè)服務設施、文化設施等形成城市公建中心,是無錫新區(qū)的行政中心、金融、“四軸”:江海路(現(xiàn)機場路)、新錫路(現(xiàn)吳都路)、滬寧高速);本項目位于無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層,屬于高新A區(qū),主要從事于化學氣相沉積設備研發(fā)測試,屬于M7320工程和技術研究和試驗發(fā)展,為電子行業(yè)配套產(chǎn)業(yè),—4—本項目與《省生態(tài)環(huán)境廳關于無錫國家高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)開發(fā)建設規(guī)劃(2022-2035年)環(huán)境影響報告書的審查意見》蘇環(huán)審[2024]9號相表1-1本項目與環(huán)審[2024]9號相符性分析序號審查意見相符性分析相符性1嚴格空間管控,優(yōu)化空間布局。高新區(qū)內(nèi)綠地及水域在規(guī)劃期內(nèi)禁止開發(fā)利用。落實《報告書》提出的現(xiàn)有環(huán)境問題整改措施,加快推進正大萬物城、旺莊南片部分區(qū)域鄰近居民區(qū)企業(yè)退出進程,諾翔新材料、復恩特生物、益明光電等7家企業(yè)于2025年底前關閉退出,減緩區(qū)內(nèi)工居混雜矛盾。強化工業(yè)企業(yè)退出和產(chǎn)業(yè)升級過程中的污染防治、生態(tài)修復。嚴格落實企業(yè)衛(wèi)生防護距離要求,企業(yè)衛(wèi)生防護距離內(nèi)不得規(guī)劃布局敏感目標。加強工業(yè)區(qū)與居住區(qū)生活空間的防護,推進區(qū)內(nèi)空間隔離帶建設,確保高新區(qū)產(chǎn)業(yè)布局與生態(tài)環(huán)境保護、人居環(huán)境安全相協(xié)調。于新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園工業(yè)企業(yè),周不涉及居住區(qū);建設單位無衛(wèi)生防護距離。相符2嚴守環(huán)境質量底線,實施污染物排放限值限量管理。落實國家和江蘇省關于大氣、水、土壤、噪聲污染防治、區(qū)域生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控、工業(yè)園區(qū)(集中區(qū))污染物排放限值限量管理相關要求,建立以環(huán)境質量為核心的污染物總量控制管理體系,實施主要污染物排放濃度和總量“雙管控"。2025年,高新區(qū)環(huán)境空氣細顆粒物(PM2.5)年均濃度應達到25微克/立方米;納污水體周涇浜、梅花港應穩(wěn)定達到IV類水質標準,京杭運河(江南運河)穩(wěn)定達到III類水質標準。水污染物經(jīng)處理后達標排放,且落實了求。本項目廢氣污染物經(jīng)處理后達標排放,不涉及總量管理要求。相符3加強源頭治理,協(xié)同推進減污降碳。嚴格落實生態(tài)環(huán)境準入清單,落實《報告書》提出的生態(tài)環(huán)境準入要求,嚴格限制與主導產(chǎn)業(yè)不相關且排污負荷大的項目入?yún)^(qū),執(zhí)行最嚴格的廢水、廢氣排放控制要求。強化企業(yè)特征污染物排放控制、高效治理設施建設,落實精細化管控要求,有效防治集成電路、智能裝備等產(chǎn)業(yè)的酸霧、異味污染。引進項目的生產(chǎn)工藝、設備,以及單位產(chǎn)品水耗、能耗、污染物排放和資源利用效率等應達到同行業(yè)國際先進水平。全面開展清潔生產(chǎn)審核,推動重點行業(yè)依法實施強制性審核,引導其他行業(yè)自覺自愿開展審核,不斷提高現(xiàn)有企業(yè)清潔生產(chǎn)和污染治理水平。根據(jù)國家和地方碳減排、碳達蜂行動方案和路化學氣相沉積設備研發(fā)測試行業(yè)配套產(chǎn)導產(chǎn)業(yè)結構相符。項目產(chǎn)生的廢氣經(jīng)“干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋”吸附處理后達標排放。本項目研發(fā)工藝、設備,以及單相符—5—456徑要求,推進高新區(qū)綠色低碳轉型發(fā)展,優(yōu)化產(chǎn)業(yè)結構、能源結構、交通運輸?shù)纫?guī)劃內(nèi)容,實現(xiàn)減污降碳協(xié)同增效目標。位產(chǎn)品水耗、能耗、污染物排放和資源利用效率等應達先進水平。相符相符相符完善環(huán)境基礎設施建設,提高基礎設施運行效能。加強對區(qū)內(nèi)污水、雨水管網(wǎng)敷設情況的排查,完善區(qū)域雨污水管網(wǎng)建設。加快新城水處理二廠擴建工程和梅村水處理廠提標改造工程建設,確保工業(yè)廢水與生活污水分類收集、分質處理。開展區(qū)內(nèi)入河排污口排查及規(guī)范化整治,建立名錄,強化入河排污口監(jiān)督管理,有效管控入河污染物排放。加強高新區(qū)固體廢物資源化、減量化、無害化處理,一般工業(yè)固廢、危險廢物應依法依規(guī)收集、處理處置,做到”就地分類收集、就近轉移處置"。針對區(qū)內(nèi)科創(chuàng)平臺、桶提升園區(qū)危廢監(jiān)管智能化水平。于新城水處理廠的納管范圍內(nèi),生活污水經(jīng)化糞池預處理與冷卻水排水一同接管至廠。建立健全環(huán)境監(jiān)測監(jiān)控體系。開展包括環(huán)境空氣、地表水、地下水、土壤、底泥等環(huán)境要素的長期跟蹤監(jiān)測與管理。結合區(qū)域跟蹤監(jiān)測情況,動態(tài)調整高新區(qū)開發(fā)建設規(guī)模和時序進度,優(yōu)化生態(tài)環(huán)境保護措施,確保區(qū)域環(huán)境質量不惡化。對于企業(yè)關閉、搬遷遺留的污染地塊應依法開展土壤污染狀況調查、治理與修復工作。嚴格落實環(huán)境質量監(jiān)測要求,建立高新區(qū)土壤和地下水隱患排查制度并納入監(jiān)控預警體系。探索開展新污染物環(huán)境本底調查監(jiān)測,依法公開新污染物信息。指導區(qū)內(nèi)企業(yè)規(guī)范安裝在線監(jiān)測設備并聯(lián)網(wǎng),推進區(qū)內(nèi)排污許可重點管理單位自動監(jiān)測全覆蓋;暫不具備安裝在線監(jiān)測設備條件的企業(yè),應做好委托監(jiān)測工作。積極推進氯化物污染物排放及水環(huán)境質量的監(jiān)測監(jiān)控,區(qū)內(nèi)重點涉氯企業(yè)雨水、污水排放口應安裝氯化物自動監(jiān)控系統(tǒng)并聯(lián)網(wǎng)。設后將按要求作。本項目不涉及氯化物的排放。健全環(huán)境風險防控體系,提升環(huán)境應急能力。進一步完善高新區(qū)突發(fā)水污染事件風險防控體系建設,確保“小事故不出廠區(qū)、大事故不出園區(qū)”。加強環(huán)境應急基礎設施建設,配備充足的應急裝備物資,提高環(huán)境應急救援能力。建立健全環(huán)境風險評估和應急預案制度,定期開展環(huán)境應急演練,完善環(huán)境應急響應聯(lián)動機制,提升應急實戰(zhàn)水平。建立突發(fā)環(huán)境事件隱患排查長效機制,定期排查突發(fā)環(huán)境事件隱患,建立隱患清單并督促整改到位,保障區(qū)域環(huán)境安全。重點關注并督促指導涉重金屬企業(yè)構筑“風險單元-管網(wǎng)、應急池”。成后應及時編制并完成突發(fā)環(huán)境時間應急預案備案。并按要求落實風險防范措施、應急物資、應急演練和記錄排查制度等,保障區(qū)域環(huán)境安全。—6—其他符合性分析本項目為新建項目,屬于《國民經(jīng)濟行業(yè)分類標準(2017年本)》中的M7320工程和技術研究和試驗發(fā)展。本項目產(chǎn)業(yè)政策文件對照情況表1-2產(chǎn)業(yè)政策相符性分析一覽表序號文件名稱本項目情況相符性1《產(chǎn)業(yè)結構調整指導目錄(2024年本)》(發(fā)改委第7號)本項目不屬于鼓勵類、限制類和淘汰類。相符2《市場準入負面清單(2022年版)》(發(fā)改體改規(guī)【2022】397本項目不屬于禁止準入類和許可準入類。相符3外商投資準入特別管理措施(負面清單2024年版)》(發(fā)改委、商務部令第23號)本項目不在“特別管理措施(負面清單)相符4《鼓勵外商投資產(chǎn)業(yè)目錄(2022年版)》(商務部令第52號)本項目不在“鼓勵外商投資產(chǎn)業(yè)目錄內(nèi)”。相符5《環(huán)境保護綜合名錄(2021年版)》(環(huán)辦綜合函【2021】495本項目不屬于高污染、高環(huán)境風險產(chǎn)品名錄。相符6《長江經(jīng)濟帶發(fā)展負面清單指南(試行,2022年版)》(長江辦【2022】7號)本項目不在“長江經(jīng)濟帶發(fā)展負面清單指南相符7《江蘇省產(chǎn)業(yè)結構調整限制、淘汰和禁止目錄》(2018年本)本項目不屬于限制類、淘汰類和禁止類項目。