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文檔簡介

半導體潔凈車間溫濕度控制方案半導體潔凈車間溫濕度控制方案一、方案概述本方案旨在為半導體潔凈車間提供一套科學的溫濕度控制方案，以確保車間環境符合半導體生產的要求。方案包括對車間環境參數的監測、調節與維護，以及相應的設備選型與系統設計。二、溫濕度控制目標1.溫度控制范圍：18℃～25℃；2.濕度控制范圍：40%～60%；3.溫濕度波動范圍：±1℃、±5%。三、系統設計（一）環境監測系統1.溫度監測：采用鉑電阻或熱電偶傳感器，對車間內各區域的溫度進行實時監測。2.濕度監測：采用濕度傳感器，對車間內各區域的濕度進行實時監測。3.數據采集與處理：將監測到的溫濕度數據傳輸至中央控制單元，并進行處理與存儲。（二）調節系統1.溫度調節：采用空氣調節器（空調），通過調節送風量和溫度，實現對車間內溫度的控制。2.濕度調節：采用加濕器或除濕器，通過調節濕度，實現對車間內濕度的控制。（三）維護系統1.設備維護：定期對空調、加濕器、除濕器等設備進行檢查與保養，確保設備正常運行。2.系統維護：定期檢查監測系統和調節系統，確保系統數據準確，調節功能正常。四、設備選型（一）溫度監測設備1.傳感器：鉑電阻或熱電偶傳感器，分辨率達到±0.1℃，響應時間≤5秒。2.數據采集器：具備RS485通訊接口，可同時接入多個溫度傳感器，實現多點溫度監測。（二）濕度監測設備1.傳感器：電容式濕度傳感器，分辨率達到±1%，響應時間≤5秒。2.數據采集器：具備RS485通訊接口，可同時接入多個濕度傳感器，實現多點濕度監測。（三）溫度調節設備1.空氣調節器：單臺最大制冷量≥200kW，適用于大面積車間。2.送風機：單臺最大風量≥20000m3/h，適用于大面積車間。（四）濕度調節設備1.加濕器：單臺最大加濕量≥200kg/h，適用于大面積車間。2.除濕器：單臺最大除濕量≥200kg/h，適用于大面積車間。五、實施步驟1.現場調研：了解車間環境、生產需求，確定溫濕度控制方案。2.設備選型：根據方案要求，選擇合適的監測、調節設備。3.系統安裝：將監測、調節設備安裝于車間內，并連接通訊線路。4.系統調試：對系統進行調試，確保監測、調節功能正常。5.系統運行：定期對系統進行維護，確保車間環境穩定。六、效益分析1.提高產品質量：穩定的溫濕度環境有助于提高半導體產品的良率。2.降低能耗：合理的溫濕度控制方案可降低空調、加濕器等設備的能耗。3.保障生產安全：穩定的溫濕度環境有助于保障生產人員的

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