UDC中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)PGB50xxx—201x集成電路封裝測(cè)試廠設(shè)計(jì)規(guī)范CodeforDesignofIntegratedCircuitsrassemblyandtestFactory（征求意見(jiàn)稿）201xxxxx發(fā)布201xxxxx實(shí)施聯(lián)合發(fā)布中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部聯(lián)合發(fā)布中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)集成電路封裝測(cè)試廠設(shè)計(jì)規(guī)范CodeforDesignofIntegratedCircuitsrassemblyandtestFactoryGB50xxx–201x主編部門(mén)：中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部批準(zhǔn)部門(mén)：中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部施行日期：201x年xx月xx日中國(guó)計(jì)劃出版社20xx年北京PAGEPAGE4前言本規(guī)范是根據(jù)中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部《2012年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制訂修訂計(jì)劃》建標(biāo)[2012]5號(hào)文的要求，由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一研究院科技工程股份有限公司會(huì)同有關(guān)單位共同編制完成。在規(guī)范編制過(guò)程中，編寫(xiě)組根據(jù)我國(guó)集成電路封裝測(cè)試工廠的設(shè)計(jì)、建造和運(yùn)行的實(shí)際情況，進(jìn)行了大量調(diào)查研究，同時(shí)考慮我國(guó)目前生產(chǎn)的現(xiàn)狀，對(duì)國(guó)外的規(guī)范進(jìn)行廣泛的研讀，廣泛征求了全國(guó)有關(guān)單位與個(gè)人意見(jiàn)，并反復(fù)修改，經(jīng)審查定稿。本規(guī)范共分11章。其主要內(nèi)容有：總則、術(shù)語(yǔ)、工藝、總體、建筑與結(jié)構(gòu)、冷熱源、給排水與消防、電氣、凈化與工藝排風(fēng)、純水與廢水處理、氣體與真空等。本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對(duì)強(qiáng)制性條文的解釋，工業(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理，信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。在執(zhí)行過(guò)程中如有意見(jiàn)或建議請(qǐng)寄至信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司《集成電路封裝測(cè)試廠設(shè)計(jì)規(guī)范》管理組（地址：四川成都市雙林路251號(hào)，郵編：610021，傳真，以便今后修訂時(shí)參考。本規(guī)范主編單位、參編單位、參加單位、主要起草人和主要審查人：主編單位：信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司參編單位：主要起草人：主要審查人：目次TOC\o"1-1"\u1總則 12術(shù)語(yǔ) 23工藝設(shè)計(jì) 43.1一般規(guī)定 43.2技術(shù)選擇 43.3工藝布局 44總體設(shè)計(jì) 64.1廠址選擇 64.2總體規(guī)劃及布局 65建筑與結(jié)構(gòu) 75.1建筑 75.2結(jié)構(gòu) 75.3防火與疏散 76冷熱源 97給排水與消防 107.1一般規(guī)定 107.2給排水 107.3工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng) 117.4消防給水和滅火設(shè)備 118電氣 148.1供配電 148.2照明 148.3接地 158.4防靜電 158.5通信與安全保護(hù) 168.6電磁屏蔽 179凈化與工藝排風(fēng) 199.1凈化區(qū) 199.2工藝排風(fēng) 2010純水與廢水處理 2110.1純水 2110.2廢水處理 2211氣體與真空 2311.1大宗氣體 2311.2干燥壓縮空氣 2411.3真空 24本規(guī)范用詞說(shuō)明 27引用標(biāo)準(zhǔn)名錄 ……28附：條文說(shuō)明 29

CONTENTTOC\o"1-1"\u1General 12Terminology 23ProcessDesign 43.1GeneralRegulation 43.2TechnologySelection 43.3ProcessLayout 44SiteMasterDesign 64.1SiteSelection 64.2OverallPlanningandPlanLayout 65Architecture&Structure 75.1Architecture 75.2Structure 75.3FireEvacuation 76Utilities 97Plumbing&Fireprotection 107.1GeneralRegulation 107.2WaterSupply&Drainage 107.3ProcessRecirculatedCoolingWater 117.4FireProtection&FireHydrant 118Electrical 148.1PowerSupply&Distribution 148.2Lighting 148.3Grounding 158.4Protectionofelectrostaticdischarge 158.5TelecommunicationandSafety 168.6ElectroMagneticCompatibility 179CleanRoom&ProcessExhaust 199.1CleanRoom 199.2ProcessExhaust 2010PureWater&WasteWater 2110.1PureWater 2110.2WasteWater 2211Gas&Vacuum 2311.1BulkGases 2311.2CompressedDryAir 2411.3Vacuum 24Explanationofwordinginthiscode………………27Listofquotedstandards……………28Addition:Explanationofprovisions…………………29PAGEPAGE9總則1.0.1為在集成電路封裝測(cè)試工廠設(shè)計(jì)中正確貫徹國(guó)家現(xiàn)行法律、法規(guī)，滿足集成電路封裝測(cè)試要求，確保人身和財(cái)產(chǎn)安全，做到安全適用、技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、環(huán)境友好，制定本規(guī)范。