相符8《江蘇省工業(yè)和信息產(chǎn)業(yè)結構調整限制、淘汰目錄和能耗限額(2015年本)》(蘇政辦發(fā)本項目不屬于限制類、淘汰類和能耗限額項相符9《江蘇省“兩高”項目管理目錄(2024年版)》(蘇發(fā)改規(guī)發(fā)【2024】4號)本項目不屬于“兩高”項目。相符《江蘇省太湖流域禁止和限制的產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)目錄(2024版)》(蘇發(fā)改規(guī)發(fā)〔2024〕3號)本項目不屬于禁止類、限制類和淘汰類項目。相符《無錫市產(chǎn)業(yè)結構調整指導目錄(試行)》(錫政辦發(fā)【2008】6本項目屬于鼓勵類,“第三類鼓勵類三、第三產(chǎn)業(yè)中的(三)科技設計產(chǎn)業(yè)1.工程(技術)研究中心、企業(yè)技術中心、重點實驗室、科研中試基地、實驗基地等科技企業(yè)及載體……”。相符《無錫市制造業(yè)轉型發(fā)展指導目錄(2012年本)》(錫政辦發(fā)2013【54】號)本項目不屬于鼓勵類、限制類和淘汰類。相符—7—2、與太湖水污染防治相關法規(guī)相符性分析湖流域劃分為三級保護區(qū):太湖湖體、沿湖岸5公里區(qū)域、入湖河道上50公里以及沿岸兩側各1公里范圍為二級保護區(qū);其他地區(qū)為三級保護區(qū)。根據(jù)《省政府辦公廳關于公布江蘇省太湖流域三級保護區(qū)范圍的通知》(蘇政辦發(fā)[2012]221號“決定將太湖湖體、木瀆等15個風景名勝區(qū)、萬石鎮(zhèn)等48個鎮(zhèn)(街道、開發(fā)區(qū)等)劃入太湖流域一級保護區(qū),將和橋鎮(zhèn)等42個鎮(zhèn)(街道、開發(fā)區(qū)、農(nóng)場等)劃入太湖流域二級保護本項目位于無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層,根據(jù)蘇政辦發(fā)[2012]221號并通過對現(xiàn)場核查,本項《江蘇省太湖水污染防治條例》第四十三條規(guī)定:太湖流域一、(一)新建、改建、擴建化學制漿造紙、制革、釀造、染料、印染、電鍍以及其他排放含磷、氮等污染物的企業(yè)和項目,城鎮(zhèn)污水集中(三)向水體排放或者傾倒油類、酸液、堿液、劇毒廢渣廢液、含(四)在水體清洗裝貯過油類或者有毒有害污染物的車輛、船舶和—8—(八)違法開山采石,或者進行破壞林木、植被、水生生物的活第四十四條規(guī)定:除二級保護區(qū)規(guī)定的禁止行為以外,太湖流域一(二)在國家和省規(guī)定的養(yǎng)殖范圍外從事網(wǎng)圍、網(wǎng)箱養(yǎng)殖,利用蝦除城鎮(zhèn)污水集中處理設施依法設置的排污口外,一級保護區(qū)內(nèi)已經(jīng)根據(jù)《太湖流域管理條例》(中華人民共和國國務院令第604號,第二十八條“禁止在太湖流域設置不符合國家產(chǎn)業(yè)政策和水環(huán)境綜合治理要求的造紙、制革、酒精、淀粉、冶金、釀造、印染、電鍍等排放水污染物的生產(chǎn)項目,現(xiàn)有的生產(chǎn)項目不能實現(xiàn)達標排放的,應當依法關閉。”—9—第二十九條新孟河、望虞河以外的其他主要入太湖河道,自河口1第三十條太湖岸線內(nèi)和岸線周邊5000米范圍內(nèi),淀山湖岸線內(nèi)和岸線周邊2000米范圍內(nèi),太浦河、新孟河、望虞河岸線內(nèi)和岸線兩側各1000米范圍內(nèi),其他主要入太湖河道自河口上溯至1萬米河道岸線內(nèi)及(一)設置劇毒物質、危險化學品的貯存、輸送設施和廢物回收已經(jīng)設置前款第一項、第二項規(guī)定設施的,當?shù)乜h級人民政府應當本項目主要從事化學氣相沉積設備的研發(fā)測試,不涉及太湖流域一級、二級、三級保護區(qū)相關禁止行為。本項目生活污水經(jīng)化糞池預處理后和冷卻水排水一同接管至新城水處理廠;固廢分類妥善處置,實現(xiàn)“零”排放。因此,建設項目的建設滿足上述《江蘇省太湖水污染防治條例》和《太湖流域管理條例》的要求。3、與“三線一單”相符性分析根據(jù)《江蘇省國家級生態(tài)保護紅線規(guī)劃》(蘇政發(fā)[2018]74號)將—10—生態(tài)保護紅線分為陸域生態(tài)保護紅線和海域生態(tài)保護紅線共兩大類,陸域生態(tài)保護紅線主要有自然保護區(qū)、森林公園的生態(tài)保育區(qū)和核心景觀區(qū)、風景名勝區(qū)的一級保護區(qū)、地質公園的地質遺跡保護區(qū)、濕地公園的濕地保育區(qū)和恢復重建區(qū)、飲用水水源保護地、水產(chǎn)種質資源保護區(qū)的核心區(qū)、重要湖泊濕地的核心保護區(qū)域;海域生態(tài)保護紅線主要有自然保護區(qū)、海洋特別保護區(qū)、重要河口生態(tài)系統(tǒng)、重要濱海濕地、重要漁業(yè)海域、特殊保護海島、重要濱海旅游區(qū)、重要砂質岸線及鄰近海根據(jù)《江蘇省生態(tài)空間管控區(qū)域規(guī)劃(蘇政發(fā)〔2020〕1號)》將江蘇省具有重要生態(tài)服務功能的區(qū)域分為自然保護區(qū)、風景名勝區(qū)、森林公園、地質遺跡保護區(qū)、濕地公園、飲用水水源保護區(qū)、海洋特別保護區(qū)、洪水調蓄區(qū)、重要水源涵養(yǎng)區(qū)、重要漁業(yè)水域、重要濕地、清水通道維護區(qū)、生態(tài)公益林、太湖重要保護區(qū)、特殊物種保護區(qū)等15種類本項目位于無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層,結合《江蘇省國家級生態(tài)保護紅線規(guī)劃》(蘇政發(fā)[2018]74號)和《江蘇省生態(tài)空間管控區(qū)域規(guī)劃》(蘇政發(fā)〔2020〕1號本項目與國家級及江蘇省生態(tài)紅線最近保護目標之間關系見下表1-3重要生態(tài)功能區(qū)一覽表環(huán)境要素生態(tài)紅線名稱主導生態(tài)功能方位距離紅線區(qū)域范圍生態(tài)紅線類別生態(tài)環(huán)境貢湖錫東飲用水水源保護區(qū)飲用水水源保護區(qū)西南500024.44km2江蘇省國家級生態(tài)保護紅線規(guī)劃區(qū)域太湖(無錫市區(qū))重要保護區(qū)濕地生態(tài)系統(tǒng)保護西南2500429.47km2生態(tài)空間管控區(qū)由上表可知,項目符合《江蘇省國家級生態(tài)保護紅線規(guī)劃》(蘇政發(fā)〔2018〕74號)以及《江蘇省生態(tài)空間管控區(qū)域規(guī)劃》(蘇政發(fā)—11—②與《生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控管理暫行規(guī)定》(環(huán)環(huán)評[2024]41號)、《2023年生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控成果動態(tài)更新工作方案》(環(huán)辦環(huán)評函﹝2023﹞81號)、《江蘇省2023年度生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控動態(tài)更新成果》、《關于印發(fā)無錫市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控實施方案的通知》(錫環(huán)委辦[2020]40號)相符性分析根據(jù)《生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控管理暫行規(guī)定》(環(huán)環(huán)評[2024]41號建設項目開展環(huán)評工作初期,應分析與生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控要求的符合性,對不滿足要求的,應進一步論證其生態(tài)環(huán)境可行性,優(yōu)化調整項目建設內(nèi)容或重新選址。建設項目環(huán)評審批部門開展審批時,應重點審查項目選址選線、生態(tài)影響、污染物排放、風險防范等與生態(tài)環(huán)境分區(qū)管劃定環(huán)境管控單元分為優(yōu)先保護單元、重點管控單元和一般管控單元三類,實施分類管控。本項目位于“江蘇無錫空港經(jīng)濟開發(fā)區(qū)”范圍內(nèi),屬于重點管控單元,環(huán)境管控單元編碼:ZH32021420165,不涉及優(yōu)先保護單元。本項目通過江蘇省生態(tài)環(huán)境廳江蘇省生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控綜合件17),對照《無錫市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控實施方案》(錫環(huán)委辦[2020]40號),本項目的建設不在該文件的負面清單之內(nèi),符合表1-4與生態(tài)環(huán)境管控單元準入清單相符性分析序號類別本項目情況相符性一《江蘇省2023年度生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控動態(tài)更新成果公告》、《關于印發(fā)無錫市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控實施方案的通知》(錫環(huán)委辦[2020]40號)1空間布局約束(1)限制引進排放含重金屬廢水和廢氣排放量大的建設項目。