ICS31030

CCSL.90

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T43965—2024

電子級(jí)正硅酸乙酯

Electronicgradeethylorthosilicate

2024-04-25發(fā)布2024-11-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T43965—2024

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位金宏氣體股份有限公司湖北新藍(lán)天新材料股份有限公司武漢新硅科技潛江有

:、、

限公司江蘇南大光電材料股份有限公司南大光電半導(dǎo)體材料有限公司中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院

、、、、

浙江中寧硅業(yè)股份有限公司內(nèi)蒙古興洋科技股份有限公司洛陽(yáng)中硅高科技有限公司江陰潤(rùn)瑪電子

、、、

材料股份有限公司浙江衢州硅寶化工有限公司湖北江瀚新材料股份有限公司浙江開(kāi)化合成材料有

、、、

限公司廣州賽西標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)研究院有限公司

、。

本文件主要起草人孫猛金向華趙俊莎肖俊平李楷東吳怡然曹可慰趙斌陶剛義孫明璐

:、、、、、、、、、、

陳德義馮瓊?cè)A向沖王成黃天次萬(wàn)燁張園園郭樹(shù)虎戈士勇戈燁銘何珂李沖合甘俊陳道偉

、、、、、、、、、、、、、、

張明英

。

Ⅰ

GB/T43965—2024

電子級(jí)正硅酸乙酯

1范圍

本文件規(guī)定了半導(dǎo)體行業(yè)用電子級(jí)正硅酸乙酯的技術(shù)要求檢驗(yàn)規(guī)則型式試驗(yàn)標(biāo)志包裝運(yùn)輸

、、、、、

及貯存的要求描述了試驗(yàn)方法分析方法與測(cè)定結(jié)果評(píng)價(jià)

,、。

本文件適用于沉積二氧化硅的電子級(jí)正硅酸乙酯

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB190

包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志

GB/T191

計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第部分按接收質(zhì)量限檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣計(jì)劃

GB/T2828.11:(AQL)

液體化學(xué)產(chǎn)品顏色測(cè)定法單位鉑鈷色號(hào)

GB/T3143(Hazen———-)

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

所有部分鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶

GB/T5099()

液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6680

氣瓶顏色標(biāo)志

GB/T7144

電子級(jí)水

GB/T11446.1

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB/T14193

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫(xiě)規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標(biāo)簽

GB/T16804

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

GB/T25915.11:

庫(kù)侖法微量水分測(cè)定儀

GB/T26793

大容積鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶

GB/T33145

四極桿電感耦合等離子體質(zhì)譜方法通則

GB/T37837

電子化學(xué)品電感耦合等離子體質(zhì)譜法通則

SJ/T11637

電子化學(xué)品中顆粒的測(cè)試方法

SJ/T11638

氣瓶安全技術(shù)規(guī)程

TSG23

3術(shù)語(yǔ)和定義

本文件沒(méi)有需要界定的