《半導體單晶硅生長用石英坩堝》團體標準

（征求意見稿）

編制說明

2020年12月13日

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一、工作簡況

1、任務來源

為了進一步規范半導體用石英坩堝產品的技術要求，推進半導體硅晶片產業鏈的不

斷完善和發展。中國電子材料行業協會石英材料分會于2020年決定起草編制《半導體

單晶硅生長用石英坩堝》團體標準。

本標準由內蒙古歐晶科技股份有限公司，錦州佑鑫石英科技有限公司，江西中昱新

材料科技有限公司起草。

2、主要起草編制過程

2020年7月成立標準編制組，調研了國內外的半導體石英坩堝的使用標準和生產

廠家的現狀，進一步比較充分地對比和評價國內外相關產品指標和性能，并明確了編制

組的工作職責和任務；

2020年9月在內蒙古呼和浩特召開了《半導體單晶硅生長用石英坩堝》的團體標準

及生產標準的立項評審會；同月在標準計劃得到立項批復后，編制標準的草案并對草案

進行研討；

2020年11月標準的計劃得到立項批復后，完成了《半導體單晶硅生長用石英坩堝》

團體標準的草案討論稿，并在浙江余姚召開團體標準研討會，邀請國內科研院所，大學

的專家，國內有代表性的坩堝生產企業共同討論，對討論稿中的標準范圍、相關技術參

數和要求進行分析和討論。

2020年12月完成《半導體單晶硅生長用石英坩堝》團體標準的征求意見稿。

二、編制原則和主要內容的依據

1、編制原則

本文件按照GB/T1.1-2020《標注化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草

規則》的要求進行編制。制定的原則是保持標準的科學性和適用性，各項技術指標均能

達到國內先進標準水平。

2、主要內容依據

本文件的編制主要參考《光伏單晶硅生長用石英坩堝》T/CEMIA004-2018，《光伏

單晶硅生長用石英坩堝》JC/T1048-2018。

3、標準主要制定內容說明

本標準界定了半導體單晶硅生長用石英坩堝的術語和定義，規定了尺寸偏差、技術

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要求、試驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸、儲存等。確保石英坩堝品質的統一性

和穩定性。本標準與《光伏單晶硅生長用石英坩堝》T/CEMIA004-2018，《光伏單晶硅

生長用石英坩堝》JC/T1048-2018的技術的主要技術標準，主要對以下內容進行增加或

調整：

3.1本標準術語中新增了3.14崩邊，明確了石英坩堝切割面、端面、邊部的要求；

3.2本標準調整了微氣泡、圓度偏差、壁內、附著物、沾污、劃傷、雜質點、晶紋、氣

泡群等做了英文翻譯和定義說明，使其更能準確針對石英坩堝的術語進行表述；

3.3本標準中4.1外本標準形及表示中新增了Ci內倒角、Co外倒角位置；

3.4調整了5.1尺寸偏差中縮小了大于22英寸坩堝的高度偏差縮小1個單位、厚度偏

差縮小0.5個單位；r弧度間隙縮小2個單位，加嚴了石英坩堝的尺寸偏差要求；

3.5調整了5.2.1外觀缺陷中調整了雜質點、氣泡個數、氣泡群個數標準，如原有大于

22英寸坩堝雜質點0.5mm＜Φ≤1.5mm的≤4個，現調整為0.mm5＜Φ≤1.5mm的調

整為≤3個；

3.6調整了5.2.2透明層內單位體積的微氣泡密度個數，如下所示：

變更前變更后

位置D≤22英寸D＞22英寸D≤22英寸D＞22英寸

透明層≤15≤10≤10≤8

3.7新增了5.3.1內層高純和內層合成石雜質元素含量的上限要求；

3.8調整了7.3.1總則c），由原來的停產4個月修改到2個月以上。

四、標準中如有涉及專利，應有明確的知識產權說明。

本標準的某些內容可能涉及專利。本文件的發布機構不承擔識別專利的責任。

五、產業化、推廣應用論證和預期達到的經濟效果等情況。

隨著我國半導體單晶生產產業的不斷發展，對石英坩堝的品質要求越來越高。半導

體單晶用石英坩堝的標準制定有利于促進石英坩堝的品質提升，優化產品各項性能。為

了增強國內各個石英坩堝生產單位和使用單位對石英坩堝性能數據的對比，提升我國石

英坩堝產業化水平，急需規范評價標準，建立評價體系。因此，需盡快研討確定執行標

準，提高行業的競爭力。

六、采用國際標準和國外先進標準情況（采用國際標準或國外先進標準的目的、意義和

一致性程度，我國標準與被采用標準的主要差異及其原因；以及與國際、國外同類標準

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水平的對比情況）

石英坩堝無國際標準，國外主要參考邁圖企業標準，國內主要參考《光伏單晶硅生

長用石英坩堝》T/CEMIA004-2018，《光伏單晶硅生長用石英坩堝》JC/T1048-2018。

七、重大分歧意見的處理經過和依據

無。

八、標準性質的建議說明

建議本標準性質為團體標準。

九、貫徹標準的要求和措施建議

本標準確定的指標符合大多數石英坩堝研制和使用企業的實際情況。該標準可直接

在行業內大多數企業貫徹實施。本標準有助于提高相關行業的技術水平，建議盡早實施。

十、廢止現行相關標準的建議

無。

十一、致謝