(2)禁止新建、改建、擴建化學制漿造紙、制革、釀造、染料、印染、電鍍以及其他排放含氮、磷等污染物的企業(yè)和項目,城鎮(zhèn)污水集中處理等環(huán)境基礎設施項目和《江蘇省太湖水污染防治條例》第四十六條規(guī)定的情形除外。本項目不涉及含重金屬廢水的產(chǎn)生及排放,廢氣排放量少;不涉及造紙、制革、釀造、染料、印染、電鍍等行業(yè),無含氮磷的生產(chǎn)廢水的排放。符合準入清單相符—12—(3)嚴格控制含重金屬污染物排放項目的入園。要求。2污染物排放管控(1)嚴格實施污染物總量控制制度,根據(jù)區(qū)域環(huán)境質量改善目標,采取有效措施減少主要污染物排放總量,確保區(qū)域環(huán)境質量持續(xù)改善。園區(qū)污染物排放總量不得突破環(huán)評報告及批復的總量。本項目污染物排放總量已落實,符合要求相符3環(huán)境風險(1)加強對各入?yún)^(qū)企業(yè)的管理,要求企業(yè)對各種生產(chǎn)裝置,尤其是物料貯罐、循環(huán)輸送泵等采取相應防護措施,預防火災等生產(chǎn)事故發(fā)生。同時,要求入?yún)^(qū)企業(yè)提高操作、管理人員的技術、管理水平,嚴格執(zhí)行有關操作規(guī)程和管理制度,預防人為因素釀成安全和環(huán)境污染事故,減少事故發(fā)生頻率及危害。鎮(zhèn)區(qū)與工業(yè)園區(qū)之間、望虞河沿岸須設置100米以上的空間防護緩沖帶,園區(qū)與鎮(zhèn)區(qū)、主要道路與河道兩岸須設足夠寬度的綠化帶。區(qū)內(nèi)現(xiàn)有居民點應當按照計劃實施搬遷,已批準入?yún)^(qū)企業(yè)衛(wèi)生防護距離內(nèi)的居民必須立即搬遷。本項目園區(qū)已建立健全環(huán)境風險管控體系。本項目位于工業(yè)園區(qū),距離望虞河(無錫市區(qū))清水通道維護相符4資源開發(fā)效率要求(1)單位工業(yè)增加值綜合能耗0.2噸標煤/萬元。單位工業(yè)用地工業(yè)增加值15億元/km2。(2)單位工業(yè)增加值新鮮水耗3m3/萬元。(3)工業(yè)用水重復利用率(4)工業(yè)固體廢物綜合利用率禁止銷售使用燃料為“Ⅱ類”(較嚴),具體包括:1、除單臺出力大于等于20蒸噸/小時鍋爐以外燃用的煤炭及其制品。2、石油焦、油頁巖、原油、重油、渣油、煤焦油。本項目租賃現(xiàn)有廠房,不新增用地。本項目建成后單位工業(yè)增加值新鮮水耗低于3m3/萬元。工業(yè)用水重復利用率高于85%。工業(yè)固體廢物“零”排放。本項目不涉及“Ⅱ類”燃料的銷售使用。相符二《2023年生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控成果動態(tài)更新工作方案》(環(huán)辦環(huán)評函﹝2023)81號)1項目準入1、禁止引入《環(huán)境保護綜合名錄》所列“高污染、高風險”產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè);2、禁止引入純電鍍等污染嚴重項目;3、禁止引入新增鑄造產(chǎn)能建設項目,必須嚴格實施等量或減量置換,且原則上應使用天然氣或電等清潔能源。本項目產(chǎn)品不涉及電鍍、鑄造等高污染、高環(huán)境風險等相符空間布局嚴格落實《江蘇省生態(tài)空間管控本項目距離望相符—13—約束區(qū)域規(guī)劃》《江蘇省生態(tài)空間管控區(qū)域調整管理辦法》《江蘇省生態(tài)空間(無錫市區(qū))清水通道維護區(qū)內(nèi)不得開展有損主導生態(tài)功能的開發(fā)建設活動。虞河(無錫市區(qū))清水通道維護區(qū)約2.6km,不在望虞河(無錫市區(qū))清水通道維護區(qū)范圍太湖岸線周邊5000米范圍內(nèi)、望虞河岸線內(nèi)和岸線兩側1000米范圍內(nèi)不得設置劇毒物質、危險化學品的貯存、輸送設施和廢物回收場、垃圾場,嚴格落實《太湖流域管理條例》《江蘇省太湖水污染防治條例》相關管理要求。本項目距離太湖約2.5km,距離望虞河(無錫市區(qū))清水通道維護區(qū)約相符區(qū)內(nèi)永久基本農(nóng)田區(qū)域實行嚴格保護,除法律規(guī)定的重點建設項目選址確實無法避讓外,其他任何項目不得占用。本項目不占用永久基本農(nóng)田。相符工業(yè)用地與居住用地、主要道路與河道兩岸須設足夠寬度的綠化帶。本項目所在地為生產(chǎn)研發(fā)用地。相符污染物排放管控環(huán)境質量:大氣環(huán)境質量達到《環(huán)境空氣質量標準》二級標準,2025年PM2.5年均值達到28微克/立方米;走馬塘、望虞河水環(huán)境質量達《地表水環(huán)境環(huán)境質量》III類水標準;京杭運河水環(huán)境質量達《地表水環(huán)境環(huán)境質量》IV類水標準;土壤達到《土壤環(huán)境質量建設用地土壤污染風險管控標準(試行)》(GB36600-2018)篩選值中的第一類、第二類用地標準。區(qū)域大氣環(huán)境臭氧濃度未達標,其余指標均已達標,區(qū)域已制定限期達標規(guī)劃。根據(jù)環(huán)境質量狀況公報,項目所在地地表水、土壤、地下水等均達到相應環(huán)境質量標準。相符總量控制:大氣污染物排放量:近期二氧化硫12.1噸/年、氮氧化物44.0噸/年、顆粒物205噸/年、揮發(fā)性有機物70.47噸/年;遠期二氧化硫1.28噸/年、氮氧化物9.1噸/年、顆粒物13.8噸/年、揮發(fā)性有機物37.39噸/年。水污染物排放量:近期廢水排放量1317萬噸/年,化學需氧量526.7噸/年、氨氮39.5噸/年、總氮131.7噸/年、總磷4.0噸/年;遠期廢水排放量1504萬噸/年,化學需氧量601.4噸/年、氨氮45.1噸/年、總氮150.4噸/年、總磷4.51噸/年。本項目新增廢氣在新吳區(qū)范圍內(nèi)平衡,新增廢水污染物在新城水處理廠范圍內(nèi)平衡。不會突破區(qū)域污染物排放總量控制指標。相符其他要求:所有產(chǎn)生顆粒物或VOCs的工序應配備高效收集和處理裝置,物料儲存、輸送等環(huán)節(jié)在保障安全生產(chǎn)的前提下,應采取密閉、封閉等有效措施控制無組織排放。本項目研發(fā)產(chǎn)生的廢氣由設備密閉收集,經(jīng)“干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋”處理后,尾氣通過25m高排氣筒高空排放;物相符—14—料儲存、輸送均密環(huán)境風險管控開發(fā)區(qū)應定期編制環(huán)境風險評估報告和應急預案;對于涉及易導致環(huán)境風險的有毒有害和易燃易爆物質的生產(chǎn)、使用、排放、貯存的企業(yè),必須編制環(huán)境風險應急預案和風險評估報告并備案,嚴格按要求完善環(huán)境風險防范措施,定期開展演練。本項目建成后將按照要求編制環(huán)境風險應急預案和風險評估并備案,嚴格做好風險防范措施,并做好應急演練。相符企業(yè)事業(yè)單位拆除設施、設備或者建筑物、構筑物的,應當采取相應的土壤污染防治措施。土壤污染重點監(jiān)管單位拆除設施、設備或者建筑物、構筑物的,應當制定包括應急措施在內(nèi)的土壤污染防治工作方案,報地方人民政府生態(tài)環(huán)境、工業(yè)和信息化主管部門備案并實施。本項目為新建項目,租賃現(xiàn)有空置廠房,不涉及拆除。相符資源開發(fā)利用要求土地資源可利用總面積上線21.9平方公里,建設用地總面積上線(遠期)18.6平方公里,工業(yè)用地總面積上線(遠期)2.41平方公里。本項目不新增占地,租賃現(xiàn)有空置廠房從事研發(fā)工作。相符禁止銷售使用燃料為“III類”(嚴格),具體包括:①煤炭及其制品(包括原煤、散煤、煤旰石、煤、煤粉泥、水煤漿、型煤、焦炭、蘭炭等);②石油焦、油頁巖、原油、重油、渣油、煤焦油;③非專用鍋爐或未配置高效除塵設施的專用鍋爐燃用的生物質成型燃料;④國家規(guī)定的其它高污染燃料。本項目不銷售相符項目所在地大氣環(huán)境為環(huán)境空氣質量功能二類地區(qū),根據(jù)《無錫市環(huán)境狀況公報》(2023年度)的無錫市區(qū)基本污染物質量監(jiān)測數(shù)據(jù),評價區(qū)各測點大氣因子除O3外,其余均能達到《環(huán)境空氣質量標準》(GB3095-2012)的二級標準,根據(jù)通過審批的《無錫市大氣環(huán)境質量限期達標規(guī)劃》相關內(nèi)容可知,無錫市環(huán)境空氣質量2025年可實現(xiàn)全面達標;建設項目周邊主要水體為京杭運河,京杭運河新城水處理廠排污口上游500m和下游1000m監(jiān)測斷面COD、SS、氨氮、總磷、總氮監(jiān)測值能滿足《地表水環(huán)境質量標準》(GB3838-2002)Ⅳ類標準要求。