1.0.2本規(guī)范適用于新建、改建和擴(kuò)建的集成電路封裝測(cè)試廠的工程設(shè)計(jì)。1.0.3集成電路封裝測(cè)試廠設(shè)計(jì)應(yīng)滿足集成電路封裝測(cè)試工藝要求，同時(shí)應(yīng)為施工安裝、調(diào)試檢測(cè)、安全運(yùn)行、維護(hù)管理提供必要條件。1.0.4集成電路封裝測(cè)試廠設(shè)計(jì)除應(yīng)符合本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

術(shù)語(yǔ)2.0.1晶圓wafer經(jīng)過(guò)集成電路前工序加工后，其上形成電路管芯的硅或其它化合物半導(dǎo)體的圓形單晶片。2.0.2中測(cè)Chiptesting在晶圓完成前工序工藝后，經(jīng)過(guò)探針測(cè)試臺(tái)進(jìn)行器件標(biāo)準(zhǔn)和功能性電學(xué)測(cè)試，以確定合格及不合格芯片。2.0.3減薄wafergrind通過(guò)磨輪磨削等手段對(duì)晶圓背面進(jìn)行減薄，使其達(dá)到所需的厚度以滿足劃片加工的需要。2.0.4劃片wafersaw通過(guò)砂輪、激光或其他工具對(duì)經(jīng)過(guò)測(cè)試和減薄后的晶圓沿芯片邊緣劃切，以將晶圓切割成獨(dú)立的芯片。2.0.5粘片diebond將切割好的芯片從劃片粘膜上取下，將其置放到引線框架或封裝襯底或基座條帶上。2.0.6焊線wirebond焊線是將芯片上的引線孔通過(guò)極細(xì)的金線或銅線與框架襯底上的引腳連接，使芯片能與外部電路相連。2.0.7載帶自動(dòng)鍵合TAB在柔性載帶上粘結(jié)金屬銅箔，在其上經(jīng)過(guò)腐蝕形成引線框圖形，而后與芯片上的凸點(diǎn)進(jìn)行連接。2.0.8塑料封裝molding與框架或基板鍵合后的芯片通過(guò)環(huán)氧樹(shù)脂經(jīng)模注、灌封、壓入等工序硬化固定，使芯片、框架或基板、電極引線等封為一體，起到密封、傳熱、緩解應(yīng)力及保護(hù)芯片的作用。2.0.9陶瓷封裝ceramicpackage采用陶瓷作為芯片封裝的封蓋材料和承載基板，可提供芯片氣密性的密封保護(hù)，并具有優(yōu)良的可靠度。2.0.10切筋打彎trimming取出框架外引腳之間多余的殘膠及在框架帶上相連的部位，并將引腳彎成一定形狀，以適合組裝的需要。2.0.11打印marking在封裝模塊的頂面使用不同的方式進(jìn)行打印，以用于識(shí)別和跟蹤，主要方式有油墨打印和激光打印。2.0.12電鍍plating在框架引腳上形成保護(hù)性鍍層，以增加其可焊性。2.0.13成品測(cè)試ICtesting對(duì)包封后的集成電路產(chǎn)品進(jìn)行分選測(cè)試的過(guò)程。工藝設(shè)計(jì)一般規(guī)定集成電路封裝測(cè)試工廠的工藝設(shè)計(jì)滿足工廠產(chǎn)能的要求，具有擴(kuò)展的靈活性并滿足節(jié)能、環(huán)保、職業(yè)衛(wèi)生與安全方面的要求。集成電路封裝測(cè)試工廠設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)合理設(shè)置各種生產(chǎn)條件，在滿足生產(chǎn)要求的前提下，盡量投資少、運(yùn)行費(fèi)用低、生產(chǎn)效率高。技術(shù)選擇集成電路封裝測(cè)試工廠應(yīng)按工廠的產(chǎn)品封裝測(cè)試類型，產(chǎn)能要求等因素確定生產(chǎn)的工藝技術(shù)和配套的設(shè)備生產(chǎn)技術(shù)應(yīng)與產(chǎn)品類型相匹配。產(chǎn)品按封裝引線形式分為通孔插裝和表面貼裝等；按照芯片保護(hù)方式分為塑料封裝、陶瓷封裝和金屬封裝等。工藝布局工藝布局宜根據(jù)產(chǎn)品工序進(jìn)行，主要生產(chǎn)工序可分為中測(cè)、減薄、劃片粘片、焊線、芯片包封、電鍍和成品測(cè)試。常用的工藝流程為：晶圓入廠→中測(cè)→減薄→貼膜→粘片→焊線→包封→切筋成型→電鍍→打印→成品測(cè)試→包裝→出貨。工藝設(shè)備宜根據(jù)生產(chǎn)工序進(jìn)行集中布置。生產(chǎn)環(huán)境宜符合下列要求：序號(hào)工序潔凈度等級(jí)溫度相對(duì)濕度照度1晶圓檢查、減薄、劃片、粘片、焊線6~723℃±2℃50±10%300~500lx2芯片包封7~823℃±3℃50±10%300~500lx3電鍍、測(cè)試空調(diào)300~500lx生產(chǎn)區(qū)應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的設(shè)備和物料出入口，并配置相應(yīng)的物料凈化設(shè)施。操作人員走道的寬度應(yīng)滿足設(shè)備正常操作、人員通行及材料搬運(yùn)的需要。

總體設(shè)計(jì)廠址選擇廠址選擇應(yīng)符合國(guó)家及地方的總體規(guī)劃、技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)、環(huán)境保護(hù)等要求，并應(yīng)符合企業(yè)自身發(fā)展的需要、基礎(chǔ)設(shè)施優(yōu)良、交通便利。廠址所在區(qū)域應(yīng)大氣含塵量低，無(wú)洪水、潮水、內(nèi)澇、颶風(fēng)、雷暴威脅。總體規(guī)劃及布局工廠廠區(qū)應(yīng)包括辦公、生產(chǎn)、動(dòng)力、倉(cāng)儲(chǔ)等功能區(qū)域，以生產(chǎn)區(qū)為核心進(jìn)行布置。廠區(qū)的人流、物流出入口宜分開(kāi)設(shè)置。廠區(qū)內(nèi)車(chē)輛停放場(chǎng)地應(yīng)滿足當(dāng)?shù)匾?guī)劃要求。廠區(qū)內(nèi)動(dòng)力設(shè)施主要噪聲源宜集中布置，并應(yīng)確保場(chǎng)區(qū)邊界的噪聲強(qiáng)度分別符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)企業(yè)噪聲控制設(shè)計(jì)規(guī)范》GBJ87及《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》GB12348的限值規(guī)定。廠區(qū)內(nèi)應(yīng)設(shè)置消防車(chē)道。廠區(qū)道路面層應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。

