.z.SU8200場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡技術(shù)說(shuō)明文件一、二次電子分辨率：0.8nm(加速電壓15kV，工作距離4mm)1.1nm(著陸電壓1kV，工作距離1.5mm)(減速模式)以上分辨率的測(cè)試都是基于日立電鏡的分辨率測(cè)試標(biāo)樣〔蒸金磁帶樣品，蒸金碳樣品〕二、放大倍率： 低倍模式：20到2k高倍模式：100到1000k三、電子光學(xué)：電子槍?zhuān)豪鋱?chǎng)發(fā)射電子槍〔帶有柔性flash功能〕加速電壓:0.5到30kV著陸電壓:0.01到2kV透鏡系統(tǒng)三級(jí)電磁透鏡系統(tǒng)物鏡光闌四孔可調(diào)光闌(置加熱自清潔功能)掃描線圈二級(jí)電磁式偏轉(zhuǎn)線圈〔高倍模式〕一級(jí)電磁式偏轉(zhuǎn)線圈〔低倍模式〕消像散器八級(jí)電磁系統(tǒng)〔*，Y〕探測(cè)器：低位〔Lower〕、高位〔Upper〕、和頂位〔Top〕三種探測(cè)器進(jìn)展二次電子/背散射電子的接收能譜系統(tǒng)(選配)束閘電磁型電位移：12m(工作距離注意：工作距離改變時(shí)，電位移圍會(huì)改變四、樣品室和樣品臺(tái)：樣品臺(tái)控制：五軸馬達(dá)臺(tái)可移動(dòng)圍和樣品尺寸：SU8220SU8230SU8240*0~50~110~11Y0~50~110~8Z1.5~31.5~41.5~40mmT-5~70°R0~360°樣品尺寸最大樣品尺寸〔直徑〕150mm可安裝樣品高度SU8220SU8230/SU8240樣品最大直徑樣品最大高度樣品最大直徑樣品最大高度26mm17224mm75mm8mm75mm15mm100mm6mm125mm12mm150mm2mm150mm8mm換樣預(yù)抽室樣品臺(tái)控制：圖形界面控制自動(dòng)樣品更換位置定位功能樣品臺(tái)移動(dòng)軌跡存儲(chǔ)功能優(yōu)中心旋轉(zhuǎn)功能圖片導(dǎo)航功能五、顯示系統(tǒng)用戶(hù)界面電腦顯示器上的圖形用戶(hù)界面電腦操作系統(tǒng)：微軟Windows7專(zhuān)業(yè)版〔32位〕操作臺(tái)：鼠標(biāo)、鍵盤(pán)、旋鈕板、樣品臺(tái)控制方法〔標(biāo)配軌跡球，或選配操縱桿〕顯示器24.1寸液晶顯示器或同等配置的顯示器〔屏幕：1,920×1,200像素〕掃描模式：二維圖像顯示選區(qū)模式點(diǎn)分析模式平均濃度分析模式圖像顯示模式大屏顯示模式(1280960)單屏顯示模式(800600)雙屏同時(shí)顯示模式(800600)四屏同時(shí)顯示模式(640480)選區(qū)顯示模式〔圖像調(diào)整時(shí)使用〕電子光學(xué)對(duì)中：電子束對(duì)中光闌對(duì)中像散對(duì)中低倍對(duì)中掃描模式積分掃描快掃慢掃縮小區(qū)域掃高清捕圖積分捕圖荷電抑制掃描(CS掃描)掃描速度TV：兩級(jí)掃描速度〔Rapid1～Rapid2〕快掃：兩級(jí)掃描速度〔Fast1～Fast2〕慢掃：七級(jí)掃描速度〔Slow1～Slow7〕CS掃描：七級(jí)掃描速度〔CSS1～CSS7〕選區(qū)掃描自動(dòng)調(diào)節(jié)功能：ABCC(自動(dòng)亮度/比照度調(diào)節(jié))，自動(dòng)聚焦信號(hào)和圖像處理功能：通過(guò)積分，圖像的信噪比提高楨積分〔最大積分?jǐn)?shù)量：1,024〕〔TV和快掃模式〕彩色圖像顯示兩種顏色混合圖像顯示〔實(shí)時(shí)〕偽彩圖像顯示〔保存圖像〕存儲(chǔ)圖像處理漸變轉(zhuǎn)換Gamma調(diào)節(jié)多重濾波處理圖像存儲(chǔ)：圖像存儲(chǔ)尺寸：640480，800600，1,280960，2,5601,920，5,1203,840像素保存格式：BMP,TIFF(8位),JPEG圖像打印自由布局打印功能保存數(shù)據(jù)圖像的處理圖像管理和處理(SEMDataManager)：圖片數(shù)據(jù)庫(kù)管理縮略圖顯示多種圖片處理功能其他功能：束閘功能〔圖像凍結(jié)時(shí)〕光柵旋轉(zhuǎn)/傾斜補(bǔ)償測(cè)量功能(實(shí)時(shí)圖像或存儲(chǔ)圖像)參數(shù)顯示(照片號(hào)、加速電壓、放大倍率、微標(biāo)尺、工作距離、日期、時(shí)間)參數(shù)條被底：透明、黑色數(shù)據(jù)輸入和標(biāo)注〔圓，矩形，箭頭，尺寸線〕外部設(shè)備接口：USB接口網(wǎng)卡接口*射線分析功能掃描模式：點(diǎn)掃描面掃描DBC接口〔選配〕六、真空系統(tǒng)真空控制：完全自動(dòng)氣動(dòng)閥系統(tǒng)真空泵：離子泵：60L/s1,20L/s2磁懸浮分子泵：300L/min1〔主抽氣〕機(jī)械泵為減輕污染，推薦使用干泵真空量規(guī)：全量程量規(guī)，皮拉寧規(guī)兩個(gè)〔控制真空系統(tǒng)〕，寧規(guī)一個(gè)真空度：電子槍?zhuān)憨?0-8Pa樣品室：﹤10-4Pa樣品交換室：六寸預(yù)抽室七、保護(hù)措施斷電保護(hù)、斷水保護(hù)、漏氣保護(hù)八、循環(huán)水冷卻水循環(huán)流速：1.0～1.5L/min〔冷卻物鏡〕水壓：50～100kPa水溫：10to20九、防污染措施液氮冷阱十、SU8200系列掃描電鏡〔SU8220,SU8230,SU8240〕主機(jī) 1顯示單元 1機(jī)械泵 1空壓機(jī) 1標(biāo)配專(zhuān)用工具 1套耗材及配件 1套操作手冊(cè) 1套十一、尺寸及重量長(zhǎng) 寬 高 重量主機(jī)〔SU8220〕990 8501主機(jī)〔SU8230〕990 850 1,745mm主機(jī)〔SU8240〕9908501,745mm顯示單元1,1201,1001,200mm空壓機(jī) 210420 520mm減震器 200 180 160mm十二、主要選項(xiàng)探測(cè)器：頂探頭過(guò)濾器YAG型BSE探測(cè)器〔SU8220/SU8230/SU8240〕掃透探測(cè)器〔SU8220/SU8230/SU8240〕半導(dǎo)體型BSE探測(cè)器〔SU8220/SU8230/SU8240〕