項目所在地聲環(huán)境質量滿足《聲環(huán)境質量標準》(GB3096-2008)3類聲環(huán)境—15—功能區(qū)噪聲要求。本項目廢水、廢氣、固廢均得到合理處置,噪聲對周邊影響較小,不會突破項目所在地環(huán)境質量底線。因此項目的建設符合土地資源:本項目在高新區(qū)規(guī)劃工業(yè)用地內(nèi)實施,未突破高新區(qū)土水資源及能耗:本項目給水、供電、供氣由高新區(qū)市政統(tǒng)一供給,>江蘇省實施細則》(長江辦[2022]55號分析本項目與環(huán)境準入負表1-5本項目與長江辦[2022]55號相符性分析序號本項目情況相符性1禁止建設不符合國家港口布局規(guī)劃和《江年)》《江蘇省內(nèi)河港口布局規(guī)劃(2017-2035年)》以及我省有關港口總體規(guī)劃的碼頭項目,禁止建設未納入《長江干線過江通道布局規(guī)劃》的過長江通道項目。本項目不屬于碼頭項目。符合2嚴格執(zhí)行《中華人民共和國自然保護區(qū)條例》,禁止在自然保護區(qū)核心區(qū)、緩沖區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi)投資建設旅游和生產(chǎn)經(jīng)營項目。嚴格執(zhí)行《風景名勝區(qū)條例》《江蘇省風景名勝區(qū)管理條例》,禁止在國家級和省級風景名勝區(qū)核心景區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi)投資建設與風景名勝資源保護無關的項目。本項目不位于自然保護區(qū)核心區(qū)、緩沖區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi),以及不位于風景名勝區(qū)核心景區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi)。符合3嚴格執(zhí)行《中華人民共和國水污染防治法》《江蘇省人民代表大會常務委員會關于加強飲用水源地保護的決定》《江蘇省水污染防治條例》,禁止在飲用水水源一級保護區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi)新建、改建、擴建與供水設施和保護水源無關的項目,以及網(wǎng)箱養(yǎng)殖、畜禽養(yǎng)殖、旅游等可能污染飲用水水體的投資建設項目。禁止在飲用水水源二級保護區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi)新建、改建、擴建排放污染物的投資建設項目。本項目所在地位于太湖一級保護區(qū)范圍內(nèi),項目不涉及含氮、磷生產(chǎn)廢水,與太湖流域管理條例要求相符。本項目不涉及前述禁止類行為。符合4嚴格執(zhí)行《水產(chǎn)種質資源保護區(qū)管理暫行辦法》,禁止在水產(chǎn)種質資源保護區(qū)的岸線和本項目不在水產(chǎn)種質資源保護區(qū)的岸符合—16—河段范圍內(nèi)新建圍湖造田、圍海造地或圍填海等投資建設項目。嚴格執(zhí)行《中華人民共和國濕地保護法》《江蘇省濕地保護條例》,禁止在國家濕地公園的岸線和河段范圍內(nèi)挖沙、采礦,以及任何不符合主體功能定位的投資建設項目。線和河段范圍內(nèi),以及不在國家濕地公園的岸線和河段范圍內(nèi),不屬于上述禁止建設項目。5禁止違法利用、占用長江流域河湖岸線。禁止在《長江岸線保護和開發(fā)利用總體規(guī)劃》劃定的岸線保護區(qū)和保留區(qū)內(nèi)投資建設除事關公共安全及公眾利益的防洪護岸、河道治理、供水、生態(tài)環(huán)境保護、航道整治、國家重要基礎設施以外的項目。長江干支流基礎設施項目應按照《長江岸線保護和開發(fā)利用總體規(guī)劃》和生態(tài)環(huán)境保護、岸線保護等要求,按規(guī)定開展項目前期論證并辦理相關手續(xù)。禁止在《全國重要江河湖泊水功能區(qū)劃》劃定的河段及湖泊保護區(qū)、保留區(qū)內(nèi)投資建設不利于水資源及自然生態(tài)保護的項目。本項目不屬于上述禁止項目。符合6禁止未經(jīng)許可在長江干支流及湖泊新設、改設或擴大排污口。本項目在長江干支流及湖泊不新增污水排放口。符合7禁止長江干流、長江口、34個列入《率先全面禁捕的長江流域水生生物保護區(qū)名錄》的水生生物保護區(qū)以及省規(guī)定的其他禁漁水域開展生產(chǎn)性捕撈。本項目為化學氣相沉積設備研發(fā)測試項目,不涉及捕撈等活動。符合8禁止在距離長江干支流岸線一公里范圍內(nèi)新建、擴建化工園區(qū)和化工項目本項目不屬于化工項目。符合9禁止在長江干流岸線三公里范圍內(nèi)新建、改建、擴建尾礦庫、冶煉渣庫和磷石膏庫,以提升安全、生態(tài)環(huán)境保護水平為目的的改建除外。本項目不屬于上述禁止項目。符合禁止在太湖流域一、二、三級保護區(qū)內(nèi)開展《江蘇省太湖水污染防治條例》禁止的投資建設活動。本項目所在地屬于太湖一級保護區(qū)范圍內(nèi),項目不涉及含氮、磷生產(chǎn)廢水,與太湖流域管理條例要求相符。符合禁止在沿江地區(qū)新建、擴建未納入國家和省布局規(guī)劃的燃煤發(fā)電項目。本項目不屬于燃煤發(fā)電項目。符合禁止在合規(guī)園區(qū)外新建、擴建鋼鐵、石化、化工、焦化、建材、有色、制漿造紙等高污染項目。本項目位于工業(yè)園區(qū)內(nèi),且不屬于上述禁止建設項目。符合禁止在取消化工定位的園區(qū)(集中區(qū))內(nèi)新建化工項目。本項目不屬于化工項目。符合禁止在化工企業(yè)周邊建設不符合安全距離規(guī)定的勞動密集型的非化工項目和其他人員密集的公共設施項目。本項目所在園區(qū)不涉及化工企業(yè)。符合禁止新建、擴建不符合國家和省產(chǎn)業(yè)政策的尿素、磷銨、電石、燒堿、聚氯乙烯、純堿等行業(yè)新增產(chǎn)能項目。本項目不屬于上述禁止建設項目。符合—17—禁止新建、改建、擴建高毒、高殘留以及對環(huán)境影響大的農(nóng)藥原藥(化學合成類)項目,禁止新建、擴建不符合國家和省產(chǎn)業(yè)政策的農(nóng)藥、醫(yī)藥和染料中間體化工項目。本項目不屬于上述禁止建設項目。符合禁止新建、擴建不符合國家石化、現(xiàn)代煤化工等產(chǎn)業(yè)布局規(guī)劃的項目,禁止新建獨立焦化項目。本項目不屬于上述禁止建設項目。符合禁止新建、擴建國家《產(chǎn)業(yè)結構調整指導目錄》《江蘇省產(chǎn)業(yè)結構調整限制、淘汰和禁止目錄》明確的限制類、淘汰類、禁止類項目,法律法規(guī)和相關政策明令禁止的落后產(chǎn)能項目以及明令淘汰的安全生產(chǎn)落后工藝及裝備項目。本項目為新建項目,與國家和地方產(chǎn)業(yè)政策相符。符合禁止新建、擴建不符合國家產(chǎn)能置換要求的嚴重過剩產(chǎn)能行業(yè)的項目。禁止新建、擴建不符合要求的高耗能高排放項目。本項目不屬于產(chǎn)能過程項目、高能耗高污染項目。符合20法律法規(guī)及相關政策文件有更加嚴格規(guī)定的從其規(guī)定。本項目滿足法律法規(guī)及相關政策文件。符合(2)本項目不屬于《外商投資準入特別管理措施(負面清單20(3)本項目不屬于《市場準入負面清單(2022年版)》(發(fā)(4)根據(jù)《無錫國家高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)開發(fā)建設規(guī)劃(2022-2035)》(蘇環(huán)審【2024】9號分析本項目與環(huán)境準入負面清單相符性表1-6本項目與蘇環(huán)審【2024】9號相符性分析類別本項目相符性產(chǎn)業(yè)準入要求1、禁止引入與《產(chǎn)業(yè)結構調整指導目錄(2024年本)》、《長江經(jīng)濟帶發(fā)展負面清單指南》(試行2022年版)及江蘇省實施細則、《太湖流域管理條例》、《江蘇省太湖水污染防治條例》等國家、地方法律法規(guī)、產(chǎn)業(yè)政策相沖突的項目。本項目不屬于該條文件中限制、淘汰、禁止類項相符2、禁止新建、擴建化工生產(chǎn)項目(化工重點監(jiān)測點企業(yè)、為高新區(qū)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)等配套建設的工業(yè)氣體生產(chǎn)項目除外)。本項目不屬于化工項目。相符3、禁止建設生產(chǎn)和使用高VOCs含量的涂料、油墨、膠粘劑項目(現(xiàn)階段確實無法實施原料替代的項目需提供不可替代的論證說明)。本項目不涉及高VOCs含量的涂料、油墨、膠粘劑。相符—18—4、禁止引入純電鍍生產(chǎn)項本項目不涉及電鍍。相符5、嚴格涉鉛、汞、鉻、砷、鎘重金屬項目準入,園區(qū)鉛、汞、鉻、砷、鎘重金屬排放總量原則上不得增加(集成電路、電子信息等科技型、主導型產(chǎn)業(yè)確需增加的,需在只考慮環(huán)境因素的前提下選擇最優(yōu)技術方案,滿足清潔生產(chǎn)最高等級,保證污染物達到最低排放強度和排放濃度)。