建筑與結(jié)構(gòu)建筑集成電路封裝測(cè)試工廠的建筑平面和空間布局應(yīng)適應(yīng)工廠發(fā)展及技術(shù)升級(jí)。生產(chǎn)廠房的外墻應(yīng)采用滿足集成電路封裝測(cè)試生產(chǎn)對(duì)環(huán)境的氣密、保溫、隔熱、防火、防潮、防塵、耐久、易清洗等要求的材料。生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)有工藝設(shè)備、動(dòng)力設(shè)備的運(yùn)輸安裝通道生產(chǎn)廠房?jī)艋瘏^(qū)設(shè)置的外窗應(yīng)采用斷熱冷橋的雙層固定窗，并具有良好氣密性。生產(chǎn)廠房外墻和室內(nèi)裝修材料的選擇應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50222和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472的規(guī)定。多層生產(chǎn)廠房外墻應(yīng)設(shè)有設(shè)備搬入的吊裝口及吊裝平臺(tái)結(jié)構(gòu)集成電路封裝測(cè)試工廠各建筑物應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑工程抗震設(shè)防分類標(biāo)準(zhǔn)》GB50223確定抗震設(shè)防類別及抗震設(shè)防標(biāo)準(zhǔn)。生產(chǎn)廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)、鋼結(jié)構(gòu)或者兩種結(jié)構(gòu)的組合，并應(yīng)具有防火、密閉、防水、控制溫度變形和不均勻沉降性能。防火和疏散集成電路封裝測(cè)試工廠的生產(chǎn)廠房火災(zāi)危險(xiǎn)性分類應(yīng)按《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472附錄B確定，耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。生產(chǎn)中使用的甲、乙類危險(xiǎn)品的最大允許量應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的規(guī)定。生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的凈化區(qū)，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測(cè)系統(tǒng)后，其每個(gè)防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。生產(chǎn)廠房每一生產(chǎn)層、每個(gè)防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全出口設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：1安全出口數(shù)量應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073的相關(guān)規(guī)定；2安全出口應(yīng)分散布置，并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志；3生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的凈化區(qū)，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測(cè)系統(tǒng)后，安全疏散距離可根據(jù)生產(chǎn)工藝確定，但應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472的規(guī)定。多層生產(chǎn)廠房的各層外墻應(yīng)設(shè)專用消防口，并應(yīng)符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073的規(guī)定。

冷熱源6.0.1集成電路封裝測(cè)試工廠的冷熱源設(shè)置應(yīng)滿足當(dāng)?shù)貧夂颉⒛茉唇Y(jié)構(gòu)、技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)及環(huán)保規(guī)定。6.0.26.0.3冷熱源設(shè)備臺(tái)數(shù)和單臺(tái)容量應(yīng)根據(jù)全年冷熱負(fù)荷工況合理選擇，并保證設(shè)備在高、低負(fù)荷工況下均能安全、高效運(yùn)行。6.0.4冬季或過(guò)渡季節(jié)室外溫度較低的地區(qū)，在溫度滿足使用要求的情況下，可利用冷卻塔作為冷源設(shè)備。6.0.5冷水機(jī)組的冷凍水供、回水溫差不應(yīng)小于5℃6.0.6非熱回收水冷式冷水機(jī)組的常溫冷卻水的熱量宜回收利用。6.0.76.0.8電動(dòng)壓縮式制冷機(jī)組的制冷劑應(yīng)符合有關(guān)環(huán)保的要求，采用過(guò)渡制冷劑時(shí)，其使用年限應(yīng)符合國(guó)家6.0.10鍋爐房排放的大氣污染物，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》GB13271和《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB16297以及所在地區(qū)有關(guān)大氣污染物排放的規(guī)定。PAGE11PAGE29給排水與消防一般規(guī)定給排水系統(tǒng)應(yīng)滿足生產(chǎn)、生活、消防以及環(huán)保等要求，提高節(jié)約用水的水平，做到安全可靠、技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、節(jié)能減排。