K2001氬中微量氮分析儀簡單操作說明K2001Ar中微量N2分析儀用于測量高純氬氣中0～100ppm的雜質氮。該設備用于高純氣體,不許雜質（如O2、CH4、H2、CO、H2O等）進入，若有雜質進入,雖不會損壞電離池,但會臨時削弱儀表的精確度和穩定性，這時需通入純凈氣體,儀表會恢復正常且通常不用再校驗。儀表所有的功能由微處理器板控制,不同的功能通過按不同的鍵,用菜單選項得到。儀表入口條件溫度：10-35℃入口壓力：4-28Psi流量范圍：75cc/min二、儀表技術指標檢測器型號：單光束,電磁感應,等離子池,非線性測量材料;石英,單元素.內部壓力不超過10PSIG（69Kpa）量程：X1：0-1ppm分辨率10ppbX10：0-10ppmx分辨率0.1ppmX100：0-100ppm分辨率1ppm精確度：≤1％FS漂移：±1％/天樣品氣流量要求：25cc~150sccm推薦的校驗氣：零點氣：1.0~2.0ppmN2/Ar量程氣：8.0~9.5ppmN2/Ar注意：校驗取決于使用的量程。流量精確度：0～200cc時±1％FS最大入口壓力：70PSIG（482KPAG）最小入口壓力：5PSIG（35.5KPAG）（50cc時）最佳操作壓力：5～10PSIG(35.5~69KPAG)操作溫度：100C～350C樣品氣入口的連接：1/8英寸Swagelok接頭供電電源：交流電115伏/50-60Hz或交流電220伏/50-60Hz保險絲：2個1A、250V保險絲，F型，尺寸5Х20mm注:若電源輸入端電壓超過2千伏,由于機器內部變阻器的保護作用,保險絲將會斷開功率：最大35瓦響應時間：X10和X100：75cc時T90為20秒X1：75cc時T90為40秒尺寸：標準大小為5.25英寸高,18英寸深,19英寸寬重量：15Kg(33lbs)al系統自檢軟件零點,終點自動校驗系統,免維修數字輸出選項:4個數字輸出,3個用于指示量程,1個用于儀表的狀態指示4-20mA的隔離輸出:回路最大負載600Ω（20mADC時）串行口:RS－232工藝參數背景氣：液氬壓力：64.6KPa（G）溫度：94K操作方法1、啟動將所有的管線清潔和吹洗后,則可打開儀表后部的電源開關“ON”,顯示器顯示主菜單.啟動時流量的設定為75cc,除非需要快速吹洗,通常流量不需改變.快速吹洗時增加流量到190cc,吹洗設備1～2個小時.注：流量控制閥是微型熱控閥,電源打開時閥是冷的,氣體流過閥大概需要2分鐘,一旦閥變暖,流量將變得穩定.假如設定流量為0cc,一會兒閥將冷卻下來.在沒有氣體通過時不能設置流量高于0cc,否則會燒壞閥,需要替換流量模塊.因此,通電前要確認通入了氣體.另外通電前再次確認儀表已用高純氬氣吹洗過,這樣儀表能較快的投入使用,更重要的是等離子區內不能通入高含量的雜質.吹洗以后,就可以根據需要的響應速度和儀表與樣品氣源間的距離設定旁通流量計.儀表的流量可回到75cc/m.2、菜單操作說明儀表所有的功能都通過不同的菜單選項控制,下面的圖例將介紹所有的菜單功能：電源打開,儀表顯示主菜單（MAINMENU）.KONTROLANALYTIKK2001TRANCEN2ANALYZERMAINMENUF1:configurationF3：diagnosticF2：calibrationF4：run圖1：主菜單主菜單（MAINMENU）如圖1所示.下面將詳細的介紹每一個菜單和子菜單.（1）組態主菜單中選擇F1將進入組態菜單,組態菜單提示您確定3個不同的參數:a您要確定是否使用“自動量程”功能,選擇F1“yes”（是）,儀表將自動在3個量程內轉換(0-1ppm,0-10ppm,0-100ppm),是和否之間的選擇通過按F1進行.圖2：組態菜單<<CONFIGURATIONMENU>>F3:nxtAutomaticranging?(F1-yes/no):NoSampleflowsetpoint(0-200CC):75AnalogoutputF2(hld/tr):TrackF4:retb確定樣品氣流速：通過使用數字鍵可方便的設定需要的樣品氣流速值,用“E”鍵確認該值.流速允許的范圍為0～200之間,流速單位為cc/min.新輸入的值為有效值,流速閥會相應的調整.c模擬輸出模式:按“F2”鍵,4－20mA的輸出處于“track”或“hold”模式.Hold模式:當退出測量模式時,輸出信號保持.Track模式:在所有模式下輸出信號隨氣體含量的變化而變化.按“F3”鍵進入組態菜單的第二頁.