本項目屬于M7320工程和技術研究和試驗發(fā)展,主要從事化學氣相沉積設備研發(fā)測試,為電子行業(yè)配套產(chǎn)業(yè)。研發(fā)過程中產(chǎn)生砷化氫,已采用“干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋”,后續(xù)開展清潔生產(chǎn)審核,保證污染物達到最低排放強度和排放濃度。相符6、嚴格涉氟廢水排放項目準入。本項目無含氟廢水排放。相符7、高新A區(qū)嚴格涉酸霧排放項目準入。本項目不涉及酸霧排放。相符8、遏制建材、鋼鐵等“兩高”項目盲目發(fā)展。本項目不屬于“兩高”項目。相符空間布局約束1、嚴格落實《江蘇省禁止用地項目目錄(2013年本)》、《江蘇省限制用地項目目錄(2013年本)等文件中有關條件、標準或要求。本項目不新增用地。相符2、高新區(qū)內(nèi)建設項目需嚴格落實衛(wèi)生、環(huán)境防護距離要求,該范圍內(nèi)不得規(guī)劃布設居住區(qū)、學校、醫(yī)院等敏感目標。本項目不設衛(wèi)生防護距離范圍。相符3、規(guī)劃居住用地周邊優(yōu)先引入無污染或輕污染的企業(yè)或項目,并加強綠化隔離帶建設,結合具體項目確定并落實防護距離的設置。相符污染物排放管控1、環(huán)境質量:2025年,PM2.5、臭氧、二氧化氮年均值分別達到25、160、28微克/立方米;高新區(qū)外京杭大運河望亭上游斷面、伯瀆港承澤坎橋斷面、走馬塘金城東路橋斷面水質達III類,高新區(qū)內(nèi)周涇浜、梅花港等河道達IV類。本項目所在區(qū)域為臭氧不達標區(qū),根據(jù)《無錫市環(huán)境狀況公報》(2023年度)滿足相應的環(huán)境質量標準,本項目建成后對區(qū)域環(huán)境影響較小;根據(jù)引用監(jiān)測數(shù)據(jù)京杭大運河水質為Ⅳ類水質;本項目產(chǎn)生的生活污水經(jīng)化糞池預處理后,接管至新城水廠集中處理,對外環(huán)境影響較小。相符2、對于國家排放標準中已規(guī)定大氣污染物特別排放限值的行業(yè)全面執(zhí)行大氣污染物特別排放限值。本項目廢氣主要為研發(fā)廢氣,經(jīng)“干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋”處理后達標排放。相符3、嚴格新建項目總量前置審批,新建項目按省、市相關文件落實“等量”或“減量”替代要求。本項目新增廢氣在新吳區(qū)范圍內(nèi)平衡,新增廢水污染物在新城水處理廠平衡,相符—19—固廢“零”排放。4、總量控制:大氣污染物:近期:顆粒物359.477噸/年、二氧化硫235.651噸/年、氮氧化物1010.121噸/年、VOCs1140.426噸/年;遠期:顆粒物359.425噸/年二氧化硫235.616噸/年、氮氧化物1009.96噸/年、VOCs1134.287噸/年。水污染物:近期:排水量5276.086萬噸/年、COD1173.13噸/年、氨氮69.428噸/年、總氮306.185噸/年、總磷9.259噸/年;遠期:排水量5172.061萬噸/年、COD1087.301噸/年、氨氮55.919噸/年、總氮270.297噸/年、總磷8.182噸/年。本項目新增廢氣在新吳區(qū)范圍內(nèi)平衡,新增廢水污染物在新城水處理廠平衡,固廢“零”排放。相符環(huán)境風險1、完善園區(qū)環(huán)境風險防范預警系統(tǒng),建立風險源動態(tài)數(shù)據(jù)庫,加強對潛在風險源的管理,對易引發(fā)突發(fā)性環(huán)境污染事故的場所安裝相應的監(jiān)測和預警裝置,實現(xiàn)快速應急響應。本項目建成后,將進行環(huán)境隱患排查與治理工作,落實環(huán)境風險防范相關整治要求,企業(yè)將按規(guī)范要求進一步健全環(huán)境風險管控體系,加強環(huán)境管理能力建相符2、建立突發(fā)水污染事件應急防范體系,完善園區(qū)突發(fā)水污染事件三級防控體系工程建設。相符3、生產(chǎn)、使用、儲存危險化學品或其他存在環(huán)境風險的企業(yè)事業(yè)單位,應當采取風險防范措施,并按要求編制環(huán)境風險應急預案。本項目建成后,將按照要求編制環(huán)境風險應急預案并備案。相符資源開發(fā)利用要求1、園區(qū)單位工業(yè)增加值新鮮水耗≤6立方米/萬元。本項目建成后水耗約為1.0立方米/萬元。相符2、單位工業(yè)增加值綜合能耗≤0.15噸標煤/萬元。本項目建成后全廠綜合能耗為0.01噸標煤/萬元。相符3、禁止銷售使用燃料為“Ⅱ類”(較嚴),具體包括(1)除單臺出力大于等于20蒸噸/小時鍋爐以外燃用的煤炭及其制品。(2)石油焦、油頁巖、原油重油、渣油、煤焦油(現(xiàn)有燃煤熱電聯(lián)產(chǎn)項目除外)本項目不涉及“Ⅱ類”燃料的銷售和使用。相符4、引進項目的生產(chǎn)工藝、設備,以及單位產(chǎn)品水耗能耗、污染物排放和資源利用效率等應達到同行業(yè)國際先進水平。本項目建成后達到國內(nèi)清潔生產(chǎn)先進水平。相符5、禁止開采地下水。本項目不開采地下水。相符—20—設符合“三線一單”要求。4、與其他產(chǎn)業(yè)政策相符性分析表1-7本項目與錫環(huán)辦〔2021〕142號的相符性分析類別相符性分析相符性生產(chǎn)工藝、裝備、原料、環(huán)境四替代用國際國內(nèi)先進工藝、裝備、低揮發(fā)水性溶劑等環(huán)境友好型原材料、先進高效的污染治理設施替代傳統(tǒng)工藝、普通裝備、高揮發(fā)性原料、落后的污染治理設施本項目設備為國內(nèi)外先進設備,工藝先進,不涉及有機溶劑的使用。相符從場址選取、廠區(qū)布局、廠房設計、設備選型等方面充分考慮環(huán)境保護的需求,從源頭控制無組織排放、初期雨水收集、環(huán)境風險防范等問題。本項目位于工業(yè)集中區(qū)內(nèi)的標準廠房,從設備選項和布局上已重復考慮環(huán)境保護要求,調試驗證過程均為密閉作業(yè),采用設備密閉收集廢氣。廠區(qū)雨污分流,雨水接管口安裝應急切斷閥,車間內(nèi)設置了必要的風險防范設施和應急物資等。相符生產(chǎn)工藝選用的各種涂料、廠房建筑用涂料、工業(yè)設備防護涂料等,除有特殊要求外,必須選用符合《低揮發(fā)性有機化合物含量涂料產(chǎn)品技術要求》(GBT38597-2020)標準的產(chǎn)品。對“兩高”項目(當前按煤電、石化、化工、鋼鐵、有色、建材界定)要嚴格環(huán)境準入,滿足總量控制、碳達峰碳中和目標、生態(tài)環(huán)境準入清單、規(guī)劃環(huán)評及行業(yè)建設環(huán)境準入條件。本項目不涉及涂裝等工序,不屬于煤電、石化、化工、鋼鐵、有色、建材等“兩高”項目。相符生產(chǎn)過程中中水回用、物料強化項目的節(jié)水設計,提高項目中水回用率,新建、改建項目的中水回用水平必須高于行業(yè)平均水平,達到國內(nèi)先進水平以上。本項目生產(chǎn)過程中用水量小,冷卻水循環(huán)使用,定期排放。相符根據(jù)《江蘇省太湖水污染防治條例》規(guī)定,非戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè),不得新增含磷、氮的生產(chǎn)廢水。用水量較大的印染、電子等行業(yè)必須大幅提高中水回用率。本項目不涉及含氮、磷生產(chǎn)廢水。相符冷卻水強排水、反滲透(RO)尾水等“清凈下水”必須按照生產(chǎn)廢水接管,不得接入雨水口排放。本項目冷卻水排水按照生產(chǎn)廢水接管至污水管相符強化生產(chǎn)過程中的物料回收利本項目產(chǎn)生的一般固相符—21—用,鼓勵有條件的揮發(fā)性有機物排放企業(yè)(如印刷、包裝類企業(yè))通過冷凝、吸附、吸收等技術實現(xiàn)物料回用廢由相關單位進行資源化回收;本項目不涉及揮發(fā)性有機物。強化固體廢物源頭減量和綜合利用,配套的回收利用設施必須達到主生產(chǎn)裝置同樣的設計水平和環(huán)保要求,提升回收效率,需外送利用處置固體廢物和危險廢物的,在本市應具有穩(wěn)定可靠的承接單位。本項目危險廢物委托有資質的單位處置,一般固廢由相關單位進行資源化回收,生活垃圾由環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一收集處理。相符治污設施提高標準、提高效率項目審批階段必須征求水、氣、固體等要素部門意見,審核項目污染防治措施是否已達到目前上級要求的最先進水平,未達最嚴標準、最新要求的一律不得審批。要按照所屬行業(yè)的《排污許可證申請與核發(fā)技術規(guī)范》要求,選擇采用可行性技術,提高治污設施的標準和要求,對于未采用污染防治可行技術的項目不予受理;鼓勵采用具備應用案例或中試數(shù)據(jù)等條件的新型污染防治技術。本項目調試驗證過程中產(chǎn)生的廢氣經(jīng)設備密閉收集后通過“干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋”處處理效率為90%,屬于有效的污染防治措施。