國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范規(guī)程制修訂《光柵線位移測(cè)量裝置（系統(tǒng)）校準(zhǔn)規(guī)范》實(shí)驗(yàn)報(bào)告實(shí)驗(yàn)過程中環(huán)境溫度均在（20±2）℃，相對(duì)濕度≤70%RH。北京華卓精密科技有限公司，產(chǎn)品名稱:激光干涉比長儀工作基準(zhǔn)裝置；不確定度/準(zhǔn)確度:U=(0.02+0.04L)μm(k=2),L-m；名稱：激光干涉儀（型號(hào)XL-80，出廠編號(hào)：2AGY93）；準(zhǔn)確度：示值誤差絕對(duì)值小于0.3×10-6L；柵線位置偏差表1-實(shí)驗(yàn)1實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目：柵線位置偏差實(shí)驗(yàn)日期：2024.1.26實(shí)驗(yàn)環(huán)境：溫度（20±0.5）℃，濕度≤70%RH；生產(chǎn)廠家：北京華卓精密科技有限公司出廠編號(hào)：001型號(hào)規(guī)格：硅片材料反射型，柵線范圍：30mm，柵距：0.02mm測(cè)量結(jié)果（偏差曲線）：表2-實(shí)驗(yàn)2實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目：柵線位置偏差實(shí)驗(yàn)日期：2023.10.20實(shí)驗(yàn)環(huán)境：溫度（20±0.5）℃，濕度≤70%RH；生產(chǎn)廠家：大連榕樹光學(xué)有限公司出廠編號(hào)：DLRS-001型號(hào)規(guī)格：鋼帶反射型，柵線范圍：1000mm，柵距：0.02mm測(cè)量結(jié)果（偏差曲線）：信號(hào)周期偏差表3-實(shí)驗(yàn)3實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目：信號(hào)周期偏差實(shí)驗(yàn)日期：2023.10.20實(shí)驗(yàn)環(huán)境：溫度（20±0.5）℃，濕度≤70%RH；生產(chǎn)廠家：大連榕樹光學(xué)有限公司出廠編號(hào)：DLRS-001型號(hào)規(guī)格：鋼帶反射型，柵線范圍：1000mm，柵距：0.02mm測(cè)量結(jié)果（偏差曲線）：細(xì)分誤差表4-實(shí)驗(yàn)4實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目：細(xì)分誤差實(shí)驗(yàn)日期：2023.6.20實(shí)驗(yàn)環(huán)境：溫度（20±2）℃，濕度≤70%RH；生產(chǎn)廠家：長春禹衡光學(xué)有限公司出廠編號(hào)：111700006型號(hào)規(guī)格：玻璃透射光柵，位移范圍：1000mm，柵距：40μm在光柵尺全行程的首（位置1）、中（位置2）、末（位置3）3個(gè)位置測(cè)量結(jié)果（誤差曲線）：位置1細(xì)分誤差：0.12μm，位置2細(xì)分誤差：0.16μm，位置3細(xì)分誤差：0.09μm光柵尺細(xì)分誤差：0.16μm回程誤差表5-實(shí)驗(yàn)5實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目：回程誤差實(shí)驗(yàn)日期：2023.10.9實(shí)驗(yàn)環(huán)境：溫度（20±0.5）℃，濕度≤70%RH；生產(chǎn)廠家：大連榕樹光學(xué)有限公司出廠編號(hào)：DLRS-001型號(hào)規(guī)格：鋼帶反射型，柵線范圍：1000mm，柵距：0.02mm，位移行程范圍：850mm數(shù)據(jù)曲線：正反行程偏差正反行程差回程誤差：1.45μm重復(fù)性表6-實(shí)驗(yàn)6實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目：重復(fù)性實(shí)驗(yàn)日期：2023.6.20實(shí)驗(yàn)環(huán)境：溫度（20±2）℃，濕度≤70%RH；生產(chǎn)廠家：長春禹衡光學(xué)有限公司出廠編號(hào)：111700005型號(hào)規(guī)格：玻璃透射光柵，位移范圍：470mm，柵距：40μm測(cè)量結(jié)果曲線：重復(fù)性：0.17μm穩(wěn)定度表7-實(shí)驗(yàn)7實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目：穩(wěn)定度實(shí)驗(yàn)日期：2024.3.26實(shí)驗(yàn)環(huán)境：溫度（20±0.5）℃，濕度≤70%RH；生產(chǎn)廠家：德國海德漢HEIDENHAIN公司出廠編號(hào)：SN25308523型號(hào)規(guī)格：納米衍射光柵LIP302，柵線范圍280mm，位移范圍：270mm，柵距：0.512μm，信號(hào)周期：0.128μm測(cè)量結(jié)果曲線：穩(wěn)定度：0.20μm/4h準(zhǔn)確度表8-實(shí)驗(yàn)8實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目：準(zhǔn)確度實(shí)驗(yàn)日期：2023.6.20實(shí)驗(yàn)環(huán)境：溫度（20±2）℃，濕度≤70%RH；生產(chǎn)廠家：長春禹衡