國家能源局發布I前言 Ⅱ 1 1 14產品原理、結構及規格 25技術要求 3 6 9 掃碼免費兌換電子書Ⅱ本文件依據GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草規則》的規c)增加了浪涌(沖擊)抗擾度技術要求及1)刪除了保持真空度術語和定義。1本文件規定了真空激光準直位移測量裝置(以下簡稱真空激光準直裝置)的產品規格、技術要GB/T9969工業產品使用說明書總則GB/T17626.3電磁兼容試驗和測量技術射頻電磁場輻射抗擾度試驗GB/T17626.5電磁兼容試驗和測量技術浪涌(沖擊)抗擾度試驗一種由定位擴束小孔光欄、激光器和電源適配器等組成的裝置2真空管道vacuumpipeline用于通過激光束的專用管道，由激光發射裝置(3.1)平晶密封段、激光接收裝置(3.4)平晶密封段、測點箱(3.3)、軟連接段、連接管道等部件組成，測量時管道內處于真空狀態。漏氣率gasleakagerate從測量真空度狀態到小于保持真空度狀態單位時間真空度變化值。系統綜合誤差systematiccombinederror真空激光準直裝置在測量范圍內由于波帶板(3.2)成像、折光差(真空度、溫度梯度)、光斑測量誤差等因素影響而產生的總誤差。取極差，即校正過程中，光斑測量按該測點歸化系數計算位移值與該測點標準位移給定量的最大偏差值。4產品原理、結構及規格4.1產品原理真空激光準直裝置是根據光的衍射原理，利用激光源、波帶板中心和像點中心三點一線，在一端安裝激光發射裝置，在另一端安裝激光接收裝置，在中間測點上安裝波帶板。激光發射裝置發射出的激光束在真空中傳輸，照滿波帶板，波帶板起聚焦作用，在激光接收裝置上形成圓形亮點或十字形亮線。在激光接收裝置上測出亮點或亮線的光斑重心位置，即可計算出測點的測值。測量原理見圖1和公式(1)。圖1真空激光準直裝置測點測值計算示意圖…L——測點測值，單位為毫米(mm);1激光接收裝置讀數值，單位為毫米(mm);S,——測點至激光發射裝置的距離，單位為米(m);D激光準直全長，單位為米(m)。4.2產品結構真空激光準直裝置由激光發射、測點箱(含波帶板)、真空管道(含真空泵及配套設備)、激光接收、自動化測控等裝置組成。產品結構見圖2。3真空激光準直裝置主要規格見表1。光斑位置測量范圍m1234a)環境溫度：-20℃~60℃;b)相對濕度：≤95%,無凝露；c)大氣壓力：53kPa～106kPa。4a)環境溫度：15℃~35℃;b)相對濕度：25%～75%;光斑位置測量范圍光斑位置測量分辨力1234b)激光器宜采用He-Ne或固態激光器，發55.7浪涌(沖擊)抗擾度6c)激光點光源、波帶板及激光接收端的中心形成的準直線與真空管道同軸，軸線允許偏差為d)真空激光準直裝置安裝完成后，應測量各測點與兩端點間的距離，測距相對誤差不應大于d)運輸顛振試驗臺：最大加速度為20g,頻率范圍為2Hz～600Hz;76.5浪涌(沖擊)抗擾度試驗8b)將激光接收裝置在垂直于激光準直線的水平方向上移動10mm～20mm,偏移誤差應小于9出廠檢驗型式試驗1√√2√√3√4√5√6√√7√8√√表4現場檢驗項目1234系統綜合誤差567表3。長期不用的產品應保留原包裝，貯存環境溫度應為-40℃~60℃,