相符涉揮發(fā)性有機物排放的項目,必須嚴格落實國家《重點行業(yè)揮發(fā)性有機物綜合治理方案》的要求,對揮發(fā)性有機物要有效收集、提高效率,鼓勵釆用吸附、吸收、生物凈化、催化燃燒、蓄熱燃燒等多種治理技術聯(lián)合應用的工藝路線;確保穩(wěn)定達標并符合《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標準》的相關要求。對于無組織排放點多、難以有效收集的情況,要整體建設負壓車間,對含揮發(fā)性有機物的廢氣進行全收集和治理。對涉水、涉氣重點項目,必須要求安裝用電工況和自動在線監(jiān)控設備設施并聯(lián)網(wǎng)。新建天然氣鍋爐必須釆用低氮燃燒技術,工業(yè)爐窯達到深度治理要求。本項目不涉及揮發(fā)性有機物。相符暫行辦法的通知》(蘇政發(fā)[2021]20號分析本項目與其相本項目位于無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層,屬于高新產(chǎn)業(yè)區(qū)A區(qū),距離京杭運河約1.3km,與《省政府關于印發(fā)大運河江蘇段核心監(jiān)控區(qū)國土空間管控暫行辦法的通知》(蘇政發(fā)[2021]20號)相符性分析見下表。—22—表1-8與蘇政發(fā)[2021]20號相符性分析文件名稱具體內(nèi)容相符性《省政府關于印發(fā)大運河江蘇段核心監(jiān)控區(qū)國土空間管控暫行辦法的通三、空間準入第十條:嚴格準入管理。核心監(jiān)控區(qū)內(nèi),實行國土空間準入正(負)面清單管理制度,控制開發(fā)規(guī)模和強度,嚴禁不符合主體功能定位的各類開發(fā)活動。相沉積設備研發(fā)測試項目,位于無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號新港集成電路裝備零層,為電子行業(yè)配套產(chǎn)業(yè),與園區(qū)主導產(chǎn)業(yè)結構相符。第十一條:加強岸線管理。嚴格保護和合理利用岸線,維護岸線基本穩(wěn)定。項目占用岸線須符合《中華人民共和國水法》《江蘇省河道管理條例》《江蘇省建設項目占用水域管理辦法》等法律法規(guī)及相關規(guī)劃要求。市新吳區(qū)長江南路52-8號新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3京杭運河岸線及水域。第十二條:濱河生態(tài)空間內(nèi),嚴控新增非公益性建設用地,原則上不在現(xiàn)有農(nóng)村居民點外新增集中居民點。新增建設用地項目實行正面清單管理。除以下建設項目外禁止準入:(一)軍事和外交需要用地的;(二)由政府組織實施的能源、交通、水利、通信、郵政等基礎設施建設需要用地的;(三)由政府組織實施的科技﹑教育、文化,旅游、衛(wèi)生、體育、生態(tài)環(huán)境和資源保護、防災減災、文物保護、社區(qū)綜合服務﹑社會福利、市政公用﹑優(yōu)撫安置、英烈保護等公共事業(yè)需要用地的;(四)納入國家、省大運河文化帶建設規(guī)劃的建設項目;(五)國家和省人民政府同意建設的其他建設項目。市新吳區(qū)長江南路52-8號新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層,屬于高新產(chǎn)業(yè)區(qū)A區(qū),位于建成區(qū)范圍內(nèi),不新增建設用地。第十三條核心監(jiān)控區(qū)其他區(qū)域內(nèi),實行負面清單管理,禁止以下建設項目準入:(一)非建成區(qū)內(nèi),大規(guī)模新建擴建房地產(chǎn)、大型及特大型主題公園等開發(fā)項目;(二)新建擴建高風險、高污染、高耗水產(chǎn)業(yè)和不利于生態(tài)環(huán)境保護的工礦企業(yè),以及不符合相關規(guī)劃的碼頭工程;(三)對大運河沿線生態(tài)環(huán)境可能產(chǎn)生較大影響或景觀破壞的;(四)不符合國家和省關于生態(tài)保護紅線、永久基本農(nóng)田、生態(tài)空間本項目位于大運河江蘇段核心監(jiān)控區(qū)內(nèi),在現(xiàn)有控空置廠房內(nèi)進行建設,本項目不屬于工礦企業(yè),不屬于禁止建設項目。—23—管控區(qū)域相關規(guī)定的五)不符合《產(chǎn)業(yè)結構調整指導目錄》《市場準入負面清單》《江蘇省長江經(jīng)濟帶發(fā)展負面清單實施細則》及江蘇省河湖岸線保護和開發(fā)利用相關要求的;(六)法律法規(guī)禁止或限制的其他情形。第十四條:建成區(qū)(城市、建制鎮(zhèn))內(nèi)﹐嚴禁實施不符合產(chǎn)業(yè)政策、規(guī)劃和管制要求的建設項目。城市建成區(qū)老城改造應加強建筑高度管控,開展建筑高度影響分析,按照高層禁建區(qū)管理,落實限高﹑限密度的具體要求,限制各類用地調整為大型的工商業(yè)、商務辦公、住宅商品房、倉儲物流設施等項目用地。市新吳區(qū)長江南路52-8號新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層,屬于高新產(chǎn)業(yè)區(qū)A區(qū),位于建成區(qū)范圍內(nèi),根據(jù)《無錫新區(qū)高新產(chǎn)業(yè)區(qū)A區(qū)控制性詳細規(guī)劃A南-站前區(qū)管理單元動態(tài)更日更新符合用地規(guī)劃。空間整治修復第二十二條:加強不合理用地空間騰退。開展主河道沿線化工企業(yè)整治提升,依法關閉不符合安全生產(chǎn)標準的化工企業(yè)、園區(qū),依法關停環(huán)保不達標的化工企業(yè)、園區(qū),依法依規(guī)淘汰化工行業(yè)落后產(chǎn)能。對已存在具有歷史文化遺產(chǎn)價值的建筑,在修復中予以保護;對于違規(guī)占壓運河河道本體和岸線的建(構)筑物,按照相關要求及時處置整改,對其他不符合生態(tài)環(huán)境保護和歷史文化遺產(chǎn)保護要求的已有項目和設施逐步搬離。濱河生態(tài)空間內(nèi)騰退的土地優(yōu)先用于建設公共綠地或基本公共服務設施。本項目不屬于化工企業(yè),不占壓運河河道本體和岸線,符合文件要求。綜上所述,建設項目符合國家、地方產(chǎn)業(yè)政策,項目選址符合區(qū)域總體規(guī)劃,并能夠滿足生態(tài)保護紅線、環(huán)境質量底線以及資源利用上限—24—二、建設項目工程分析建設內(nèi)容52-8號新港集成電路裝備零部件及材無錫市云港創(chuàng)業(yè)投資有限公司位于無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層的2194.01m積設備,對無錫高新區(qū)集成電路發(fā)展具有重要意義。該項目已于2025年03月28日取得無錫高新區(qū)(新吳區(qū))數(shù)據(jù)局的立項備案意見,項目代碼:2503-05-201962。發(fā)(試驗)基地-其他”,環(huán)評類別為報告表。因此,建設單位委托環(huán)評公司編制建設地點:無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)—25—3.生產(chǎn)規(guī)模及建設內(nèi)容表2-1本項目主體工程及產(chǎn)品方案表工程名稱(車間、生產(chǎn)裝置或生產(chǎn)線)研發(fā)內(nèi)容設計研發(fā)能力年運行時數(shù)研發(fā)車間化學氣相沉積設備3套/年2000h4.工程組成表2-2本項目建設項目主體及公輔工程一覽表項目名稱建設名稱設計能力備注主體工程研發(fā)車間810m2位于廠房三層輔助工程辦公區(qū)位于車間原料倉庫位于車間特氣房50m2特殊氣體存放特氣房公用工程給水自來水管網(wǎng)提供排水生活污水200t/a生活污水經(jīng)化糞池處理后和冷卻水排水一并接管至新城水處理廠集中處理冷卻水排水40t/a供電10萬度/年市政電網(wǎng)提供環(huán)保工程廢氣處理廢氣“干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋”,風機風量3000m3/h經(jīng)設備密閉收集,由“干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋”處理后,尾氣通過25m高排氣筒FQ-01高空排放廢水處理生活污水化糞池5m3依托出租方固廢處理一般固廢新建,分區(qū)存放危險固廢新建,分區(qū)存放5.主要設備表2-3主要設施規(guī)格、數(shù)量一覽表序號設備名稱規(guī)格型號數(shù)量(臺/套)備注1121331241513—26—6127128氫氮混氣柜H2/N2Mixer1H2/N29純化器--1純化器--1N2高溫爐1去除石墨料件表面污漬低溫烘箱50~60℃1暫存石墨料件堿洗槽3060mm×1500mm×2300mm1清洗設備下級管路液氮罐1--冰水機組1--廢氣處理裝置1--6.