給排水系統(tǒng)應(yīng)在滿足使用要求的同時(shí)為施工安裝、操作管理、維修檢測(cè)和安全保護(hù)提供必要條件。給排水給水系統(tǒng)應(yīng)按生產(chǎn)、生活、消防等對(duì)水質(zhì)、水壓、水溫的不同要求分別設(shè)置。生產(chǎn)和生活給水系統(tǒng)若條件允許宜利用市政給水管網(wǎng)的水壓直接供水。當(dāng)市政給水管網(wǎng)的水壓、水量不足時(shí)，生產(chǎn)、生活給水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置貯水裝置和加壓裝置。貯水裝置不得影響水質(zhì)。加壓裝置宜采用變頻調(diào)速設(shè)備，并應(yīng)設(shè)置備用泵，備用泵供水能力不應(yīng)小于供水泵中最大一臺(tái)的供水能力。不同水源、水質(zhì)的用水應(yīng)分系統(tǒng)供水。城市自來(lái)水管道嚴(yán)禁與自備水源或回用水源的給水管道直接連接。潔凈區(qū)內(nèi)工藝設(shè)備的生產(chǎn)排水宜采用接管排水，設(shè)備附近宜設(shè)置事故地漏。潔凈區(qū)內(nèi)設(shè)置地漏時(shí)，地漏應(yīng)有密封蓋且不易腐蝕。潔凈區(qū)內(nèi)生產(chǎn)設(shè)備重力排水管排水口以下部位及地漏應(yīng)設(shè)置水封裝置，水封高度不應(yīng)小于50mm.潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)采用不易積存污物、易于清洗的衛(wèi)生設(shè)備、管道、管架及其附件。在使用或者接觸危險(xiǎn)化學(xué)品的區(qū)域，應(yīng)該根據(jù)化學(xué)品的物理化學(xué)性能和人生安全的需要，設(shè)置緊急淋浴洗眼器。工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的水溫、水壓及水質(zhì)要求應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝條件確定。對(duì)于水溫、水壓、運(yùn)行等要求差別較大的設(shè)備，工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)宜分開(kāi)設(shè)置。工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的循環(huán)水泵宜采用變頻調(diào)速控制，應(yīng)設(shè)置備用泵，備用泵供水能力不應(yīng)小于最大一臺(tái)運(yùn)行水泵的額定供水能力。工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的運(yùn)行可靠性應(yīng)與工藝設(shè)備的需求相適應(yīng)。工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置過(guò)濾器，過(guò)濾器宜考慮備用。過(guò)濾器的過(guò)濾精度應(yīng)根據(jù)工藝設(shè)備對(duì)水質(zhì)的要求確定。工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的換熱設(shè)備宜設(shè)置備用機(jī)組。循環(huán)水箱的有效容積不應(yīng)小于小時(shí)循環(huán)水量的10%，且應(yīng)設(shè)置水位報(bào)警裝置和自動(dòng)及應(yīng)急補(bǔ)水系統(tǒng)。工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的管路應(yīng)符合下列規(guī)定：1應(yīng)設(shè)置必要的泄水閥、排氣閥和排污口；2工藝?yán)鋮s水管道的材質(zhì)，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的水質(zhì)要求，宜采用不銹鋼管、給水UPVC管或PP管，管道附件與閥門(mén)宜采用與管道相同的材質(zhì)；3非保溫的不銹鋼管與碳鋼支吊架之間的隔墊應(yīng)采用絕緣材料，保溫不銹鋼管應(yīng)采用帶絕熱塊的保溫專用管卡。工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)應(yīng)結(jié)合工藝用水設(shè)備、工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的設(shè)備及管路、冷卻水水質(zhì)情況，合理設(shè)置水質(zhì)穩(wěn)定處理及監(jiān)控裝置。消防給水和滅火設(shè)備集成電路封裝測(cè)試工廠的消防設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。潔凈區(qū)應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓系統(tǒng)，自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)和滅火器系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)宜采用濕式自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)若采用干式自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)或預(yù)作用自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)時(shí)，其管網(wǎng)容積及充水時(shí)間不得大于相關(guān)規(guī)范的要求，且系統(tǒng)計(jì)算作用面積應(yīng)放大30%。消防水泵應(yīng)設(shè)備用泵，其工作能力不應(yīng)小于其中最大一臺(tái)消防工作泵。消防泵若采用雙電源或雙回路供電有困難時(shí)，可采用內(nèi)燃機(jī)作為備用動(dòng)力。廠房室外消防給水可采用高壓、臨時(shí)高壓或低壓給水系統(tǒng)，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的規(guī)定。生產(chǎn)廠房潔凈生產(chǎn)層及潔凈區(qū)吊頂或技術(shù)夾層內(nèi)均應(yīng)設(shè)置自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)，設(shè)計(jì)參數(shù)宜按表7.4.6規(guī)定確定。