ICS7104040

CCSG.04.

中華人民共和國國家標準

GB/T28892—2024/ISO154702017

:

代替GB/T28892—2012

表面化學分析X射線光電子能譜

選擇儀器性能參數的表述

Surfacechemicalanalysis—X-rayphotoelectronspectroscopy—

Descriptionofselectedinstrumentalperformanceparameters

ISO154702017IDT

(:,)

2024-03-15發布2024-07-01實施

國家市場監督管理總局發布

國家標準化管理委員會

GB/T28892—2024/ISO154702017

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

縮略語

4……………………1

選擇儀器性能參數的表述

5………………1

分析方法

5.1……………1

樣品

5.2…………………1

系統構成

5.3……………1

射線源

5.4X……………2

譜儀強度性能和能量分辨

5.5…………2

譜儀能量標

5.6…………………………2

譜儀強度線性

5.7………………………2

譜儀響應函數

5.8………………………2

成像和選區分辨

5.9……………………2

荷電中和

5.10……………3

變角

5.11XPS…………………………3

真空環境

5.12……………4

參考文獻

………………………5

Ⅰ

GB/T28892—2024/ISO154702017

:

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替表面化學分析射線光電子能譜選擇儀器性能參數的表

GB/T28892—2012《X

述與相比除結構調整和編輯性改動外主要技術變化如下

》,GB/T28892—2012,,:

更改了術語和定義見第章年版的第章

a)(3,20123);

更改了方法見年版的

b)2(5.9.3,20125.9.3)。

本文件等同采用表面化學分析射線光電子能譜選擇儀器性能參數的表

ISO15470:2017《X

述

》。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本文件起草單位廈門荷清教育咨詢有限公司廈門大學

:、。

本文件主要起草人湯丁亮李建輝徐富春岑丹霞劉芬王水菊

:、、、、、。

本文件及其所代替文件的歷次版本發布情況為

:

———GB/T28892—2012;

本次為第一次修訂

———。

Ⅲ

GB/T28892—2024/ISO154702017

:

引言

全球有多家廠商生產射線光電子能譜儀盡管每臺儀器的分析方法的基本原理是相同

X。XPS

的但儀器的具體設計和性能說明的方式各不相同因此通常很難比較不同廠商生產的儀器性能本

,。,。

文件提供了一個基本項目單以使所有射線光電子能譜儀能以共同的方式來表述本文件無意取代

,X。

廠商的說明書廠商的說明書可以長達頁或更多本文件目的是使廠商說明書中確定的某些項目具

,30。

有一致和明確的含義

。

Ⅳ

GB/T28892—2024/ISO154702017

:

表面化學分析X射線光電子能譜

選擇儀器性能參數的表述

1范圍

本文件描述了表述射線光電子能譜儀特定性能參數的方法

X。

2規范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

所有部分表面化學分析詞匯

ISO18115()(Surfacechemicalanalysis-Vocabulary)

注表面化學分析詞匯第部分通用術語及譜學術語

:GB/T22461.1—20231:(ISO18115-1:2013,IDT)

表面化學分析詞匯第部分掃描探針顯微術術語

GB/T22461.2—20232:(ISO18115-2:2021,MOD)

3術語和定義

所有部分界定的術語和定義適用于本文件

ISO18115()。

4縮略語

下列縮略語適用于本文件

。

半高峰寬

FWHM: