潔凈基本知識(shí)與純水制備CONTENTS目錄02潔凈室分類01課程導(dǎo)入03凈化等級(jí)與潔凈度定義04高純水制備與清洗工藝01PARTfour課程導(dǎo)入液晶顯示器生產(chǎn)過程對(duì)生產(chǎn)環(huán)境有著很高的要求，生產(chǎn)環(huán)境不好會(huì)對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量造成很壞的影響，成品率會(huì)大幅降低。因此，生產(chǎn)車間的潔凈控制是保證產(chǎn)品高質(zhì)量生產(chǎn)的先決條件。車間的潔凈控制包括廠房潔凈度的控制及生產(chǎn)中所有的人員、設(shè)備、材料等的潔凈度控制，只有生產(chǎn)環(huán)境滿足工藝要求，才能使生產(chǎn)正常進(jìn)行。02PARTfour潔凈室分類它是通過空調(diào)機(jī)和風(fēng)機(jī)對(duì)空氣進(jìn)行調(diào)濕、調(diào)溫和過濾，然后用管道從潔凈室頂棚的高效過濾器出口向室內(nèi)送風(fēng)。這種潔凈室的送風(fēng)口分布在頂棚，回風(fēng)是在地板下或側(cè)墻壁下部，空氣在室內(nèi)紊亂地流動(dòng)，它的潔凈度不很高，一般在千級(jí)至十幾萬(wàn)級(jí)間，但因?yàn)樗耐顿Y較少而被生產(chǎn)TN型產(chǎn)品的廠家廣泛采用。潔凈室分類01.紊亂式潔凈室凈化空氣從一側(cè)的高效過濾器水平送入，然后從另一側(cè)排風(fēng)口回風(fēng)，潔凈室內(nèi)的空氣呈水平方向流動(dòng)，這種氣流的流動(dòng)有一定方向性，相對(duì)紊流式效果要好，這種方式多用于局部?jī)艋?，如PI涂覆、絲印等工序。潔凈室分類02.水平平行流式潔凈室潔凈空氣從整個(gè)頂棚垂直向下運(yùn)動(dòng)，地面呈網(wǎng)格狀作為回風(fēng)口，室內(nèi)的空氣是從上到下垂直流動(dòng)的，這種氣流使塵埃不會(huì)向上翻轉(zhuǎn)，這種潔凈室的效果好于前兩種。由于是從整個(gè)頂棚的高效過濾器向下送風(fēng)，因此它的造價(jià)遠(yuǎn)高于上述兩種。它用于生產(chǎn)工藝要求很高的工序如曝光、絲印成盒等。潔凈室分類03.垂直平行流式潔凈室03PARTfour凈化等級(jí)與潔凈度定義隨著潔凈技術(shù)的產(chǎn)生和發(fā)展，各國(guó)針對(duì)不同的生產(chǎn)工藝要求，提出了衡量潔凈等級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)，國(guó)際上較有代表性的標(biāo)準(zhǔn)為美國(guó)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。我國(guó)有電子工業(yè)和航天工業(yè)的潔凈標(biāo)準(zhǔn)。這些標(biāo)準(zhǔn)主要規(guī)定塵埃濃度、溫度、濕度、壓力等，有些標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氣流、明度等。塵埃濃度是衡量潔凈效果的最直接、最重要的參數(shù)，通常稱之為潔凈度，它是指單位體積的空氣中含有大于0.5μm真徑的塵埃數(shù)量。潔凈室級(jí)別塵埃壓強(qiáng)(MPa)溫度（℃)粒徑（μm)粒／英尺3粒／升范圍推薦值誤差100≥0.5≤100≤3.5≥1.6719.4~2522.2±2.8特殊場(chǎng)合±0.2810000≥0.5≥5.0≤10000≤65≤350≤2.3100000≥0.5≥5.0≤100000≤700≤3500≤25美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)潔凈室等級(jí)潔凈度溫度（℃)相對(duì)濕度（%)正壓值(MPa)噪聲(A聲級(jí)dB)使用范圍舉例（以集成電路工藝為例）粒徑(μm)濃度（粒／升）最高最低最高最低1級(jí)≥0.5≤127186040逐級(jí)相差≥0.67≤70-10級(jí)≥0.5≤1027186040同上≤70光刻，制版100級(jí)≥0.5≤10027186040同上≤70擴(kuò)散1000級(jí)≥0.5≤100027186040同上≤70封裝10000級(jí)≥0.5≤1000027186040同上≤70腐蝕原電子工業(yè)部潔凈室等級(jí)試行規(guī)定凈化等級(jí)與潔凈度定義04PARTfour高純水制備與清洗工藝普通水粗過濾活性炭過濾電滲析離子交換紫外線殺菌微孔濾膜高純水LCD產(chǎn)品的清洗，與半導(dǎo)體生產(chǎn)一樣，是非常關(guān)鍵的環(huán)節(jié)，而清洗中大量使用的清洗材料是高純水。高純水制備流程如圖所示。高純水制備與清洗工藝（1）高純水制備流程離子交換樹脂是高分子聚合物，是一種不溶的、呈顆粒狀的固體。離子交換樹脂顏色有白色、黃色、褐色等。如果將其放入含有各種離子的水溶液中，由于離子交換樹脂能吸附溶液中的離子，并把自己的離子析出釋放到溶液中，即能進(jìn)行離子交換反應(yīng)，因而被稱為離子交換樹脂。去離子水制備簡(jiǎn)圖高純水制備與清洗工藝01.高純水的制備（2）離子交換樹脂簡(jiǎn)介離子交換樹脂使用一段時(shí)間后，陰、陽(yáng)離子樹脂大部分轉(zhuǎn)變成鹽型的離子交換樹脂，它的置換能力大大降低，這時(shí)需要對(duì)離子交換樹脂進(jìn)行再生處理。水的純度越高，其雜志含量就越低，水的電阻率也就越大，因此測(cè)量水的純度一般通過使用電導(dǎo)儀測(cè)量水中電阻率的大小來衡量。LCD生產(chǎn)中水的純度越高越好。高純水制備與清洗工藝01.高純水的制備（3）離子交換樹脂的再生（4）水的純度測(cè)量液晶顯示器生產(chǎn)工藝中首先要做的事情就是對(duì)ITO玻璃進(jìn)行潔凈處理，因?yàn)镮TO玻璃在其制作、包裝和運(yùn)輸過程中很容易被灰塵、油脂等雜質(zhì)污染，未經(jīng)潔凈處理的玻璃無(wú)法保證工藝質(zhì)量要求。清洗有多種形式，如有機(jī)溶劑清洗、堿液加超聲波清洗、中性清洗劑清洗等，它們各有優(yōu)缺點(diǎn)，下面簡(jiǎn)單介紹用堿液的清洗方