表7.4.6自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)參數(shù)表設(shè)計(jì)區(qū)域設(shè)計(jì)噴水強(qiáng)度設(shè)計(jì)作用面積單個(gè)噴頭保護(hù)面積噴頭動(dòng)作溫度滅火作用時(shí)間潔凈區(qū)域8.0L/min.m2280m13m57℃～77℃60min潔凈區(qū)的建筑構(gòu)造材料為非可燃物且該區(qū)域內(nèi)也無(wú)其它可燃物的存在時(shí)，該區(qū)域可不設(shè)自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)。潔凈區(qū)吊頂下噴頭宜采用不銹鋼柔性接管與自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)供水管道相連接在潔凈區(qū)內(nèi)各場(chǎng)所應(yīng)配置滅火器，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑滅火器配置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50140的有關(guān)規(guī)定。潔凈區(qū)內(nèi)宜選用二氧化碳等對(duì)工藝設(shè)備和潔凈區(qū)環(huán)境不產(chǎn)生污染和腐蝕作用的滅火劑。潔凈區(qū)內(nèi)的通道上宜設(shè)置推車(chē)式二氧化碳滅火器。其他滅火劑的選擇應(yīng)考慮配置場(chǎng)所的火災(zāi)類型，滅火能力，污損程度，使用的環(huán)境溫度以及與可燃物的相容性。

電氣供配電集成電路封裝測(cè)試工廠應(yīng)根據(jù)當(dāng)?shù)仉娋W(wǎng)結(jié)構(gòu)以及工廠負(fù)荷容量確定合理的供電電壓。集成電路封裝測(cè)試工廠用電負(fù)荷等級(jí)應(yīng)為一級(jí)，其供電品質(zhì)應(yīng)滿足封裝測(cè)試工藝及設(shè)備的要求。同時(shí)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50052、《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058及《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472的規(guī)定。集成電路封裝測(cè)試工廠配電電壓等級(jí)應(yīng)符合生產(chǎn)工藝設(shè)備及動(dòng)力設(shè)備的要求。集成電路封裝測(cè)試工廠的供電系統(tǒng)應(yīng)將生產(chǎn)工藝設(shè)備與動(dòng)力設(shè)備的供電分設(shè)，生產(chǎn)工藝設(shè)備宜采用獨(dú)立的變壓器供電并采取抑制浪涌的措施。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的形式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制，系統(tǒng)接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。對(duì)于有特殊要求的生產(chǎn)或輔助設(shè)備，應(yīng)設(shè)不間斷電源（UPS）或備用發(fā)電裝置。有關(guān)聯(lián)的動(dòng)力系統(tǒng)電源宜按系統(tǒng)配置。應(yīng)急照明配電回路可在其防火分區(qū)相應(yīng)的配電箱內(nèi)設(shè)置末端自動(dòng)切換裝置。照明集成電路封裝測(cè)試工廠生產(chǎn)區(qū)域照明的照度值應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)的要求確定。生產(chǎn)廠房技術(shù)夾層內(nèi)宜設(shè)置檢修照明。生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用應(yīng)急照明，其照度不應(yīng)低于5.0lx。在安全出入口、疏散通道或疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)設(shè)置疏散標(biāo)志。在專用消防口應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明指示燈。生產(chǎn)廠房潔凈區(qū)宜選用吸頂明裝、不易積塵、便于清潔的燈具。生產(chǎn)廠房備用照明的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)設(shè)計(jì)備用照明；2備用照明宜作為正常照明的一部份，且不低于該場(chǎng)所一般照明照度值的20%。接地生產(chǎn)設(shè)備的功能性接地一般應(yīng)小于1，有特殊接地要求的設(shè)備，需按設(shè)備要求的電阻值設(shè)計(jì)接地系統(tǒng)。功能性接地、保護(hù)性接地、電磁兼容性接地、建筑防雷接地宜采用共用接地系統(tǒng)，接地電阻值應(yīng)按其中最小值確定。生產(chǎn)設(shè)備的功能性接地與其它接地分開(kāi)設(shè)置時(shí)，應(yīng)設(shè)有防止雷電反擊措施。分開(kāi)設(shè)置的接地系統(tǒng)接地極宜與共用接地系統(tǒng)接地極保持20m以上的間距。防靜電集成電路封裝測(cè)試工廠生產(chǎn)區(qū)應(yīng)為一級(jí)防靜電工作區(qū)。防靜電工作區(qū)的地面和墻面、柱面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型材料。導(dǎo)靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對(duì)地電阻應(yīng)為2.5×104Ω~1×106Ω、摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V、靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s。防靜電工作區(qū)內(nèi)不得選用短效型靜電材料及制品并應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器、防靜電安全工作臺(tái)。