主要原輔材料表2-4項目主要原輔材料用量表序號物料名稱規(guī)格型號,主要組分單位年耗量最大存儲量備注1GaAs基板6寸/片,砷化鎵基板片2000200--2石墨料件--支撐GaAs基板3設備配件五金件套334GN2(液)5m3儲罐,普通氮氣L4.75--5GH2(氣)40L/瓶,普通氫氣L2254.5--6ASH3(氣)40L/瓶,砷化氫--740L/瓶,磷化氫--8H6(氣)40L/瓶,200ppm濃度的乙硅烷,混合在高純氫氣中251--92500g/瓶,三甲基鎵(Ga(CH3)3)--350g/瓶,三甲基銦(In(CH3)3)11--250g/瓶,三甲基鋁(Al(CH3)3)11--4(固)200g/瓶,四溴化碳11--150g/瓶,二乙基碲(Te(C2H5)2)瓶11--400g/瓶,二乙基鋅(Zn(C2H5)2)瓶11--2Mg(固)50g/瓶,雙(環(huán)戊二烯)鎂(Mg(C5H5)2)0.1--5L/桶,45%濃度的氫氧化鈉L4020稀釋至5~10%使用He(氣)40L/瓶,氦氣L40設備維保—27—7、主要原輔材料理化性質表2-5主要原輔材料理化性質、毒性毒理化學品理化性質燃燒爆炸性毒理性N2無色無味氣體,化學惰性,不溶于水,沸點-195.79℃,熔點-210℃,密度1.145g/L(常溫常壓)不燃無資料無色無味氣體,沸點-252.87℃,熔點259.16℃,密度0.082g/L(常溫常壓),燃點:500℃,爆炸極限為4%~75%易燃易爆無資料無色氣體,有蒜臭味,沸點-62.5℃,熔點-117℃,相對密度2.7(空氣=1),爆炸極限為3.9%~77.8%易燃易爆3無色氣體,有蒜臭味,沸點-88℃,熔點-134℃,相對密度1.2(空氣=1),爆炸極限易燃易爆無色氣體,沸點-14.3℃,熔點-133℃,密度1.17g/L(標準狀態(tài)),爆炸下限為0.2%易燃易爆無資料無色透明液體,沸點55.7℃,熔點-15.8℃,密度1.151kg/L(常溫常壓),閃點-18℃無資料白色晶體,沸點133.8℃,熔點88.4℃,密度1.568kg/L(常溫常壓),閃點-18℃無資料無色透明液體,沸點127℃,熔點15℃,密度0.752kg/L(常溫常壓),閃點-40℉無資料白色固體,沸點190℃,熔點88~90℃,密度3.42kg/L(常溫常壓)不燃無資料無色至淡黃色液體,大蒜辛辣氣味,沸點137~138℃,1.599g/cm3(常溫常壓),閃點42℃無資料無色透明液體,沸點98℃,熔點-28℃,1.205g/cm3(常溫常壓),閃點-45℉有毒1.07g/cm3(常溫常壓)無資料8.項目位置、周圍環(huán)境及廠區(qū)平面布置本項目位于無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)500米環(huán)境示意見附圖2。—28—工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)—29—2、本項目產(chǎn)污環(huán)節(jié)一覽表表2-7本項目主要產(chǎn)污環(huán)節(jié)和排污特征類別代碼產(chǎn)生點污染物治理措施廢氣G1調試驗證藝氣體等由設備密閉收集后,經(jīng)“干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋”處理后,尾氣通過25m高排氣筒FQ-01高空排放廢水員工生活生活污水生活污水經(jīng)化糞池預處理后同冷卻水排水一并接管至新城水處理廠冷卻機組冷卻水排水S1組裝廢零配件物資回收單位回收利用調試驗證廢芯片原料包裝廢包裝材料清洗清洗廢液委托有資質單位處置廢氣處理廢吸附劑委托有資質單位處置—30—廢氣處理噴淋廢液委托有資質單位處置員工生活生活垃圾環(huán)衛(wèi)清運噪聲設備運行距離衰減、廠房隔聲3.本項目砷元素平衡項目設備調試過程中使用的含砷物料有:砷化鎵基板(ASGa)、砷化氫州長光華芯、無錫拓易等光芯片制造企業(yè)的生產(chǎn)信息,利用率取70%,過量未反應的ASH3進入“干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋”吸附處理,收集效率入方物料名稱砷元素含量成膜廢氣廢水9.61226.728540.28836602.595294合計9.61229.6122—31—4.本項目水平衡本項目建成后本項目用水主要為職工生活用水、冷卻用水、噴250天,則生活用水量約250t/a。損耗按20%計,產(chǎn)生生活污水200t/a。—32——33—與項目有關的原有環(huán)境污染問題本項目為新建項目,位于無錫市新吳區(qū)長江南路52-8號新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園3層,租用無錫市云港創(chuàng)業(yè)投資有限公司2194.01m2標準廠房,除以上設施外,其余公用及輔助設施、設備均為本項目自行添置。本項目對園3層,依托使用出租方廠區(qū)現(xiàn)有供電系統(tǒng)、供水管網(wǎng)、排水管網(wǎng),出租方在建設—34——35—三、區(qū)域環(huán)境質量現(xiàn)狀、環(huán)境保護目標及評價標準區(qū)域環(huán)境質量現(xiàn)狀根據(jù)《2023年度無錫市生態(tài)環(huán)境狀況公報》,與2022年相比,O3濃度下降6.7%,PM2.5、SO2濃度同比持平,PM10、NO2、CO濃度同比上升2%、年份二氧化硫(μg/m3)二氧化氮(μg/m3)PM10(μg/m3)一氧化碳(mg/m3)O3(μg/m3)PM2.5(μg/m3)無錫市2023年83228評價標準604070435根據(jù)《2023年度無錫市環(huán)境狀況公報》,按照《環(huán)境空氣質量標準》根據(jù)《中華人民共和國大氣污染防治法》的要求,未達標城市需要編制限期達標規(guī)劃,明確限期達標,制定有效的大氣污染防治措施。無錫市已按要求劃的規(guī)劃范圍為:整個無錫市全市范圍(4650平方公里)。無錫市區(qū)面積1643.88平方公里,另有太湖水域397.8平方公里。下轄共5個區(qū)2個市(梁溪區(qū)、濱湖區(qū)、惠山區(qū)、錫山區(qū)、新吳區(qū)、江陰市、宜興市)、7個鎮(zhèn)、41個街本項目經(jīng)化糞池預處理后的生活污水與冷卻水排水一同接管至新城水處理廠集中處理,尾水排入京杭運河。本次評價引用江蘇國舜檢測技術有限公司于2023年8月對新城水處理廠納污河道(京杭運河)上下游斷面的現(xiàn)狀檢測報告(GS2308054005P1)中的相關監(jiān)測數(shù)據(jù),監(jiān)測斷面為高浪大橋和新虹大橋,監(jiān)—36—斷面名稱采樣日期pH值CODcrNH3-NTP高浪大橋2023.08.097.727340.8220.122023.08.107.624360.7170.162023.08.117.6300.7170.17超標率00000最大超標倍數(shù)新虹大橋2023.08.097.623330.5280.182023.08.107.525310.7880.142023.08.117.6340.5920.18超標率00000最大超標倍數(shù)Ⅳ類標準值6~9≤30--≤1.5≤0.3由上表可知,監(jiān)測資料表明各監(jiān)測斷面各監(jiān)測因子均滿足《量標準》(GB3838-2002)Ⅳ類水質標準。3、聲環(huán)境根據(jù)《無錫市區(qū)聲環(huán)境功能區(qū)劃分調整方案》(錫政辦發(fā)[2024]32號)環(huán)境噪聲晝間均值為57.1dB(A),夜間均值為49.7dB(A),達到《聲環(huán)境質量標4、地下水、土壤環(huán)境本項目位于工業(yè)園區(qū)內(nèi),租賃現(xiàn)有廠房,周邊無地下水、土壤環(huán)境保護目標。原料暫存區(qū)、危廢暫存區(qū)等區(qū)域均做好防腐防滲等措施,正常工況下不存—37—環(huán)境保護目標經(jīng)調查本項目周圍500米范圍內(nèi)大氣環(huán)境保護目標名稱與相對位置關系見名稱坐標(經(jīng)緯度/o)保護對象保護內(nèi)容環(huán)境功相對廠址方位相對廠界最近EN江蘇省無錫藥品檢驗所120.40504231.493983行政機關90人二類區(qū)西北340碩放街道辦事處120.40459131.490589行政機關二類區(qū)西北480環(huán)境對象保護要求相對廠界相對排放口與本項力聯(lián)系距離m經(jīng)緯度坐標高差m距離m經(jīng)緯度坐標XYXY京杭運河《地表水環(huán)境質量標準》(GB3838-2002)Ⅳ類標準120.40378931.4876660120.40379931.487696納污水體《地表水環(huán)境質量標準》(GB3838-2002)Ⅲ類標準205120.41568331.4923850200120.41568331.492385雨水受納水體—38—污染物排放控制標準污染物名稱濃度限值執(zhí)行標準單位年平均24小時平均1小時平均60500GB3095-2012《環(huán)境空氣質量標準》表1中的二級標準NO24020070450mg/m3-4160(8小時平均)2003575本項目區(qū)域污水排入新城水處理廠,其納污水體為京杭運河,按照《江蘇省地表水(環(huán)境)功能區(qū)劃(2021-2030)》(蘇環(huán)辦[2022]82號)的要求,京杭表3-6地表水環(huán)境質量標準限值表單位:mg/L(pH為無量綱)水域名執(zhí)行標準標準級別污染物指標單位標準限值京杭運河GB3838-2002IV類水體無量綱6-9≤30NH3-N≤1.5≤0.3根據(jù)《無錫市區(qū)聲環(huán)境功能區(qū)劃分調整方案》(錫政辦發(fā)[2024]32號)的規(guī)定,區(qū)域聲環(huán)境功能區(qū)劃分為《聲環(huán)境質量標準》(GB3096-2008)3類標準,具表3-7聲環(huán)境質量標準單位:dB(A)類別晝間夜間3類環(huán)境噪聲標準≤65≤55—39—2、污染物排放標準本項目主要致力于化學氣相沉積設備的研發(fā)測試,調試驗證過程產(chǎn)生砷化氫、磷化氫廢氣,執(zhí)行江蘇省《大氣污染物綜合排放標準》(DB324041-2021)中表1標準,由于“DB324041-行江蘇省《半導體行業(yè)污染物排放標準》(DB32/3747-2020)表3標準。