圖3：組態菜單第二頁<<CONFIGURATIONMENU>>Page2mAfailuremodeF1(high/low/off):HighNootheroptionsavailableF4:retd輸出失效模式F1:假如超量程或電離池未工作,可選擇4－20mA的輸出為:Low(4mA以下可輸出)，High(高于20mA可輸出),選擇“Off”則使4－20mA輸出反映信號值.按F4退出本圖面,如面顯示組態菜單的第一頁,再按F4將回到主菜單.這是標準組態,若您的儀表有其它的可選功能,相應的菜單會出現（串行口,自動校驗,數字I/O等）.注:當您選擇自動量程時,量程的選擇取決于模擬－數字轉換值或是ppm值,取決于使用量程的最大值.（2）校驗圖4為校驗菜單,在本節,用戶需輸入零點氣和終點氣中N2的ppm值,推薦的零點氣為滿量程0～20％之間,量程氣為滿量程的80～95％之間.例如,量程為10ppm時零點氣為2.0ppmN2,量程氣為8.0ppmN2.校驗前讀數要穩定.在主菜單,按F2鍵,儀表將顯示校驗主菜單,見圖4:圖4：校驗主菜單<<CALIBRATIONMENU>>F1:zeroF2:spanF3:calibrateF4:quit選擇F1,F2可以分別輸入零點校驗氣的值和量程校驗氣的值,見圖5,6.圖5：輸入零點氣值時的圖面<<CALIBRATIONMENU>>INPUTZEROVALUE:F1:OKACTUELVALUE:VALUEMUSTBEINppm圖6：輸入量程氣值時的圖面<<CALIBRATIONMENU>>INPUTSPANVALUE:F1:OKACTUELVALUE:VALUEMUSTBEINppm儀表根據輸入的量程氣值會自動選擇合適的量程.當您輸入一個值再按“E”鍵,微處理機將會檢查格式并進行評估,使其生效.當一切就緒,輸入的值將會顯示在測量區,若值被拒絕接受,輸入區將被清除,測量值會保持不變.若輸入有誤,按enter鍵重復以上過程.輸入零點氣值和量程氣值后,選擇F3鍵則進入校驗子菜單.下圖為該子菜單：<<CALIBRATIONFACTORSCALAULATION>>Measure:ppmSampleflow:ccF1:zeroF2:SPANF4:returnCalibrationstatus:圖7：校驗子菜單顯示測量值（ppm）和流量（cc）,若儀表是首次使用或更換了校驗氣,則ppm的顯示就毫無意義。為了更好的校驗儀表,校驗氣瓶上的減壓閥和所有管線都必須徹底吹洗.零點氣通入儀表10分鐘后,在鍵盤上選擇“F1”,需對零點值再次確認,選擇“YES”（是）將出現“PLEASEWAIT”（請稍等）,表明在模擬輸出在調整,這則提示視噪音情況停留5～10秒.稍后,將出現“ZERODONE”,此時可通入量程氣,10分鐘或顯示的測量值穩定,在鍵盤上按“F2”,要求您對量程值再次確認,選擇是,會再次出現請稍等字樣.當該步驟完成,將顯示“SPANDONE”,在屏幕左方會顯示量程氣的值.然后再次校零,若有必要,再校一次量程.校驗過程完成后,按“F4”返回到校驗主菜單,再按“F4”將回到主菜單.儀表一旦校驗后可工作,但前幾天有漂移,因此,多校驗幾次.。（3）運行儀表大多數時間都處于該種模式,顯示如圖8.圖8：運轉模式<<RUNMODE>>Measure:XXXppmSampleflow:XXXccSystemstatus:OKScale:0-1ppmF4:ret該模式顯示如下信息:測量值（ppm）,流量值（cc）,系統狀態,使用的量程.4－20mA輸出根據使用的量程變化,如果配有數字輸出板,可以在遠程顯示使用的量程.如果選擇了自動量程,則量程會根據ppm值變化.如果選擇的是手動量程,則必須進行選擇,按“1”為0－1ppm,“2”為0－10ppm,“3”為0－100ppm.無論手動還是自動量程,均顯示目前使用的量程.樣品氣的流速總是顯示的.一般來說,此值為組態菜單中輸入的值.當選擇不同的氣路或進口氣壓變化太大時,值可能改變.進口的壓力必須穩定,最好介于5～10PSI之間.在運行模式下,您會得到一些狀態的信息,通常顯示”OK”.下面列舉可能會出現的一些信息和它們代表的含義：OK：沒問題LOWFLOW：儀表的流量低于20cc時間超過30秒CKS：全部檢查,儲存器有誤,儀表不能正常工作,微處理器有故障或重大錯誤APS：模擬信號供電不正常DPS：數字信號供電不正常STARTING：等離子發生器升壓,開機時會顯示很短的時間,也有可能為30～45分鐘,這取決于氣體的狀態和電離池的