生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)金屬物體包括潔凈室的墻面、門(mén)窗、吊頂?shù)慕饘俟羌軕?yīng)與接地系統(tǒng)作可靠連接；導(dǎo)靜電地面、防靜電活動(dòng)地板、工作臺(tái)面、座椅等應(yīng)作防靜電接地。防靜電接地的連接線應(yīng)有足夠的機(jī)械強(qiáng)度，防靜電接地主干線截面不小于95mm2，支線最小截面不小于2.5mm2。生產(chǎn)廠房防靜電接地設(shè)計(jì)及其它要求應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50611的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。通信與安全保護(hù)集成電路封裝測(cè)試工廠內(nèi)應(yīng)設(shè)通信設(shè)施并應(yīng)符合下列要求：1廠房?jī)?nèi)電話/數(shù)據(jù)布線應(yīng)采用綜合布線系統(tǒng)，綜合布線系統(tǒng)的配線間或配線柜不應(yīng)設(shè)置在布置工藝設(shè)備的潔凈區(qū)內(nèi)。2根據(jù)管理及工藝的需要應(yīng)設(shè)置數(shù)據(jù)通信局域網(wǎng)及與因特網(wǎng)連接的接入網(wǎng)；生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)，其防護(hù)對(duì)象的等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)，火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)形式應(yīng)采用控制中心報(bào)警系統(tǒng)并應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)設(shè)有消防控制中心且應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的規(guī)定；2生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)火災(zāi)探測(cè)應(yīng)采用智能型探測(cè)器。在封閉房間內(nèi)使用或存儲(chǔ)易燃、易爆氣體及有機(jī)溶劑時(shí)，房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置火焰探測(cè)器；3在潔凈區(qū)空氣處理設(shè)備的新風(fēng)或循環(huán)風(fēng)的回風(fēng)口處宜設(shè)風(fēng)管型火災(zāi)探測(cè)器。生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警及消防聯(lián)動(dòng)控制。控制設(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016及《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472的規(guī)定。生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)使用氮?dú)浠旌蠚怏w的區(qū)域應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警裝置并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016和《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50116有關(guān)規(guī)定。生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置廣播系統(tǒng)，潔凈區(qū)內(nèi)宜采用潔凈室型揚(yáng)聲器。當(dāng)廣播系統(tǒng)兼事故應(yīng)急廣播系統(tǒng)時(shí)應(yīng)滿足現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50116有關(guān)規(guī)定。集成電路封裝測(cè)試工廠內(nèi)宜設(shè)置閉路電視監(jiān)控系統(tǒng)，監(jiān)控?cái)z像機(jī)宜采用彩色攝像機(jī)，閉路電視監(jiān)控系統(tǒng)監(jiān)控圖像存儲(chǔ)時(shí)間不應(yīng)少于15天。集成電路封裝測(cè)試工廠內(nèi)宜設(shè)置門(mén)禁系統(tǒng)，潔凈區(qū)內(nèi)門(mén)禁讀卡器宜采用非接觸型。電磁屏蔽集成電路封裝測(cè)試相關(guān)工序的房間和測(cè)量、儀表計(jì)量房間，凡屬下列情況之一，應(yīng)采取電磁屏蔽措施：1環(huán)境的電磁場(chǎng)強(qiáng)度超過(guò)生產(chǎn)設(shè)備和儀器正常使用的允許值；2生產(chǎn)設(shè)備及儀器產(chǎn)生的電磁泄漏超過(guò)干擾相鄰區(qū)域所允許的環(huán)境電磁場(chǎng)強(qiáng)度值；3有特殊電磁兼容要求的。環(huán)境電磁場(chǎng)場(chǎng)強(qiáng)宜以實(shí)測(cè)值為設(shè)計(jì)依據(jù)。如缺少實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)，可采用理論計(jì)算值再加上6dB～8dB的環(huán)境電平值作為干擾場(chǎng)強(qiáng)。對(duì)需要采取電磁屏蔽措施的生產(chǎn)工序，在滿足生產(chǎn)操作和屏蔽結(jié)構(gòu)體易于實(shí)現(xiàn)的前提下，宜直接對(duì)生產(chǎn)工序中的設(shè)備工作地環(huán)境進(jìn)行屏蔽。對(duì)需要采取電磁屏蔽措施的區(qū)域，屏蔽結(jié)構(gòu)的屏蔽效能應(yīng)在工作頻段有不小于10dB的余量。屏蔽室的電磁屏蔽效能，可按表8.6.4的數(shù)值確定。表8.6.4屏蔽室的電磁屏蔽效能頻段簡(jiǎn)易屏蔽一般屏蔽高性能屏蔽特殊屏蔽10kHz~1GHz＜30dB30~60dB60~80dB≥80dB＞1GHz＜40dB40~80dB≥80dB≥100dB屏蔽措施可選擇下列方式：1直接對(duì)生產(chǎn)設(shè)備工作地環(huán)境進(jìn)行屏蔽，宜選擇裝配式的商品屏蔽室；2對(duì)生產(chǎn)工序整體環(huán)境進(jìn)行屏蔽，宜選擇非標(biāo)設(shè)計(jì)和施工安裝的屏蔽體；3儀表計(jì)量房間的電磁屏蔽，兩種方式均可采用。屏蔽效果驗(yàn)收測(cè)量應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電磁屏蔽室屏蔽效能的測(cè)量方法》GB/T12190的規(guī)定。

