CH&HW冰熱水系統(tǒng)CHW中溫冰水系統(tǒng)CH-XX中溫冰機HCH-XX熱回收冰機CWP-XX中溫冷卻水泵CHP1-XX中溫冷凍水一次泵CHP2-XX中溫冷凍水二次泵CH-ET膨脹水箱LCHW低溫冰水系統(tǒng)LCH-XX低溫冰機LCWP-XX低溫冷卻水泵LCHP1-XX低溫冷凍水一次泵LCHP2-XX低溫冷凍水二次泵WW溫水系統(tǒng)WWP溫水泵HW熱水系統(tǒng)SH殼管式熱交換器HWP熱水泵CRP蒸汽冷凝水泵ST-CT蒸汽冷凝水箱CR潔凈室MAU新風空調VFD變頻器FFU風機過濾機組ULPA超高效空氣過濾器DCC干冷盤管EXH排氣系統(tǒng)GEX一般排氣SEX酸性排氣AEX堿性排氣VEX有機排氣SCR洗滌塔PCW工藝制程冷卻水PCWP工藝制程冷卻水泵PHE板式熱交換器Filter過濾器UPS不間斷電源系統(tǒng)DySC電壓暫降補償器ET膨脹水箱PV工藝真空PVP制程真空泵PVTANK制程真空罐HV清掃清掃GHVAC一般空調系統(tǒng)OAHU新風空調系統(tǒng)PAHU

（RCU)循環(huán)風空調系統(tǒng)FCU

風機盤管EF

排風機系統(tǒng)CCTV閉路電視監(jiān)控系統(tǒng)NVR網(wǎng)絡硬盤錄像機POE以太網(wǎng)供電TV

BOX電視盒子CMS中央控制系統(tǒng)SSR固態(tài)繼電器GEN柴油發(fā)電機CTTS閉路過渡式轉換開關ATS自動轉換開關UPS不間斷電源系統(tǒng)SCADA數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制系統(tǒng)RTU遠程終端單元GPS全球定位系統(tǒng)MTR主變HV高壓LV低壓AC交流電DC直流電REC插座DYSC電壓暫降補償器ELEV電梯UPW超純水UF超過濾Polish拋光床MDG膜脫氣MB混床MDG膜脫氣UV紫外線殺菌機TOC-UV紫外線除TOC殺菌機RO反滲透

MMF多介質過濾器AC活性炭過濾器WC弱陽樹脂塔2B陽床，陰床DG脫氣塔PAC聚合氯化鋁DO溶解氧TOC總有機碳Silica可溶解硅TUB濁度SDI污染密度指數(shù)WWT廢水處理系統(tǒng)NS中和廢水處理系統(tǒng)SS懸浮物質COD化學需氧量BOD生物需氧量HF含氟廢水處理系統(tǒng)CMP化學機械研磨AMT含氨廢水處理系統(tǒng)PDS制程排水系統(tǒng)DWWA一般酸堿排放管路DCHF濃氫氟酸排放管路DDHF稀氫氟酸排放管路DB/GW晶背研磨排放管路DFRW-Cu銅制程初道沖洗水排放管路DLRW后道沖洗水排放管路DCMP-clean化學機械拋光廢水排放管路DF-FAB地板排水排放管路DIPA異丙醇排放管路Dsolvent-1有機溶劑-1

排放管路DWWA-PhotoPhoto區(qū)一般酸堿排放管路DH2SO4-Cu銅制程初硫酸廢液排放管路DH2

SO4硫酸廢液排放管路DH3PO4磷酸廢液排放管路PLB管道設備DW生活用水PW生產(chǎn)用水DWW生活溫水MW中水RWRS雨水回收系統(tǒng)

IWWS工業(yè)污廢水排水系統(tǒng)

EEW緊急沖身洗眼器

GMS氣體監(jiān)控系統(tǒng)CDA潔凈的干燥的空氣XCDA高純的潔凈的干燥的空氣HPCDA高壓的潔凈的干燥空氣IA儀表空氣PN2制程氮氣GN2一般氮氣PH2制程氫氣PO2制程氧氣PAr制程氬氣PHe制程氦氣CQC連續(xù)質量控制ASU空氣分離廠TCN制氮機UPO高純度氧THC碳氫化合物總量LIN液氮LOX液氧SGS特殊氣體系統(tǒng)GC氣柜GR氣架BSGS大宗特殊氣體系統(tǒng)ESG電子特氣VDB/P分配閥箱/盤面VMB/P閥箱/盤EFS過流切換裝置

CV單向閥PT壓力傳感器PG壓力表SCBA自我控制呼吸裝置HPM高危害的制成材料GDS氣體監(jiān)測系統(tǒng)GIS氣體信息系統(tǒng)UPS不間斷電源系統(tǒng)RIO遠程輸入輸出盤PLC可編輯邏輯控制器EMO緊急停止SCADA數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制系統(tǒng)TLV閾限值LDL氣體檢測下限LEL氣體爆炸下限CDS化學分供系統(tǒng)SDS研磨液分供系統(tǒng)CCB清潔連接設備CDM化學分供設備T-BOXT型盒E-BOXE型盒SG密度計VG真空表LS液位傳感器DP

Cell壓差液位計HEPA高效過濾器DCP數(shù)據(jù)集中盤SOP標準操作程序TGCM全面氣體及化學品管理MSDS物質安全數(shù)據(jù)表NMPN-甲基-2-砒咯酮IPA異丙醇DEV顯影液PPE個人防護器具FMCS廠務監(jiān)控系統(tǒng)Power供電PP電盤Plug

in插接箱Breaker斷路器Cable電纜Scoket插座UPW超純水PVDF聚偏氟乙烯VMB閥箱SUS

316316

不銹鋼specialty

gas特種氣體Bulk

gas大宗氣體CDA潔凈的干燥的空氣PCW制程冷卻水SUS

304304

不銹鋼NPT美國標準的60度錐管螺紋PV制成真空UPVC硬聚氯乙烯PU聚氨酯PVC聚氯乙烯CW城市給水GEX一般排氣SEX酸性工藝排氣AEX堿性工藝排氣VEX有機工藝排氣SWG可檢測卡套管接頭和轉換接頭DWWA一般酸堿排放管路DCHF濃氫氟酸排放管路DDHF稀氫氟酸排放管路DB/GW

晶背研磨排放管路DFRW-Cu銅制程初道沖洗水排放管路DLRW后道沖洗水排放管路DCMP-clean化學機械拋光廢水排放管路DF-FAB

地板排水排放管路PDS制程排水系統(tǒng)

DH2SO4-Cu

銅制程初硫酸廢液排放管