表3-8本項目廢氣污染物有組織排放標準污染物排放高度最高允許排放濃度(mg/m3)最高允許排放速率(kg/h)標準來源砷及其化合物(砷化氫)0.50.011DB32/4041-2021磷化氫*25m--DB32/3747-2020注:磷化氫國標無監(jiān)測方法,待國家污染物監(jiān)測方法標準發(fā)布后實施。本項目生活污水、冷卻水排水接管至新城水處理廠,最終排入京杭運河。4三級標準,TP、NH3-N、TN執(zhí)行《污水排入城鎮(zhèn)下水道水質標準》(GB/T為保護太湖水體水環(huán)境質量,新城水處理廠尾水優(yōu)于《地表水環(huán)境質量標準》(GB3838-2002)Ⅲ類水質標準。表3-9廢污水排放標準限值表單位:mg/L(pH為無量綱)類別污染物指標標準限值mg/L接管標準6~9500400NH3-N45708尾水排放標準6~9205NH3-N10.155—40—廠界噪聲執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》(GB12348-2008)中的3廠界名執(zhí)行標準級別晝間標準限值夜間標準限值GB12348-200865552023);一般固廢的暫存執(zhí)行《一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標準》(GB18599-2020)。—41—總量控制指標本項目選址位于“雙控區(qū)”和“太湖流域”,項目所在地屬于《江蘇省太廢水:本項目廢水最終排放總量納入新城水處理廠的排污總量,廢水污染類別污染物產(chǎn)生量t/a削減量t/a排放量t/a全廠排放增減量t/a廢氣有組織砷化氫0.0030.00270.0003+0.0003磷化氫0.00570.005130.00057+0.00057水污染物生活污水廢水量2000200+2000.10.020.08+0.080.080.020.06+0.06氨氮0.00800.008+0.008總磷0.00100.001+0.001總氮0.01200.012+0.012冷卻水排水廢水量40040+400.00400.004+0.0040.003200.0032+0.0032綜合廢水廢水量2400240+2400.1040.020.084+0.0840.08320.020.0632+0.0632氨氮0.00800.008+0.008總磷0.00100.001+0.001總氮0.01200.012+0.012類別名稱產(chǎn)生量利用量處置量排放量廢物一般廢零配件--0廢芯片--0廢包裝材料--0生活垃圾--0危險廢物廢吸附劑0.2--0.20噴淋廢液3--30清洗廢液6.3--6.30—42—四、主要環(huán)境影響和保護措施安裝期間產(chǎn)生的噪聲。為防止建設項目在建設期間發(fā)生上述環(huán)境污染的現(xiàn)象,使建設項目在建設期間對周圍環(huán)境的影響盡可能小,建議采取以下的污染防治措根據(jù)《污染源源強核算技術指南準則》(HJ884-2018),污染源源強核算可采用實測法、物料衡算法、產(chǎn)污系數(shù)法、排污系數(shù)法、類比法、實驗法等。本項主要為過量未反應氣體,根據(jù)建設單位提供的信息以及類比蘇州鼎芯光電、蘇州長光華芯、無錫拓易等光芯片制造企業(yè)的生產(chǎn)信息,利用率取70%,過量未參與反應的ASH3、PH3、Si2H6廢氣產(chǎn)廢氣產(chǎn)生量極小,對環(huán)境影響可忽略不計,本報告不做詳細分析。本項目使用4(固)1kg,利用率取70%,調試驗取10%,計算得HBr產(chǎn)生量約0.03kg,HBr廢氣產(chǎn)生量極少,對環(huán)境影響可過量未參與反應的AsH3、PH3、Si2H6以及反應產(chǎn)物廢氣最大可能產(chǎn)生量CH46.004kg/a、C2H60.318kg/a、C5H60.086kg/a、HBr0.03kg/烷外其他產(chǎn)生量極少,甲烷目前暫無污染物控制標準,少量甲烷氣體經(jīng)干式吸附—43—本項目工件組裝成化學氣相沉積設備后,需進行機械系統(tǒng)調試、反應腔體密封性測試、電氣與控制系統(tǒng)調試、氣路與真空系統(tǒng)調試、工藝參數(shù)調試與薄膜沉為確定氣體流量、溫度、壓力、沉積時間等最佳組合,調試驗證過程中需使用單變量實驗法,固定其他參數(shù),依次調整溫度、壓力、氣體流量,觀察薄膜性能變化。然后使用響應曲面法(RSM即多參數(shù)交互作用優(yōu)化(如溫度×壓力對生長速率的影響)。繼而使用DOE(實驗設計),使用正交實驗法篩選關鍵參數(shù)組合。最后進行重復性與穩(wěn)定性驗證,其中包括批次重復性:連續(xù)3-5批次沉積,統(tǒng)計厚度、成分的均值與標準差;長時間穩(wěn)定性:8小時連續(xù)運行,監(jiān)測設本項目調試驗證是個復雜多變的過程,需要大量的時間去堆積出最佳的設備參數(shù)組合(根據(jù)訂單對設備的要求,調試相對的設備參數(shù)。例:膜厚度)。與建設單位核實本項目調試驗證工序年工時約400h。—44—表4-1本項目廢氣污染源強核算結果及相關參數(shù)一覽表生產(chǎn)線排放源污染物排放方式污染物產(chǎn)生污染物排放廢氣量排放核算方法產(chǎn)生濃度產(chǎn)生量排放濃度排放量調試驗證砷化氫有組織物料衡算法20.003干式吸附尾氣處理裝置+水噴淋處理效率90%是0.20.00033000400磷化氫有組織物料衡算法3.80.0057是0.380.00057注:本項目調試驗證工序的工作時間約400h。表4-2正常工況本項目有組織大氣污染物有組織排放情況一覽表污染源風量3/h)污染物種類排放情況排放口情況排放標準排放濃度(mg/m3)排放速率(kg/h)排放量高度溫度(℃)編號類型地理坐標濃度(mg/m3)速率(kg/h)經(jīng)度(E)緯度(N)調試驗證3000砷化氫0.250.000750.0003250.325一般排放口120.41591631.4945150.50.011磷化氫0.4750.0014250.00057--省《半導體行業(yè)污染物排放標準》(DB32/3747-2020)表3標準。1.3本項目大氣污染防治措施有效性分析—45—凈化裝置原理適用條件干式吸附尾氣處理裝置使用吸附劑,通過物理或化學吸附法處理砷烷、磷烷、乙硅烷、鹵化物、甲烷等有害物質。化學反應通常是在氧化條件下將有害物質氧化為氧化物被吸附劑吸附。AsH3、PH3、Si2H6、甲烷等特殊氣體的處理。水噴淋采用水噴淋系統(tǒng),它將研發(fā)設備所排放出的有毒廢氣經(jīng)過水噴淋去除,使易溶于水或與水反應,生成沉積的物質,達到有毒腐蝕的氣體完整吸收。HBr等工藝氣體的處理。本項目釆用的工藝尾氣處理方式為目前半導體工廠普同的工藝尾氣結合目前常用的不同凈化裝置特點和適用條件除。填料罐內(nèi)部基材主要是多孔氧化鋁,表面AsH3+MO→M3As2+H2O—46—干式吸附設備配備顏色指示劑,當吸附劑接近飽和時,指示劑顏色發(fā)生變化,設備自動切換至備用組,并對已飽和的吸附材料進行更換。砷化氫、磷化氫、Si2H6經(jīng)設備自帶的干式吸附裝置處理后單獨收集處理。根據(jù)顏色指示劑的指示情況,定期更類別參數(shù)吸附劑容量尺寸675×675×1820mm進氣口2*KF40重量460kg更換時間一年吸附劑形式粒狀吸附桶材質不銹鋼304其他功能吸附劑壽命指示劑水噴淋(噴淋洗滌塔)主要由廢氣洗滌塔、通風機、排氣管等組成。廢氣通過引風機進入廢氣洗滌塔,當噴淋水循環(huán)使用一段時間后,由于液體中的無機鹽濃度增加,影響其吸收效率,故應定期排放,并補充新鮮水。排放的噴淋廢液進入危廢,委—47—本項目水噴淋系統(tǒng)主要參數(shù)見表4-5。表4-5水噴淋系統(tǒng)處理裝置參數(shù)表編號名稱規(guī)格型號單位數(shù)量1噴淋塔型式:立式處理風量:3000m3/h設計風速:1.

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