凈化及工藝排風(fēng)凈化區(qū)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度等級(jí)應(yīng)符合下列要求1潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)根據(jù)集成電路封裝測(cè)試產(chǎn)品、工藝及所使用的生產(chǎn)設(shè)備的要求確定；2潔凈度等級(jí)的劃分應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073的規(guī)定；3潔凈區(qū)設(shè)計(jì)時(shí)，空氣潔凈度等級(jí)所處空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)應(yīng)業(yè)主協(xié)商確定。潔凈區(qū)內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列兩項(xiàng)中的最大值：1補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和；2保證供給潔凈區(qū)內(nèi)人員所需的新鮮空氣量。潔凈區(qū)與周?chē)目臻g應(yīng)按照工藝要求，保持一定的正壓值，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1不同等級(jí)的潔凈區(qū)之間壓差不應(yīng)小于5Pa；2潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間壓差不應(yīng)小于5Pa；3潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于5Pa。氣流流型的設(shè)計(jì)在空氣潔凈度等級(jí)要求6級(jí)~9級(jí)時(shí)，宜采用非單向流。潔凈區(qū)的送風(fēng)量，應(yīng)取下列三項(xiàng)中的最大值：1為保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量；2消除潔凈區(qū)內(nèi)熱、濕負(fù)荷所需的送風(fēng)量；3向潔凈區(qū)內(nèi)供給的新鮮空氣量。凈化系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈區(qū)面積、空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定。潔凈區(qū)空調(diào)系統(tǒng)宜采用以下方式：1.對(duì)于面積較大的潔凈廠房設(shè)置集中新風(fēng)處理系統(tǒng)，新風(fēng)處理系統(tǒng)送風(fēng)機(jī)應(yīng)采取變頻措施。2.循環(huán)空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)按照潔凈度等級(jí)、溫度、相對(duì)濕度、熱負(fù)荷等因素進(jìn)行分區(qū)。3.循環(huán)空調(diào)系統(tǒng)宜采用干式冷卻方式，宜采用循環(huán)空調(diào)機(jī)組和末端高效送風(fēng)口相結(jié)合的方式。4.采用新風(fēng)未集中處理的空調(diào)機(jī)組時(shí)宜設(shè)置二次回風(fēng)。5.加濕器宜采用等焓加濕方式。空氣過(guò)濾器的選用和布置應(yīng)符合下列要求：1.空氣過(guò)濾器應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)合理選用；2.空氣過(guò)濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量；3.空調(diào)箱的末級(jí)中效或高效過(guò)濾器應(yīng)集中安裝在空調(diào)箱的正壓段；4.系統(tǒng)末級(jí)高效過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；5.同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效過(guò)濾器的阻力、效率宜相近；6.同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效過(guò)濾器的設(shè)計(jì)使用風(fēng)量與額定風(fēng)量的比值宜相近；7.安裝在潔凈廠房潔凈區(qū)內(nèi)的高效空氣過(guò)濾器應(yīng)采用不燃材料制作；8.高效、超高效過(guò)濾器安裝后應(yīng)現(xiàn)場(chǎng)檢漏。工藝排風(fēng)集成電路封裝測(cè)試工廠的工藝排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)按照工藝設(shè)備排風(fēng)性質(zhì)的不同分別設(shè)置獨(dú)立的排風(fēng)系統(tǒng)。潔凈區(qū)事故排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50019的規(guī)定。集成電路封裝測(cè)試工廠的排煙系統(tǒng)應(yīng)符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的規(guī)定。集成電路封裝測(cè)試工廠的排煙系統(tǒng)可以兼作事故排風(fēng)系統(tǒng)。集成電路封裝工廠測(cè)試的工藝排風(fēng)系統(tǒng)宜設(shè)置變頻調(diào)節(jié)系統(tǒng)。工藝排風(fēng)管道穿越有耐火時(shí)限要求的建筑構(gòu)件處應(yīng)設(shè)置防火閥。腐蝕性排風(fēng)管道穿越防火墻處可不設(shè)置防火閥，但緊鄰建筑構(gòu)件的風(fēng)管管道應(yīng)采用與該處建筑構(gòu)件耐火時(shí)限相同的防火構(gòu)造進(jìn)行封閉或保護(hù)，每側(cè)長(zhǎng)度不應(yīng)小于2m或風(fēng)管直徑的兩倍，并以其中較大者為準(zhǔn)。工藝排風(fēng)管道應(yīng)采用不燃材料。工藝排風(fēng)系統(tǒng)管道及設(shè)備應(yīng)設(shè)置防靜電接地裝置。

純水與廢水處理純水集成電路封裝測(cè)試工廠純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，合理確定純水制備系統(tǒng)的規(guī)模、供水水質(zhì)。當(dāng)主體工程分期建設(shè)時(shí)，純水系統(tǒng)應(yīng)按最終規(guī)模統(tǒng)一規(guī)劃、合理布局、分期實(shí)施。用于硅片清洗的純水水質(zhì)不宜低于15MΩ.cm，用于硅片劃片的純水宜通過(guò)微孔膜透析溶解二氧化碳?xì)怏w，將純水電阻率控制在0.5~1.0MΩ.cm。用于電鍍工藝的純水水質(zhì)不宜低于5MΩ.cm。純水的制備、儲(chǔ)存和輸送的設(shè)備和材料除應(yīng)滿足所需水量和水質(zhì)要求外，尚應(yīng)符合下列規(guī)定：1純水的制備、儲(chǔ)存和輸送設(shè)備的配置應(yīng)確保系統(tǒng)滿足運(yùn)行安全可靠、技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)適用、便于操作維護(hù)等要求；2純水的制備、儲(chǔ)存和輸送設(shè)備材料的選擇應(yīng)與其接觸的水質(zhì)相匹配，設(shè)備內(nèi)表面應(yīng)滿足光潔、平整等物理性能，同時(shí)應(yīng)化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、耐腐蝕、易清洗。純水系統(tǒng)應(yīng)采用循環(huán)供水方式。純水輸配系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)水質(zhì)、水量、用水點(diǎn)數(shù)量、管道材質(zhì)以及使用點(diǎn)對(duì)水壓穩(wěn)定性等要求，可選擇采用單管式循環(huán)供水系統(tǒng)、直接回水的循環(huán)供水系統(tǒng)或逆向回水的循環(huán)供水系統(tǒng)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1純水輸配系統(tǒng)的附加循環(huán)水量宜為額定耗用水量的25%～50%；2純水回水干管末端應(yīng)該設(shè)置背壓調(diào)節(jié)閥組；3純水管道流速的選擇應(yīng)能有效防止水質(zhì)降低和微生物的滋生，且兼顧壓力損失，供、回水管流速分別不宜低于1.5m/s和0.5m/s；4純水輸配管路不應(yīng)出現(xiàn)死水滯留的管段；5純水輸配管路系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)系統(tǒng)運(yùn)行維護(hù)的需要設(shè)置必要的采樣口；6工藝設(shè)備二次配管時(shí)，如隔離閥離設(shè)備較遠(yuǎn)，宜考慮安裝回水管。用于純水系統(tǒng)的水質(zhì)檢測(cè)設(shè)備及儀表，其檢測(cè)范圍和精度應(yīng)符合純水生產(chǎn)和檢驗(yàn)的要求。純水廢水回收設(shè)計(jì)應(yīng)與集成電路封裝測(cè)試工藝設(shè)計(jì)密切配合，并應(yīng)根據(jù)工程實(shí)際情況、回收水質(zhì)、水量，結(jié)合當(dāng)前的技術(shù)、經(jīng)濟(jì)條件等綜合考慮，合理確定回收率。廢水處理生產(chǎn)廢水處理系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)廢水污染因子種類、水量、當(dāng)?shù)貜U水排放要求等設(shè)置分類收集、處理的廢水處理系統(tǒng)。廢水處理應(yīng)遵循節(jié)水優(yōu)先、分質(zhì)處理、優(yōu)先回用的原則。排放腐蝕性廢水的架空有壓管道宜采用雙層管道，不宜采用法蘭連接。如必須采用時(shí)，法蘭處應(yīng)采取有效的防滲漏措施。生產(chǎn)廢水處理系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置應(yīng)急廢水收集池。應(yīng)急廢水收集池的容積應(yīng)滿足項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)報(bào)告的要求。連續(xù)處理的生產(chǎn)廢水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)池，調(diào)節(jié)池的大小應(yīng)該根據(jù)廢水水量及水質(zhì)變化規(guī)律確定。廢水處理系統(tǒng)的設(shè)備及構(gòu)筑物應(yīng)設(shè)置必要的放空設(shè)施。廢水處理系統(tǒng)的設(shè)備及構(gòu)筑物應(yīng)根據(jù)所接觸的水質(zhì)采取必要的防腐措施。

氣體與真空大宗氣體大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜采用在工廠廠區(qū)內(nèi)設(shè)置制氣裝置或外購(gòu)液態(tài)氣儲(chǔ)罐和瓶裝氣體的方式。氣體純化裝置的設(shè)置，應(yīng)符合下列要求：1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇；2氣體純化裝置應(yīng)設(shè)置在其專用的房間內(nèi)，氫氣純化器應(yīng)設(shè)置在獨(dú)立的房間內(nèi)。3氣體終端純化裝置應(yīng)設(shè)置在用氣點(diǎn)處。生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的大宗氣體管道等應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施：管道及閥門(mén)附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格的內(nèi)壁處理；氫氣管道的終端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)置放散管，放散管口應(yīng)設(shè)置阻火器。氫氣管道應(yīng)設(shè)置導(dǎo)出靜電的設(shè)施；氫氣引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥。氣體管道和閥門(mén)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇，宜符合下列規(guī)定：1氣體純度大于或等于99.99%、露點(diǎn)低于-40℃時(shí)，宜采用內(nèi)壁拋光的不銹鋼管，閥門(mén)宜采用2氣體管道閥門(mén)、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。